맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

강유전 박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015120009
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 강유전 박막 제조방법에 관한 것으로, 스퍼터링 법이나 레이저 에블레이션법을 이용한 Pb(Zr1-XTiX)O3(PZT) 강유전 박막 제조에 있어서, 상기 Pb(Zr1-xTix)O3(PZT) 박막 제조시 잉여의 Pb 성분을 함유한 완충층이 삽입되어 복합 증착되도록 강유전 박막을 형성함으로써, 미세클랙이 없는 우수한 전기적 특성을 보유한 박막 제조가 가능하고, 전극과 박막 계면 부위에서의 산소나 Pb이온의 부족현상을 억제할 수 있으며, 또한 스퍼터 입자들의 에너지를 쉽게 흡수할 수 있어, 강유전 물질 박막 응용물에도 적용 가능한 고신뢰성의 Pb(Zr1-xTix)O3(PZT) 강유전 박막을 구현할 수 있게 된다.
Int. CL G11C 11/40 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019950011460 (1995.05.10)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0275782-0000 (2000.09.23)
공개번호/일자 10-1996-0042928 (1996.12.21) 문서열기
공고번호/일자 (20001215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.05.10)
심사청구항수 9

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김태송 대한민국 서울특별시 마포구
2 김준한 대한민국 서울특별시 강남구
3 이동헌 대한민국 서울특별시성동구
4 이전국 대한민국 서울특별시도봉구
5 정형진 대한민국 서울특별시성동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.05.10 수리 (Accepted) 1-1-1995-0050267-95
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.05.10 수리 (Accepted) 1-1-1995-0050266-49
3 특허출원서
Patent Application		 1995.05.10 수리 (Accepted) 1-1-1995-0050265-04
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1996.04.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1995-0050268-30
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0025695-29
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1998.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1995-0050269-86
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.08.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1995-0050270-22
8 의견서
Written Opinion		 1998.08.29 수리 (Accepted) 1-1-1995-0050271-78
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0470099-43
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.12.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1995-0756921-17
11 의견서
Written Opinion		 1998.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1995-0756924-43
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
15 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1999.02.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0054140-84
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
17 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1999.03.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-1999-0006272-81
18 심사전치출원의 심사결과보고서
Notice of Result of Reexamination		 1999.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-1999-0004861-46
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
21 등록사정서
Decision to grant		 2000.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0202480-13
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

스퍼터링 방법이나 레이저 에블레이션 방법을 이용한 Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 제조에 있어서, 상기Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 제조시 스핀코팅, 딥코팅과 같은 순수한 졸겔법, MOCVD법, LSCVD법, MOD법 중 선택된 하나의 방법을 통해 잉여의 Pb 성분을 함유한 완충층이 삽입되도록 복합 증착하는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 완충층은 10-100nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 완충층은 잉여의 휘발성분 Pb가 함유된Pb(Zr1-xTix)O3, PbO, PbTiO3 중 어느 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

4 4

제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 완충층은 잉여의 휘발성분 Pb가 5-50% 함유되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

5 5

제1항에 있어서, 상기 완충층은 상기Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 증착 전에 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

6 6

제1항에 있어서, 상기 완충층은 Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 증착 전, 후에 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

7 7

제6항에 있어서, 상기 Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 증착 전, 후에 완충층이 각각 형성될 경우, 상기 Pb(Zr1-xTix)O3 강유전 박막 증착 이후에 형성된 완충층은 열처리 공정을 더 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

8 8

제7항에 있어서, 상기 열처리 공정은 전기로 장입가열방법, 관로용 노의 핫존을 통과하는 직적 가열법 및 고속 열처리 가열법 중 선택된 어느 한 방법으로 이루어짐을 특징으로 하는 강유전 박막 제조방법

지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US05820946 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US5820946 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.