기술이전플랫폼 Tech-Bridge-이전대상기술

맞춤기술찾기

홈으로 가기

맞춤기술찾기

이전대상기술

프린트하기

이전대상기술

마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법

기술번호 : KST2015117489
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

상담신청 PDF 받기

상세정보
공개전문
공고전문
등록사항
통합행정정보
기술정보
과제정보
관련기술
심판사항

서지정보
인명정보
행정처리
청구항
지정국
패밀리정보
국가R&D 연구정보

이전 슬라이드 보기 다음 슬라이드 보기

요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 마이크로 렌즈를 이용하여 미세구조물을 제조하는 방법을 개시한다. 본 발명의 미세구조물 제조방법은 마이크로 렌즈가 형성된 자외선 마스크를 제작하는 단계와, 자외선 마스크와 음성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계와, 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계와, 음성 감광성폴리머를 현상하는 단계와, 현상된 음성 감광성폴리머에 양각금형 재료를 형성시켜 양각금형을 제작하는 단계와, 양각금형 위에 금속재료를 형성시켜 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계와, 미세구조물 몰드용 음각금형에 미세구조물 제작용 재료를 주입하는 단계로 구성된다. 그에 따라, 본 발명은 1회의 자외선 수직노광을 통하여 일정한 배열형태가 아닌 다양한 형상의 미세구조물을 제작할 수 있다. MEMS, 자외선, 노광, 감광성 폴리머, 마스크, 마이크로 렌즈
Int. CL	B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자	1020040070257 (2004.09.03)
출원인	한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2006-0021494 (2006.03.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	거절
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2004.09.03)
심사청구항수	15

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	문상준	대한민국	대전광역시 유성구
2	전영균	대한민국	대전 유성구
3	이승섭	대한민국	대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	특허법인다인	대한민국	경기도 화성시 동탄기흥로* 더퍼스트타워쓰리제층 제**호, 제*-호

