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금속 나노 입자 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015141033
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 나노 입자 형성 방법이 개시된다. 금속 나노 입자 형성 방법은, 반도체 기판 상에 금속 산화물 박막을 증착하는 단계; 상기 금속 산화물 박막이 형성된 반도체 기판을 열처리하여 비정질 금속 실리콘 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내부에 금속 나노 입자를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 의하여, 전자빔의 크기, 조사 시간, 조사 위치 등을 조절함으로써 금속 나노 입자의 크기, 밀도, 위치 등을 제어할 수 있고, 금속 나노 입자의 표면에 절연층이 둘러 쌓여 있어 우수한 전하 포획 능력을 가진 금속 나노 입자를 제공할 수 있는 효과가 있다.나노, 절연층, 증착
Int. CL H01L 21/268 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC H01L 21/268(2013.01)H01L 21/268(2013.01)H01L 21/268(2013.01)
출원번호/일자 1020080135652 (2008.12.29)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0012198 (2009.02.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자 10-2007-0074785 (2007.07.25)
관련 출원번호 1020070074785
심사청구여부/일자 Y (2012.07.25)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태환 대한민국 서울특별시 마포구
2 신재원 대한민국 대전광역시 유성구
3 정재훈 대한민국 서울특별시 광진구
4 이정용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이지 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-***

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2008.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0899287-05
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0595363-53
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0595339-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0605185-59
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-1025255-96
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0298273-90
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 기판 상에 금속 산화물 박막을 증착하는 단계; 상기 금속 산화물 박막이 형성된 반도체 기판을 열처리하여 비정질 금속 실리콘 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내부에 실리콘 산화물에 둘러 쌓인 형태의 금속 나노 입자를 형성하는 단계를 포함하는 금속 나노 입자 형성 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 금속 산화물 박막 증착 시, 상기 반도체 기판과 상기 금속 산화물 박막 사이에 실리콘 산화물 박막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
3 3
제 1항 또는 제2항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막은 상기 반도체 기판과 상기 금속 산화물 박막의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
4 4
제 3항에 있어서,상기 금속 산화물 박막을 식각하는 단계를 더 포함하는 금속 나노 입자 형성 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 실리콘 산화물에 둘러 쌓인 형태의 금속 나노 입자는 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내의 금속 입자와 실리콘 산화물이 분리됨으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 크기, 밀도 및 위치는 상기 전자빔의 초점 크기, 조사 시간 및 조사 위치를 각각 조절함으로써 제어되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 금속은 아연(Zn), 구리(Cu), 인듐(In), 은(Ag), 주석(Sn), 안티몬(Sb), 니켈(Ni) 및 철(Fe) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
8 8
제 1항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막의 두께는 상기 열처리 시간을 조절함으로써 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
9 9
제 1항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막은 Zn2XSi1-YO2, Cu2XSi1-YO2, In2XSi1-YO2, Ag2XSi1-YO2, Sn2XSi1-YO2, Sb2XSi1-YO2, Ni2XSi1-YO2 및 Fe2XSi1-YO2 박막 중 하나 이상이고, 상기 X, Y는 0과 1 사이의 소수인 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법
10 10
금속 나노 입자를 포함하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막으로서, 상기 금속 나노 입자는 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내의 금속 입자와 실리콘 산화물이 분리됨으로써 실리콘 산화물에 둘러 쌓인 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막
11 11
제 10항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 금속은 아연(Zn), 구리(Cu), 인듐(In), 은(Ag), 주석(Sn), 안티몬(Sb), 니켈(Ni) 및 철(Fe) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.