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열대류형 마이크로 가속도계

  • 기술번호 : KST2015112490
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이 발명은 측정 주파수의 대역폭을 향상시키는 열대류형 마이크로 가속도계에 관한 것이다.이 발명에 따른 열대류형 마이크로 가속도계는, 중심부에 구멍이 형성된 실리콘기판과, 상기 구멍의 중앙에 위치한 마이크로 히터와, 상기 마이크로 히터를 중심으로 1축 상에 대칭되게 위치한 한 쌍의 주 온도감지센서와, 상기 마이크로 히터와의 거리가 상기 마이크로 히터와 주 온도감지센서와의 거리보다 멀고 상기 1축 상에 대칭되게 위치하는 한 쌍의 보조 온도감지센서와, 상기 한 쌍의 주 온도감지센서와 한 쌍의 보조 온도감지센서에서 검출된 온도측정치에 따른 출력전압으로부터 가속도를 계산하는 연산회로를 포함한다.마이크로 가속도계, 열대류, 대역폭, 확장
Int. CL G01P 15/00 (2006.01)
CPC G01P 15/008(2013.01) G01P 15/008(2013.01) G01P 15/008(2013.01) G01P 15/008(2013.01)
출원번호/일자 1020060032900 (2006.04.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0771167-0000 (2007.10.23)
공개번호/일자 10-2007-0101641 (2007.10.17) 문서열기
공고번호/일자 (20071029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.11)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오준석 대한민국 서울 송파구
2 윤성기 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2006-0251308-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2007-0012759-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0163434-15
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0387750-89
6 의견서
Written Opinion		 2007.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0458615-77
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0458614-21
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0511338-59
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심부에 구멍이 형성된 실리콘기판과, 상기 구멍의 중앙에 위치한 마이크로 히터와, 상기 마이크로 히터를 중심으로 1축 상에 대칭되게 위치한 한 쌍의 주 온도감지센서와, 상기 마이크로 히터와의 거리가 상기 마이크로 히터와 주 온도감지센서와의 거리보다 멀고 상기 1축 상에 대칭되게 위치하는 한 쌍의 보조 온도감지센서와, 상기 한 쌍의 주 온도감지센서와 한 쌍의 보조 온도감지센서에서 검출된 온도측정치에 따른 출력전압으로부터 가속도를 계산하는 연산회로를 포함하고,상기 연산회로는, 상기 한 쌍의 주 온도감지센서의 차전압(V1)을 (1+α)(여기서, α는 양의 실수)배 반전 증폭하는 반전증폭기와, 상기 한 쌍의 보조 온도감지센서의 차전압(V2)을 α배 비반전 증폭하는 비반전증폭기와, 상기 반전증폭기의 출력값과 비반전증폭기의 출력값을 가산하여 출력하는 가산증폭기를 포함한 것을 특징으로 하는 열대류형 마이크로 가속도계
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 히터를 중심으로 상기 1축과 다른 2축 상에 대칭되게 위치한 다른 한 쌍의 주 온도감지센서와,상기 마이크로 히터와의 거리가 상기 마이크로 히터와 다른 한 쌍의 주 온도감지센서와의 거리보다 멀고 상기 2축 상에 대칭되게 위치하는 다른 한 쌍의 보조 온도감지센서를 더 포함한 것을 특징으로 하는 열대류형 마이크로 가속도계
3 3
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4 4
삭제
5 5
제 2 항에 있어서, 상기 1축과 2축은 직교하는 것을 특징으로 하는 열대류형 마이크로 가속도계
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.