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화학기상응축공정에 의하여 금속 산화물 중공나노입자를 제조하는 방법에 있어서, 전구체인 금속 아세틸아세토네이트를 준비하는 단계;상기와 같이 준비된 금속 아세틸아세토네이트를 그 녹는점 이상의 온도에서 기화시키는 단계;상기와 같이 기화된 금속 아세틸아세토네이트를 반응구역으로 이송시키는 단계;상기와 같이 반응구역으로 이송된 기상의 금속 아세틸아세토네이트를, 700~1500oC 의 반응온도 및 600 mbar이하의 반응압력에서 열분해시킴과 동시에 산소와의 반응을 통하여 금속산화물 중공 나노입자를 합성하는 단계; 및상기와 같이 합성된 기상의 금속산화물 중공 나노입자를 응축 및 수집하는 단계를 포함하여 구성되는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 금속 아세틸아세토네이트가 철(III) 아세틸아세토네이트(Iron(III) acetylacetonate), 알루미늄 아세틸아세토네이트(Aluminium acetylacetonate), 산화티타늄(IV) 아세틸아세토네이트(Titanium(IV) oxide acetylacetonate), 세륨(III) 아세틸아세토네이트(Cerium(III) acetylacetonate, hydrate), 크롬(III) 아세틸아세토네이트(Chromium(III) acetylacetonate), 코발트(II) 아세틸아세토네이트(Cobalt(II) acetylacetonate), 구리(II) 아세틸아세토네이트(Copper(II) acetylacetonate), 갈륨(III) 아세틸아세토네이트(Gallium(III) acetylacetonate), 망간(III) 아세틸아세토네이트(Manganese(III) acetylacetonate), 철(II) 아세틸아세토네이트(Iron(II) acetylacetonate), 마그네슘 아세틸아세토네이트(Magnesium acetylacetonate, hydrate), 바륨아세틸아세토네이트(Barium acetylacetonate, hydrate), 베릴륨 아세틸아세토네이트(Beryllium acetylacetonate), 카드뮴 아세틸아세토네이트(Cadmium acetylacetonate, hydrate), 칼슘 아세틸아세토네이트(Calcium acetylacetonate), 세슘 아세틸아세토네이트(Cesium acetylacetonate), 인듐(III) 아세틸아세토네이트(Indium(III) acetylacetonate), 이리듐(III) 아세틸아세토네이트(Iridium(III) acetylacetonate), 란탄늄아세틸아세토네이트(Lanthanum acetylacetonate, hydrate),납(II) 아세틸아세토네이트(Lead(II) acetylacetonate), 리튬 아세틸아세토네이트(Lithium acetylacetonate), 망간(II) 아세틸아세토네이트(Manganese(II) acetylacetonate), 니켈(II) 아세틸아세토네이트(Nickel(II) acetylacetonate), 팔라듐(Palladium(II) acetylacetonate), 플래티늄(II) 아세틸아세토네이트(Platinum(II) acetylacetonate), 로듐(III) 아세틸아세토네이트(Rhodium(III) acetylacetonate), 루비듐 아세틸아세토네이트(Rubidium acetylacetonate), 루테늄(III)아세틸아세토네이트(Ruthenium(III) acetylacetonate), 은 아세틸아세토네이트(Silver acetylacetonate), 바나듐(III) 아세틸아세토네이트(Vanadium(III) acetylacetonate), 바나딜 아세틸아세토네이트(Vanadyl acetylacetonate), 이트륨(III) 아세틸아세토네이트 (Yttrium(III) acetylacetonate, hydrate), 아연 아세틸아세토네이트(Zinc acetylacetonate hydrate), 및 지르코늄(IV) 아세틸아세토네이트(Zirconium(IV) acetylacetonate)로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 금속 아세틸아세토네이트는 분말형태로 준비되는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 금속 아세틸아세토네이트는 유기용매에 용해되어 슬러리 형태로 준비되는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제4항에 있어서, 상기 유기용매가 이소프로필알콜, 에틸알콜, 메틸알콜 및 아세톤 핵산으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 1종인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제5항에 있어서, 슬러리중의 금속 아세틸아세토네이트의 농도가 0
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제1항에서 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 기화가 녹는점 + 20∼30℃에서 끓는점 + 20∼30℃까지의 온도 범위에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 산화물 중공나노입자의 평균입경이 100nm이하인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 금속 산화물 중공나노입자의 평균입경이 50nm이하인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 금속산화물이 산화철이고; 그리고 그 입도분포범위가 35nm이하인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 금속산화물이 이산화티탄이고; 그리고 그 입도분포범위가40nm이하인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 금속산화물이 산화알루미늄이고; 그리고 그 입도분포범위가 20nm이하인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 중공나노입자의 제조방법
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