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전자소자 신뢰성 측정 시스템 및 그에 따른 신뢰성 측정 방법

  • 기술번호 : KST2015090825
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 저비용 고효율의 전자 소자 신뢰성 측정 시스템을 개시한다. 본 발명에서 따르면, 복수의 전자 소자 샘플들의 입력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 입력 전원 소스와, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 출력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 출력 전원 소스가 제공된다. 또한, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수에 대응되는 제1 스위치들을 가지며, 상기 입력 전원 소스와 상기 입력단 간에 설치되어 상기 제1 스위치들이 입력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 입력 스위치; 및 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수에 대응되는 제2 스위치들을 가지며, 상기 출력 전원 소스와 상기 출력단 간에 설치되어 상기 제2 스위치들이 출력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 출력 스위치가 제공된다.
Int. CL G01R 31/26 (2014.01) G01R 31/28 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120139737 (2012.12.04)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0072431 (2014.06.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.20)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종민 대한민국 대전 유성구
2 민병규 대한민국 대전 유성구
3 주철원 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2012-1005558-56
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0045352-65
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0590827-58
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0323269-77
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0066425-65
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0683663-50
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0683662-15
10 등록결정서
Decision to grant
2018.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0792035-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 전자 소자 샘플들의 입력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 입력 전원 소스;상기 복수의 전자 소자 샘플들의 출력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 출력 전원 소스;상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수에 대응되는 제1 스위치들을 가지며, 상기 입력 전원 소스와 상기 입력단 간에 설치되어 상기 제1 스위치들이 입력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 입력 스위치; 및 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수에 대응되는 제2 스위치들을 가지며, 상기 출력 전원 소스와 상기 출력단 간에 설치되어 상기 제2 스위치들이 출력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 출력 스위치를 포함하며,상기 제1 스위치들과 상기 제2 스위치들은 상기 복수의 전자 소자 샘플들이 초기 측정될 경우에 개별적으로 스위칭되고, 상기 복수의 전자 소자 샘플들이 스트레스 시험될 경우에 모두 동시에 스위칭되며,상기 단일의 입력 전원 소스 및 상기 단일의 출력 전원 소스에는 멀티미터 기능이 각기 부가된 전자소자 신뢰성 측정 시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수가 증가되는 경우에 상기 입력 전원 소스는 1개인 전자소자 신뢰성 측정 시스템
3 3
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 개수가 증가되는 경우에 상기 출력 전원 소스는 1개인 전자소자 신뢰성 측정 시스템
4 4
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들은 전계효과 트랜지스터인 전자소자 신뢰성 측정 시스템
5 5
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들은 바이폴라 정션 트랜지스터인 전자소자 신뢰성 측정 시스템
6 6
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들은 다이오드인 전자소자 신뢰성 측정 시스템
7 7
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들 중 k번째 샘플이 시험대상인 경우에 상기 제1 스위치들 중 k번째 스위치가 스위칭되는 전자소자 신뢰성 측정 시스템
8 8
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들 중 k번째 샘플이 시험대상인 경우에 상기 제2 스위치들 중 k번째 스위치가 스위칭되는 전자소자 신뢰성 측정 시스템
9 9
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 시험은 샘플에 대한 DC 측정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 시스템
10 10
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 시험은 샘플에 대한 RF 측정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 시스템
11 11
제1항에 있어서, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 시험은 샘플에 대한 파워 특성 측정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 시스템
12 12
복수의 전자 소자 샘플들의 입력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 입력 전원 소스와, 상기 복수의 전자 소자 샘플들의 출력단에 전원을 인가하기 위한 단일의 출력 전원 소스를 제공하는 단계;제1 스위치들을 가지며 상기 입력단에 입력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 입력 스위치와, 제2 스위치들을 가지며 상기 출력단에 출력 전원의 인가를 위해 선택적으로 스위칭되는 출력 스위치를 설치하는 단계; 및상기 복수의 전자 소자 샘플들의 신뢰성을 테스트하기 위해 상기 제1 스위치들과 상기 제2 스위치들을 스위칭하여 상기 복수의 전자 소자 샘플들 중 적어도 하나에 상기 입력 전원 및 출력 전원이 인가되도록 하는 단계를 포함하고,상기 제1 스위치들과 상기 제2 스위치들은 상기 복수의 전자 소자 샘플들이 초기 측정될 경우에 개별적으로 스위칭되고, 상기 복수의 전자 소자 샘플들이 스트레스 시험될 경우에 모두 동시에 스위칭되며,상기 단일의 입력 전원 소스 및 상기 단일의 출력 전원 소스에는 멀티미터 기능이 각기 부가된 전자소자 신뢰성 측정 방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 신뢰성의 테스트는 상기 초기 측정 및 상기 스트레스 시험을 행한 후, 시험 대상의 전자 소자 샘플의 특성을 모니터링하는 과정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 방법
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제13항에 있어서, 상기 전자 소자 샘플의 특성 모니터링은 특성 이상 발생을 확인하고 상기 복수의 전자 소자 샘플들을 대상으로 파괴소자 확인 시험을 수행한 다음 파괴소자 표시를 수행하는 과정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 방법
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제14항에 있어서, 상기 파괴소자 표시의 수행 후, 정상소자에 대한 스트레스 시험을 수행한 후 중간 측정 및 최종 측정을 더 수행하는 전자소자 신뢰성 측정 방법
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단일의 입력 전원 소스를 제1 스위치들 중의 적어도 하나를 통해 전자 소자 샘플들에 인가하고,단일의 출력 전원 소스를 제2 스위치들 중의 적어도 하나를 통해 상기 전자 소자 샘플들에 인가하여,상기 전자 소자 샘플들의 출력 전압 및 출력 전류를 모니터링함에 의해 상기 전자 소자 샘플들에 대한 신뢰성 테스트를 수행하며,상기 제1 스위치들과 상기 제2 스위치들은 상기 전자 소자 샘플들이 초기 측정될 경우에 개별적으로 스위칭되고, 상기 전자 소자 샘플들이 스트레스 시험될 경우에 모두 동시에 스위칭되며,상기 단일의 입력 전원 소스 및 상기 단일의 출력 전원 소스에는 멀티미터 기능이 각기 부가된 전자 소자 신뢰성 측정 방법
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제16항에 있어서, 상기 전자 소자 샘플들은 전계효과 트랜지스터나 바이폴라 정션 트랜지스터인 전자소자 신뢰성 측정 방법
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제16항에 있어서, 상기 전자 소자 샘플들은 다이오드인 전자소자 신뢰성 측정 방법
19 19
제16항에 있어서, 상기 신뢰성 테스트는 샘플에 대한 DC 측정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 방법
20 20
제16항에 있어서, 상기 신뢰성 테스트는 샘플에 대한 RF 측정이나 파워 특성 측정을 포함하는 전자소자 신뢰성 측정 방법
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1 지식경제부 한국전자통신연구원 산업원천기술개발사업(ETRI지원사업) 차세대 데이터센터용 에너지절감 반도체 기술