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엑스선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물가공장치 및 그 가공방법
- 기술번호 : KST2015112259
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 판형상 감광성 폴리머를 이송시키면서 일부분을 연속적으로 X선 마스크에 정렬시키면서 X선 노광하여 미세구조물을 가공하는 장치 및 그 방법을 개시한다. 본 발명의 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치는 프레임과, 프레임의 일단에 형성된 하부지지대와, 하부지지대와 대향하고 그 사이에 간극을 형성하도록 배치된 상부지지대와, 간극에 배치되고 제작하고자 하는 감광성 폴리머의 형상에 대응하는 X선 흡수부를 구비하는 X선 마스크와, 감광성 폴리머가 외주에 감기며, 감광성 폴리머의 일부가 X선 마스크에 정렬되도록 프레임에 설치되는 롤러로 구성된다. 또한, 본 발명의 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법은 X선 흡수부가 구비된 X선 마스크를 제작하는 단계와, X선 마스크에 판형상 감광성 폴리머의 일부를 정렬하는 단계와, X선 마스크상에 방사광을 노광하는 단계와, 감광성 폴리머의 일부가 연속적으로 X선 마스크에 정렬되도록 감광성 폴리머를 이송시키는 단계와, 감광성 폴리머를 현상액에 함침시켜 현상하는 단계로 구성된다. 본 발명의 구성에 따라, 적은 비용으로 제작할 수 있는 정밀한 미세구조물이 얻어진다. MEMS, LIGA, 롤러, 노광, X선, 감광성 폴리머, X선 마스크, 간극 |
|---|---|
| Int. CL | G03F 7/20 (2006.01) |
| CPC | G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) G03F 7/2016(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020040065059 (2004.08.18) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-0756530-0000 (2007.08.31) |
| 공개번호/일자 | 10-2006-0016564 (2006.02.22) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20070910) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2004.08.18) |
| 심사청구항수 | 13 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 문상준 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 이승섭 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인다인 | 대한민국 | 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호 |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2004.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0368945-81 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2005.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2005.12.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-2005-0080244-16 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0304012-46 |
| 5 | 지정기간연장신청서 Request for Extension of Designated Period |
2006.07.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0536974-15 |
| 6 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2006.08.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0613914-26 |
| 7 | 의견서 Written Opinion |
2006.08.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0613907-17 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2006.12.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0715704-51 |
| 9 | 의견서 Written Opinion |
2006.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0918057-22 |
| 10 | 명세서등보정서 Amendment to Description, etc. |
2006.12.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0918060-60 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2007.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0302345-22 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 프레임과;상기 프레임의 일단에 형성된 하부지지대와;상기 하부지지대와 대향하고 그 사이에 간극을 형성하도록 배치된 상부지지대와;상기 간극에 배치되고 제작하고자 하는 미세구조물의 형상에 대응하는 X선 흡수부를 구비하는 X선 마스크와;감광성 폴리머가 외주에 감기며, 상기 감광성 폴리머의 일부가 상기 X선 마스크에 정렬되도록 상기 프레임에 설치되는 롤러로 구성되는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 감광성 폴리머가 감기고 상기 감광성 폴리머의 가공시에 상기 감광성 폴리머를 상기 롤러로 공급하도록 설치되는 롤아웃보빈과; 상기 감광성 폴리머의 가공시에 상기 롤러에서 가공된 상기 감광성 폴리머를 권취하는 권취보빈을 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 3 |
3 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 하부지지대와 상기 상부지지대 사이에 형성된 간극의 폭을 조절하는 간극조절수단을 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 4 |
4 제 3항에 있어서, 상기 간극조절수단은 상기 하부지지대와 상기 상부지지대의 측면에 설치된 지지대 가이드 부재와; 상기 상부지지대에 설치되어 상기 상부지지대의 높낮이를 조절하는 간극조절나사로 구성되는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 5 |
5 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 롤러를 롤러축방향으로 이동시킬 수 있도록 상기 프레임에 설치되는 폭조절수단을 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 6 |
