요약 | 금속 나노 입자 형성 방법이 개시된다. 금속 나노 입자 형성 방법은, 반도체 기판 상에 금속 산화물 박막을 증착하는 단계; 상기 금속 산화물 박막이 형성된 반도체 기판을 열처리하여 비정질 금속 실리콘 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내부에 금속 나노 입자를 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 발명에 의하여, 전자빔의 크기, 조사 시간, 조사 위치 등을 조절함으로써 금속 나노 입자의 크기, 밀도, 위치 등을 제어할 수 있고, 금속 나노 입자의 표면에 절연층이 둘러 쌓여 있어 우수한 전하 포획 능력을 가진 금속 나노 입자를 제공할 수 있는 효과가 있다.나노, 절연층, 증착 |
---|---|
Int. CL | H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
CPC | H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01) H01L 21/02672(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070074785 (2007.07.25) |
출원인 | 한양대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2009-0011331 (2009.02.02) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | 심판사항 |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | 1020080135652; |
심사청구여부/일자 | Y (2007.07.25) |
심사청구항수 | 1 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한양대학교 산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 성동구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 김태환 | 대한민국 | 서울특별시 마포구 |
2 | 신재원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
3 | 정재훈 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
4 | 이정용 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인이지 | 대한민국 | 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-*** |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
최종권리자 정보가 없습니다 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2007.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0541639-98 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2008.04.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2008.05.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0027380-33 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2008.06.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0349846-64 |
6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2008.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0598675-80 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2008.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0598915-43 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2008.08.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0598956-15 |
9 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2008.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0606364-76 |
10 | 명세서 등 보정서(심사전치) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2008.12.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2008-0061039-18 |
11 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0899287-05 |
12 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2009.03.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0094282-44 |
13 | 심사전치출원의 심사결과통지서 Notice of Result of Reexamination |
2009.06.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0255497-30 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 반도체 기판 상에 금속 산화물 박막을 증착하는 단계; 상기 금속 산화물 박막이 형성된 반도체 기판을 열처리하여 비정질 금속 실리콘 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내부에 금속 나노 입자를 형성하는 단계를 포함하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
2 |
2 제 1항에 있어서,상기 금속 산화물 박막 증착 시, 상기 반도체 기판과 상기 금속 산화물 박막 사이에 실리콘 산화물 박막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
3 |
3 제 1항 또는 제2항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막은 상기 반도체 기판과 상기 금속 산화물 박막의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
4 |
4 제 3항에 있어서,상기 금속 산화물 박막을 식각하는 단계를 더 포함하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
5 |
5 제 1항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내의 금속 입자와 실리콘 산화물이 분리됨으로써 실리콘 산화물에 둘러 쌓인 형태인 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
6 |
6 제 1항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 크기, 밀도 및 위치는 상기 전자빔의 초점 크기, 조사 시간 및 조사 위치를 각각 조절함으로써 제어되는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
7 |
7 제 1항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 금속은 아연(Zn), 구리(Cu), 인듐(In), 은(Ag), 주석(Sn), 안티몬(Sb), 니켈(Ni) 및 철(Fe) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
8 |
8 제 1항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막의 두께는 상기 열처리 시간을 조절함으로써 제어될 수 있는 것을 특징으로 하는 금속 나노 입자 형성 방법 |
9 |
9 제 1항에 있어서,상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막은 Zn2XSi1-YO2, Cu2XSi1-YO2, In2XSi1-YO2, Ag2XSi1-YO2, Sn2XSi1-YO2, Sb2XSi1-YO2, Ni2XSi1-YO2 및 Fe2XSi1-YO2 박막 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 플래시 금속 나노 입자 형성 방법 |
10 |
10 금속 나노 입자를 포함하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막으로서, 상기 금속 나노 입자는 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막에 전자빔을 조사하여 상기 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 내의 금속 입자와 실리콘 산화물이 분리됨으로써 실리콘 산화물에 둘러 쌓인 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 |
11 |
11 제 10항에 있어서,상기 금속 나노 입자의 금속은 아연(Zn), 구리(Cu), 인듐(In), 은(Ag), 주석(Sn), 안티몬(Sb), 니켈(Ni) 및 철(Fe) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 비정질 금속 실리콘 산화물 박막 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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등록사항 정보가 없습니다 |
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번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2007.07.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0541639-98 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.03.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5037763-28 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2008.04.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2008.05.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2008-0027380-33 |
5 | 의견제출통지서 | 2008.06.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0349846-64 |
6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2008.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0598675-80 |
7 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2008.08.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0598915-43 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2008.08.22 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2008-0598956-15 |
9 | 거절결정서 | 2008.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0606364-76 |
10 | 명세서 등 보정서(심사전치) | 2008.12.29 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 7-1-2008-0061039-18 |
11 | [분할출원]특허출원서 | 2008.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0899287-05 |
12 | 의견제출통지서 | 2009.03.02 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0094282-44 |
13 | 심사전치출원의 심사결과통지서 | 2009.06.16 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2009-0255497-30 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5068294-39 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.02.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5022074-70 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5155816-75 |
17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.06 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5156285-09 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1340012869 |
---|---|
세부과제번호 | 과C6A1612 |
연구과제명 | 수요지향적정보기술전문인력양성사업단 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
연구주관기관명 | 한양대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200603~201202 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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1 | 2008101013961 | 2008원13961 | 2007년 특허출원 제0074785호 거절결정불복심판 | 2008.12.29 | 2009.07.23 |