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스퍼터링을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치

  • 기술번호 : KST2015002093
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요약 본 발명은 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치에 관한 것으로, 각각 마그네트가 장착된 2개의 스퍼터링 건을 서로 대향되게 배치하여 자기장에 의해 플라즈마를 구속함으로써, 스퍼터링 공정시 플라즈마 손상을 최소화하여 LED 소자에 대한 플라즈마 손상 없이 ITO 박막과 같은 투명 전도층을 스퍼터링 공정을 통해 고품질 상태로 LED 소자에 증착시킬 수 있고, 2개의 스퍼터링 건을 서로 근접하거나 멀어지는 방향으로 직선 이동시킴과 동시에 회동 가능하게 구성함으로써, 스퍼터링 증착 특성을 사용자의 필요에 따라 다양하게 조절할 수 있는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 33/00 (2014.01)
CPC H01L 21/2855(2013.01) H01L 21/2855(2013.01) H01L 21/2855(2013.01)
출원번호/일자 1020120067013 (2012.06.21)
출원인 경희대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1348828-0000 (2013.12.31)
공개번호/일자 10-2013-0143445 (2013.12.31) 문서열기
공고번호/일자 (20140109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.21)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경희대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 기흥구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김한기 대한민국 경기 수원시 영통구
2 신현수 대한민국 경기도 성남시 중원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서재승 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***-*(논현동) ***호(스카이국제특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에스제이컴퍼니 경기도 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0496539-47
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0933362-47
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.01.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.02.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0009707-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0519636-33
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0886716-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0982314-38
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0982315-84
9 등록결정서
Decision to grant
2013.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0903470-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.09 수리 (Accepted) 4-1-2015-5029677-09
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164254-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판에 N-GaN층, 활성층, P-GaN층 및 투명 전도층이 적층 형성되는 LED 소자에 대해 상기 투명 전도층을 성막 형성하는 LED의 투명 전도층 성막 장치에 있어서,상기 LED 소자의 투명 전도층을 스퍼터링 증착 방식으로 성막 형성하는 스퍼터링 유닛을 포함하고, 상기 스퍼터링 유닛은내부 공간에 진공압이 형성되고, 성막 대상 LED 소자가 내부 공간에 배치되는 스퍼터링 챔버;상기 스퍼터링 챔버 내에 장착되어 서로 대향하도록 이격되게 배치되고, 서로 대향하는 면에는 각각 음극 전원에 연결되도록 스퍼터링 타겟 물질이 배치되며, 대향하는 사이 공간이 상기 성막 대상 LED 소자와 이격되게 배치되는 제 1 및 제 2 스퍼터링 건;상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간에 자기장이 형성되도록 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 마그네트; 및상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간으로 반응 가스가 유입되어 플라즈마가 형성되도록 상기 스퍼터링 챔버에 관통 삽입되는 가스 공급관을 포함하고, 상기 플라즈마는 상기 제 1 및 제 2 마그네트에 의해 형성된 자기장에 의해 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간에 구속되며, 상기 플라즈마에 의해 상기 스퍼터링 타겟 물질의 원자가 방출되어 상기 성막 대상 LED 소자에 증착되는 것을 특징으로 하며,상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건은 수평 방향으로 서로 이격되게 배치되고,상기 가스 공급관은 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간으로부터 이격되게 상기 사이 공간의 연직 하부에 배치되며, 상기 사이 공간으로 반응 가스가 공급되도록 상기 스퍼터링 챔버로부터 돌출되어 상기 사이 공간으로 연장 형성되고, 상기 성막 대상 LED 소자는 상기 가스 공급관과 상하 방향으로 서로 마주보도록 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간으로부터 이격되게 연직 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 마그네트는 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간에서 서로 다른 극성이 서로 마주보도록 배치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건은 서로 근접하거나 멀어지는 방향으로 직선 이동 가능하도록 상기 스퍼터링 챔버 내부에 장착되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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제 4 항에 있어서,상기 스퍼터링 챔버에는 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건을 직선 이동시키는 이동 수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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제 5 항에 있어서,상기 이동 수단은상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건을 각각 지지하도록 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건에 각각 결합되는 제 1 및 제 2 지지체;상기 제 1 및 제 2 지지체에 동시에 수평 방향으로 관통 결합되는 스크류 로드; 및상기 스크류 로드를 회전 구동하는 구동 모터를 포함하고, 상기 스크류 로드의 외주면에는 중심부로부터 양측단 방향으로 서로 다른 방향의 나사산이 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 지지체는 상기 스크류 로드의 서로 다른 방향의 나사산에 각각 나사 결합되며, 상기 스크류 로드가 회전함에 따라 서로 근접하거나 멀어지는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건은 서로 대향하는 방향에 대한 직각 방향의 회전축을 중심으로 각각 회동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 스퍼터링 챔버 내부에는 상기 성막 대상 LED 소자를 상기 제 1 및 제 2 스퍼터링 건의 사이 공간으로부터 일정한 간격을 유지하며 직선 이동시킬 수 있도록 기판 이송 수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 방식을 이용한 LED의 투명 전도층 성막 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 경기도 경희대학교산학협력단 국제공동연구사업 차세대 Flexible Display 핵심 재료부품 연구