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
최종권리자 정보가 없습니다

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2004.09.03	수리 (Accepted)	1-1-2004-0399869-24
2	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2006.03.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0155068-30
3	의견서 Written Opinion	2006.05.22	수리 (Accepted)	1-1-2006-0356588-27
4	명세서등보정서 Amendment to Description, etc.	2006.05.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0356601-34
5	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2006.08.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0475410-70
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.02.01	수리 (Accepted)	4-1-2013-5019983-17
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 자외선 투광기판상에 금속패턴을 형성시키는 공정과, 상기 금속패턴의 사이에 감광성폴리머를 도포하는 공정과, 상기 감광성폴리머를 열처리하여 마이크로 렌즈를 제작하는 공정으로 구성되는 자외선 마스크를 제작하는 단계와; 상기 자외선 마스크와 음성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계와; 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계와; 상기 음성 감광성폴리머를 현상하는 단계와; 상기 현상된 음성 감광성폴리머에 양각금형 재료를 형성시켜 양각금형을 제작하는 단계와; 상기 양각금형 위에 금속재료를 형성시켜 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계와; 상기 미세구조물 몰드용 음각금형에 미세구조물 제작용 재료를 주입하는 단계로 구성되는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
2	2 제 1항에 있어서, 상기 금속패턴을 형성시키는 공정은 서로 평행하지 않게 배치된 금속패턴을 복수로 형성시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
3	3 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 자외선 마스크와 음성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계는 상기 자외선 마스크와 상기 음성 감광성폴리머의 사이에 굴절율 조절매질을 개재시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
4	4 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계는 상기 자외선을 상기 자외선 마스크에 수직하게 노광하는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
5	5 제 1항에 있어서, 상기 양각금형을 형성시키는 단계는 상기 음성 감광성폴리머의 표면에 금속재료를 코팅하고 구리를 전해전착시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
6	6 제 1항에 있어서, 상기 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계는 니켈을 인젝션 몰딩하여 음각금형을 제작하는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
7	7 자외선 투광기판상에 금속패턴을 형성시키는 공정과, 상기 금속패턴의 사이에 감광성폴리머를 도포하는 공정과, 상기 감광성폴리머를 가열하여 렌즈를 제작하는 공정으로 구성되는 자외선 마스크를 제작하는 단계와; 상기 자외선 마스크와 양성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계와; 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계와; 상기 양성 감광성폴리머를 현상하는 단계와; 상기 현상된 양성 감광성폴리머에 미세구조물 몰드용 재료를 형성시켜 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계와; 상기 미세구조물 몰드용 음각금형에 미세구조물 제작용 재료를 주입하는 단계로 구성되는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
8	8 제 7항에 있어서, 상기 금속패턴을 형성시키는 공정은 서로 평행하지 않게 배치된 금속패턴을 복수로 형성시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
9	9 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 자외선 마스크와 양성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계는 상기 자외선 마스크와 상기 양성 감광성폴리머의 사이에 굴절율 조절매질을 개재시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
10	10 제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계는 상기 자외선을 상기 자외선 마스크에 수직하게 노광하는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
11	11 제 7항에 있어서, 상기 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계는 니켈을 인젝션 몰딩하여 음각금형을 제작하는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
12	12 간섭계 렌즈를 미세구조물 패턴에 대응하게 배치하여 자외선 마스크를 제작하는 단계와; 상기 자외선 마스크와 음성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계와; 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계와; 상기 음성 감광성폴리머를 현상하는 단계와; 상기 현상된 음성 감광성폴리머에 양각금형 재료를 도포하여 양각금형을 형성시키는 단계와; 상기 양각금형 위에 금속재료를 형성시켜 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계와; 상기 미세구조물 몰드용 음각금형에 미세구조물 제작용 재료를 주입하는 단계로 구성되는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
13	13 제 12항에 있어서, 상기 자외선 마스크와 음성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계는 상기 자외선 마스크와 상기 음성 감광성폴리머의 사이에 굴절율 조절매질을 개재시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
14	14 간섭계 렌즈를 미세구조물 패턴에 대응하게 배치하여 자외선 마스크를 제작하는 단계와; 상기 자외선 마스크와 양성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계와; 상기 자외선 마스크상에 자외선을 노광하는 단계와; 상기 양성 감광성폴리머를 현상하는 단계와; 상기 현상된 양성 감광성폴리머에 미세구조물 몰드용 재료를 형성시켜 미세구조물 몰드용 음각금형을 제작하는 단계와; 상기 미세구조물 몰드용 음각금형에 미세구조물 제작용 재료를 주입하는 단계로 구성되는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
15	15 제 14항에 있어서, 상기 자외선 마스크와 양성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계는 상기 자외선 마스크와 상기 양성 감광성폴리머의 사이에 굴절율 조절매질을 개재시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법
16	15 제 14항에 있어서, 상기 자외선 마스크와 양성 감광성폴리머를 정렬시키는 단계는 상기 자외선 마스크와 상기 양성 감광성폴리머의 사이에 굴절율 조절매질을 개재시키는 마이크로 렌즈를 이용한 미세구조물 제조방법

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2004.09.03	수리 (Accepted)	1-1-2004-0399869-24
2	의견제출통지서	2006.03.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0155068-30
3	의견서	2006.05.22	수리 (Accepted)	1-1-2006-0356588-27
4	명세서등보정서	2006.05.22	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2006-0356601-34
5	거절결정서	2006.08.18	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2006-0475410-70
6	출원인정보변경(경정)신고서	2013.02.01	수리 (Accepted)	4-1-2013-5019983-17
7	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157968-69
8	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5157993-01
9	출원인정보변경(경정)신고서	2014.12.24	수리 (Accepted)	4-1-2014-5158129-58
10	출원인정보변경(경정)신고서	2019.04.24	수리 (Accepted)	4-1-2019-5081392-49
11	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
12	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63

