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금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015111735
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다결정 규소 박막의 제조방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 LCD용 TFT, SRAM, 태양전지, EEPROM 등의 반도체 소자의 제조에 사용되는 것으로서 비정질 규소 박막에 점도가 높은 금속용액을 이용하여 금속 성분을 흡착시킨 후 열처리함으로써 저온에서 대면적의 다결정 규소 박막의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판에 CVD법 또는 스퍼터링법에 의하여 비정질 규소 박막을 제조하는 공정; 금속원소 또는 금속 화합물을 점도가 높은 유기용매에 녹이거나 묽은 산 또는 물에 녹인 후 점도가 높은 유기용매와 혼합하여 금속용액을 제조하는 공정; 상기 비정질 규소 박막에 상기 금속용액의 피막을 형성하는 공정; 금속용액의 피막을 건조시켜 금속 성분을 흡착시키는 공정; 전기 공정을 통하여 얻은 금속 성분이 흡착된 비정질 규소 박막을 불활성기체 분위기 중에서 400℃에서 600℃의 온도로 열처리하여 결정화시키는 공정을 포함한다. 본 발명은 종래에 열처리 온도를 낮출 수 없는 금속들에도 적용이 가능하여 열처리 온도를 100℃ 이상 낮출 수 있게 되며 물방울이 형성되지 않게 제어하여 균일한 피막을 통해 금속을 흡착시킴으로써 공정의 균일성 및 재현성을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/31 (2006.01)
CPC H01L 29/42384(2013.01) H01L 29/42384(2013.01) H01L 29/42384(2013.01) H01L 29/42384(2013.01) H01L 29/42384(2013.01)
출원번호/일자 1020000024438 (2000.05.08)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0369446-0000 (2003.01.10)
공개번호/일자 10-2001-0103866 (2001.11.24) 문서열기
공고번호/일자 (20030124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안병태 대한민국 대전광역시유성구
2 안진형 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2000-0091796-17
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0052856-15
3 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.04.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0120435-90
4 의견서
Written Opinion
2002.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2002-5099803-33
5 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2002.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2002-5099800-07
6 등록결정서
Decision to grant
2002.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0387657-04
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

다결정 규소 박막을 제조함에 있어서, 점도가 높은 금속 용액을 제조한 후 비정질 규소 박막에 금속 용액의 피막을 형성하는 공정과, 금속용액의 피막을 건조시켜 금속성분을 규소 박막에 흡착시키는 공정과, 전기 공정을 거친 규소 박막을 불활성 기체 분위기에서 열처리하여 결정화시키는 공정과, 이들 일련의 공정을 거쳐 다결정 규소 박막을 제조하는 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 박막 형성시 비정질 규소 박막을 이용하는 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

3 3

제 1항에 있어서, 점도가 높은 금속용액은 금속 또는 금속화합물을 점도가 높은 유기물에 녹이거나 또는 묽은 산이나 물에 녹인 후 점도가 높은 유기물을 첨가하여 규소 박막에 피막을 형성할 정도의 고점도 금속용액을 이용하는 것을 특징으로 하는 다결정 규소 박막의 제조 방법

4 4

제 3항에 있어서, 점도가 높은 유기물은 프로필렌글리콜을 사용하는 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

5 5

제 3항에 있어서, 묽은 산은 1N 이하의 염산 용액인 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

6 6

제 1항에 있어서, 금속용액의 피막은 점도가 높은 금속 용액을 규소 박막에 스핀코팅하거나, 분무하거나 또는 규소 박막을 금속용액에 침지하여 규소 박막에 금속 용액의 피막을 형성하는 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

7 7

제 1항에 있어서, 금속흡착은 점도가 높은 금속용액의 피막을 형성한 후 이를 50℃에서 400℃에서 열처리와는 별도로 건조시키거나 열처리 과정에서 건조시켜 금속을 흡착시키는 방법을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

8 8

제 1항에 있어서, 규소박막의 결정화는 불활성기체 분위기에서 400℃ 내지 600℃의 온도로 열처리하여 비정질 규소를 결정화시키는 것을 특징으로 하는 금속흡착을 이용한 다결정 규소 박막의 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.