| 1 |
1
투명지지체 상에 금속막을 증착시켜 그래핀성장용 기판을 마련하는 단계 (1); 그리고상기 그래핀성장용 기판의 일부 또는 전부에 레이저를 조사하여 상기 투명지지체와 상기 금속막 사이의 계면(界面)에 그래핀을 성장시키는 단계 (2);를 포함하고,상기 금속막은 10-4 atom % 이상의 탄소용해도를 가지는 것인, 그래핀의 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 투명지지체는, 유리판, 사파이어 기판, 투명 산화물 반도체 기판, 투명플라스틱 기판 및 광섬유 코어를 포함하는 군에서 선택된 어느 하나인, 그래핀의 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 금속막은, 니켈, 구리, 철, 이리듐 (Ir), 루테늄 (Ru), 플래티늄 (Pt), 팔라듐 (Pd), 로듐 (Rh), 오스뮴 (Os), 코발트 (Co) 및 이들의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나의 금속으로 이루어진, 그래핀의 제조방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 단계 (2)는 100 ℃ 이하의 공기 분위기에서 수행되는 것인, 그래핀의 제조방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 금속막의 두께는 10 nm 이상인, 그래핀의 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 그래핀의 제조방법은 상기 단계 (2) 이후에 상기 금속막을 제거하는 단계 (3)을 더 포함하는, 그래핀의 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 그래핀은, 상기 투명지지체에 레이저가 조사되는 조사 면의 일부 또는 전부를 덮도록 형성되고, 상기 그래핀은 10층 이하의 다층 그래핀을 포함하는 것인, 그래핀의 제조방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 그래핀은 라만스펙트럼 측정 결과에서 D 피크 강도(ID)와 G 피크 강도(IG)의 비율인 ID/IG 값이 1 이하인 것인, 그래핀의 제조방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 단계 (2)에서 상기 레이저는 -20 dBm 내지 30 dBm 의 출력으로 30초 내지 100 분 동안 상기 그래핀성장용 기판에 조사되는, 그래핀의 제조방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 단계 (2)에서 상기 레이저는 200 nm 내지 3000 nm의 파장대역을 가지는 연속파 레이저인, 그래핀의 제조방법
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 그래핀의 성장은 상기 금속막에 불순물로써 흡수된 탄소원자들이 상기 단계 (2)의 레이저 조사에 의하여 상기 금속막의 결정립계를 따라 확산되면서 상기 금속막과 상기 투명지지체 사이의 계면으로 이동하여 그래핀을 형성하는 것인, 그래핀의 제조방법
|
| 12 |
12
광섬유 코어의 말단 단면 상에 10-4 atom % 이상의 탄소용해도를 가지는 금속막을 증착시키는 단계 (10); 상기 금속막이 증착된 광섬유 코어에 레이저를 조사하여, 상기 광섬유 코어의 말단 단면과 상기 금속막 사이에 상기 광섬유 코어의 말단 단면의 일부 또는 전부를 덮는 그래핀을 성장시켜서, 광섬유-그래핀-금속막 복합체(composite)를 마련하는 단계 (20); 그리고 상기 광섬유-그래핀-금속막 복합체의 그래핀이 펄스레이저 공진기의 모드로커(mode-locker)인 포화 흡수체(saturable absorber)로써 역할을 하고 상기 금속막이 펄스 레이저 공진기의 거울(mirror)로써 역할을 하도록 상기 광섬유-그래핀-금속막 복합체를 펄스레이저 공진기 내에 위치시키는 단계 (30);을 포함하는, 펄스레이저 공진기의 제조방법
|
| 13 |
13
광섬유 코어의 말단 단면 상에 10-4 atom % 이상의 탄소용해도를 가지는 금속막을 증착시키는 단계 (10); 상기 금속막이 증착된 광섬유 코어에 레이저를 조사하여, 상기 광섬유 코어의 말단 단면과 상기 금속막 사이에 상기 광섬유 코어의 말단 단면의 일부 또는 전부를 덮는 그래핀을 성장시켜서, 광섬유-그래핀-금속막 복합체(composite)를 마련하는 단계 (20); 상기 광섬유-그래핀-금속막 복합체로부터 금속막을 제거하여 상기 광섬유 코어의 말단 단면의 일부 또는 전부를 그래핀이 덮고 있는 광섬유-그래핀 복합체를 마련하는 단계 (25); 그리고 상기 광섬유-그래핀 복합체의 그래핀이 펄스레이저 공진기의 모드로커(mode-locker)인 포화 흡수체(saturable absorber)로써 역할 하도록 상기 광섬유-그래핀 복합체를 펄스레이저 공진기 내에 위치시키는 단계 (35);를 포함하는, 펄스레이저 공진기의 제조방법
|
| 14 |
14
공진기 내에 광학적 이득을 제공해 주는 제1소자인 광섬유증폭기(fiber amplifier); 진행하는 레이저의 편광을 조절하는 제2소자인 편광조절기(polarization controller); 레이저 진행의 방향성을 제시해주는 제3소자인 고립기(isolator); 레이저의 일정 출력을 나누어 출력단을 형성해주는 제4소자인 광 커플러(optical coupler); 상기 제1소자 내지 제4소자를 연결하며 색분산(chromatic dispersion)을 조절하기 위한 광섬유(optical fiber); 상기 광섬유와 연결되며 상기 광섬유의 일 말단을 감싸는 광섬유 페룰에 의하여 고정되며 상기 광섬유의 말단 단면에는 상기 제1항의 제조방법에 의하여 제조된 그래핀을 포화흡수체로써 포함하는 복합체(composite); 상기 광섬유와 상기 복합체를 서로 연결하여 광 신호가 순차적으로 지나가도록 설계된 광 써큐레이터(circulator); 그리고 상기 광섬유와 연결된 펌프 레이저 다이오드(pump laser diode);를 포함하는 링형 또는 선형의 펄스레이저 공진기에 의하여 펄스레이저를 제조하는, 펄스레이저의 제조방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,상기 펄스레이저는 모드잠김의 경우 반복률이 0
|
| 16 |
16
제14항에 있어서,상기 펄스레이저는 Q 스위칭의 경우 반복률이 0
|