6 제 5항에 있어서, 상기 폭조절수단은 상기 프레임의 일측에 설치되어 상기 프레임을 가이드하는 프레임 가이드 부재와; 상기 프레임에 설치되어 상기 프레임을 상기 롤러의 축방향으로 이동시키는 폭조절나사와; 상기 폭조절나사를 주기적으로 회전시키는 모터로 구성되는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 7 |
7 평면상에서 서로 다른 높이에서 형성된 복수의 면이 구비된 프레임과; 상기 복수의 면상에서 감광성 폴리머를 이동시키는 이송수단과; 상기 복수의 면 중에서 한면에 평행하게 대응되는 간극이 형성된 지지대와; 상기 지지대의 간극에 배치되고 제작하고자 하는 구조물의 측면형상에 대응하는 X선 흡수부를 구비하는 X선 마스크로 구성되는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 8 |
8 제 7항에 있어서, 상기 지지대에 형성된 간극의 폭을 조절하는 간극조절수단을 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 9 |
9 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 프레임을 상기 복수의 면상에서 상기 감광성 폴리머 이동방향에 수직하게 왕복운동시킬 수 있는 폭조절수단을 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공장치 |
| 10 |
10 X선 흡수부가 구비된 X선 마스크를 제작하는 단계와; 상기 X선 마스크에 판형상 감광성 폴리머의 일부를 정렬하는 단계와; 상기 X선 마스크상에 방사광을 노광하는 단계와; 상기 감광성 폴리머의 일부가 연속적으로 상기 X선 마스크에 정렬되도록 상기 감광성 폴리머를 이송시키는 단계와; 상기 감광성 폴리머를 현상액에 함침시켜 현상하는 단계로 구성되는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서, 상기 감광성 폴리머를 이송시키는 단계는 상기 감광성 폴리머를 폭방향으로 왕복운동시키는 단계를 더 포함하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법 |
| 12 |
12 제 10항 또는 제 11항에 있어서, 상기 X선 마스크에 판형상 감광성 폴리머의 일부를 정렬하는 단계는 롤러에 감긴 상기 감광성 폴리머를 회전시키면서 상기 X선 마스크에 정렬하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법 |
| 13 |
13 제 10항 또는 제 11항에 있어서, 상기 X선 마스크에 판형상 감광성 폴리머의 일부를 정렬하는 단계는 평면으로부터의 높이가 각기 다른 복수의 면중에서 일면상에 위치시켜 상기 X선 마스크에 정렬하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법 |
| 14 |
13 제 10항 또는 제 11항에 있어서, 상기 X선 마스크에 판형상 감광성 폴리머의 일부를 정렬하는 단계는 평면으로부터의 높이가 각기 다른 복수의 면중에서 일면상에 위치시켜 상기 X선 마스크에 정렬하는 X선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물 가공방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-0756530-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20040818 출원 번호 : 1020040065059 공고 연월일 : 20070910 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20070531 청구범위의 항수 : 13 유별 : G03F 7/20 발명의 명칭 : 엑스선노광에 의한 판형상 감광성 폴리머의 미세구조물가공장치 및 그 가공방법 존속기간(예정)만료일 : 20120901 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 391,500 원 | 2007년 09월 03일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 326,000 원 | 2010년 08월 02일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 326,000 원 | 2011년 07월 29일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2004.08.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2004-0368945-81 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2005.11.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2005.12.07 | 수리 (Accepted) | 9-1-2005-0080244-16 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2006.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0304012-46 |
| 5 | 지정기간연장신청서 | 2006.07.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0536974-15 |
| 6 | 명세서등보정서 | 2006.08.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0613914-26 |
| 7 | 의견서 | 2006.08.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0613907-17 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2006.12.01 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2006-0715704-51 |
| 9 | 의견서 | 2006.12.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0918057-22 |
| 10 | 명세서등보정서 | 2006.12.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2006-0918060-60 |
| 11 | 등록결정서 | 2007.05.31 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2007-0302345-22 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1340017781 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1808 |
| 연구과제명 | 카이스트가치제조기계사업단 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2006 |
| 연구기간 | 200603~201202 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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