중요키워드

이전대상기술 뷰 페이지 관련기술 표
[KST2015113611][한국과학기술원]	열분해 탄소 구조를 포함하는 초소형 소자 및 그 제조방법	새창보기
[KST2015118517][한국과학기술원]	응력 조절 가능한 단일 물질 구조체 제조방법	새창보기
[KST2015119168][한국과학기술원]	나노 다공성 멤브레인 및 이의 제조방법	새창보기
[KST2014046920][한국과학기술원]	채널 형성방법	새창보기
[KST2015118004][한국과학기술원]	소자 패키징 방법 및 이를 이용한 소자 패키지	새창보기
[KST2019023875][한국과학기술원]	용액재료를 이용한 미세패턴 제조방법	새창보기
[KST2020002228][한국과학기술원]	MEMS 멤브레인 구조체 및 그 제조방법	새창보기
[KST2015117784][한국과학기술원]	미세장치 매립형 온도센서 및 그 제조방법	새창보기
[KST2015228902][한국과학기술원]	중금속 이온 샘플 전처리용 미세 유체 칩 및 이를 이용하는 중금속 이온 샘플 전처리 장치와 방법(MICRO FLUIDIC CHIP FOR HEAVY METAL ION SAMPLE PRETREATMENT, AND APPARATUS AND METHOD FOR PRETREATING HEAVY METAL ION SAMPLE USING THE SAME)	새창보기
[KST2015113044][한국과학기술원]	다중외팔보 MEMS 센서의 제조방법 및 다중외팔보 MEMS 센서를 이용한 음원위치 추정방법	새창보기
[KST2015116911][한국과학기술원]	미세채널에 플라즈모닉 구조를 선택적으로 갖는 미세유체칩을 제조하는 방법	새창보기
[KST2015117166][한국과학기술원]	멤즈 구조체의 제조 방법	새창보기
[KST2015117194][한국과학기술원]	미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법 및 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자	새창보기
[KST2015117397][한국과학기술원]	미세구조물의 유효굴절률을 이용한 굴절률 분포형 렌즈 및 그 제조방법	새창보기
[KST2017017916][한국과학기술원]	멤스 디바이스 제조 방법(MEMS manufacturing method)	새창보기
[KST2019012996][한국과학기술원]	금형을 이용한 마이크로 노즐 어레이 제조 방법 및 정전분무 시스템	새창보기
[KST2015115322][한국과학기술원]	관성센서 및 그 제조방법	새창보기
[KST2015115791][한국과학기술원]	3차원 미세유체집속채널구조를 이용하는 균일한 미세 액적 및 단분산성 입자의 제조 방법	새창보기
[KST2015116390][한국과학기술원]	수직 나노선의 어레이를 포함하는 렌즈 구조 및 이의 제조방법과 이를 이용하여 제작된 렌즈.	새창보기
[KST2015117669][한국과학기술원]	가스 폭발로 인한 압력차를 이용한 초소형 흡입기	새창보기
[KST2015118331][한국과학기술원]	초소형 굴절 실리콘 렌즈 제조방법	새창보기
[KST2015118412][한국과학기술원]	미세유로 형성물 및 미세유체소자 제조방법	새창보기
[KST2015116438][한국과학기술원]	고 응답 멤스 디바이스 및 그 제조방법	새창보기
[KST2015117796][한국과학기술원]	Ｘ-선을 이용한 연속적인 패턴을 갖는 롤러의 제작방법	새창보기
[KST2015231024][한국과학기술원]	나노지형구조 미세전극칩, 이의 제조방법 및 이를 이용한 세포 성장방법(Nanostructured electrode chip, a preparation method thereof and Methods for cell growth using thereof)	새창보기
[KST2017009392][한국과학기술원]	멤스 디바이스 및 그 제조방법(MEMS device and method of fabricating the same)	새창보기
[KST2020005780][한국과학기술원]	3차원 이미징을 위한 마이크로 미러가 집적된 이미징 디바이스 및 그 제조 방법	새창보기
[KST2014067017][한국과학기술원]	원가 혁신적 CMOS 열영상 센서 및 카메라 코아	새창보기
[KST2015113296][한국과학기술원]	평판 전극의 전류 밀도 차이를 이용한 입자 농축 및 분리 장치	새창보기
[KST2015116527][한국과학기술원]	미소채널을 갖는 저유량용 다단임팩터 및 그 제조방법	새창보기

번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2006101008296	2006원8296	2004년 특허출원 제0070257호 거절결정불복심판	2006.09.19	2007.07.25

의뢰할 수요기술을 선택합니다

담당자명, 주소, 이메일, 연락처, 내용, 파일선택의 정보를 제공하는 도입희망기술 뷰 페이지 의뢰하기 입력표입니다.
담당자명		활동구분※필수입력항목
이메일		연락처	- -
내용
파일선택	파일선택

기술이전 상담신청 드립니다.
기업명
신청자 성명		직책
연락처	- -
이메일	@
상담희망전담센터	※ 사업장(본점) 소재지가 속한 지역의 기술혁신센터를 지정해주세요.