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미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법에 있어서,(i) 상기 미세 유체 소자를 구성하는 상판과 하판을 준비하는 단계;(ii)상기 상판과 하판을 세척액이 담긴 초음파 세척기에 넣고 세척하는 단계;(iii)상기 세척된 상판과 하판에 비반응성 가스를 불어주어 상판 표면에 남은 세척액을 제거하는 단계;(iv) 상기 세척된 상판과 하판을 친수성 물질이 위치된 건식 증착장치의 기판대 위에 장착하는 단계;(v)상기 상판과 하판이 놓여져 있는 기판대를 회전시키면서, 친수성 물질을 상기 상판과 하판 위에 증착하는 단계;(vi)상기 친수성 물질이 증착된 상기 상판과 하판을 상기 챔버에서 꺼내는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제 1 항에 있어서,상기 건식 증착장치는 플라즈마 또는 E-beam을 이용한 스퍼터링(Sputtering) 장치, 화학기상증착(Chemical Vapor Depostion) 장치, 또는 진공 증발 증착 장치(Evaporator) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제 1 항에 있어서,상기 상판과 하판은 상기 상판과 하판을 접합시켰을 때, 내부에 합체된 채널이 형성될 수 있도록, 대응되는 위치에 대응되는 형상이 표면에 위치하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제1항에 있어서,상기 상판, 하판, 및 미세 유체 소자는 고분자(polymer)계열의 물질, 금속, 또는 비결정질(amorphous) 물질 중의 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제 4항에 있어서, 상기 고분자(polymer)계열의 물질은 스틸렌계 수지, 염화비닐계 수지, 프로필렌계 수지, 실리콘 고무, 아크릴 수지, 아미드계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 에틸렌-프로필렌 고무, 폴리비닐부티랄 수지 및 폴리우레탄 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제 1 항에 있어서,상기 세척액은 아세톤, 알코올, DI(De-ionized) Water 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 비반응성 가스는 질소, 아르곤, 공기, 헬륨, 수소, 산소 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제1항에 있어서,상기 친수성 물질은 실리콘 옥사이드(SiOx), 티타늄옥사이드(TiOx), 알루미늄 옥사이드(AlOx) 등과 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제1항에 있어서,상기 (v)단계에서 상기 기판대의 회전속도는 1 내지 1,000 rpm 이고, 증착온도는 25 내지 600℃인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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제1항에 있어서, 상기 상판과 하판에 코팅된 상기 친수성 물질의 두께는 1 내지 10,000 nm 인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자 내 채널 표면의 친수성 개질 방법
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친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제작하는 방법에 있어서,(a) 상기 제1항 내지 제10항의 방법으로 제작된, 친수성 물질이 코팅된 상판과 하판을 준비하는 단계;(b) (a)단계의 상판과 하판을 초음파 접합기를 이용하여 접합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성 채널을 갖는 미세 유체 소자를 제작하는 방법
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미세 유체 소자에 있어서,반응 시약 또는 반응 유체를 주입하기 위한 다수 개의 주입구;주입구를 통해 유입된 상기 시약 또는 유체를 유동시키기 위한 채널;상기 채널을 통해 유동된 반응 시약 또는 유체를 검출하기 위한 배출구;를 포함하고,상기 채널의 내측 표면은 친수성 물질로 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자
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제 12 항에 있어서, 상기 미세 유체 소자는, 고분자(polymer)계열의 물질, 금속, 또는 비결정질(amorphous) 물질 중의 어느 하나의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자
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제 13 항에 있어서, 상기 고분자(polymer)계열의 물질은 스틸렌계 수지, 염화비닐계 수지, 프로필렌계 수지, 실리콘 고무, 아크릴 수지, 아미드계 수지, 에폭시 수지, 페놀 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 에틸렌-프로필렌 고무, 폴리비닐부티랄 수지 및 폴리우레탄 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자
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제 12 항에 있어서, 상기 친수성 물질은 실리콘 옥사이드(SiOx), 티타늄옥사이드(TiOx), 알루미늄 옥사이드(AlOx) 등과 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자
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제 12 항에 있어서, 상기 친수성 물질의 코팅 두께는 1 내지 10,000 nm 인 것을 특징으로 하는 미세 유체 소자
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