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박막제조용진공장비의회전식기판가열장치

  • 기술번호 : KST2015123966
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 제조용 진공 장비의 기판 가열 장치에 관한 것으로, 가열기와의 간섭을 일으키지 않고 기판이 부착되는 기판 부착용 회전판을 회전시키는 것에 의하여 회전과 가열을 동시에 수행함으로써 온도의 분포가 균일하게 됨과 아울러 산소가 존재하는 분위기에서도 고온 가열이 가능하므로 양질의 균일한 대면적 박막을 제조할 수 있으며, 가열기를 관통하는 회전축에 기판 부착용 회전판을 고정나사에 의하여 탈부착 가능하게 설치하였으므로 기판을 진공챔버내에서 탈부착하지 않고 기판 부착용 회전판을 분리하여 진공 챔버의 외부에서 기판을 탈부착하는 것에 의해 기판의 탈부착을 간편, 용이하게 수행할 수 있게 되고, 진공 챔버에 고정되는 가열기에 관통 지지되는 회전축에 기판 부착용 회전판을 고정한 것으로서 기판을 수평 상태뿐만 아니라 수직 상태로도 설치하여 사용할 수 있게 되는 것이다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC C23C 14/541(2013.01) C23C 14/541(2013.01) C23C 14/541(2013.01) C23C 14/541(2013.01) C23C 14/541(2013.01) C23C 14/541(2013.01)
출원번호/일자 1019970045606 (1997.09.03)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0275783-0000 (2000.09.23)
공개번호/일자 10-1999-0024486 (1999.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20010402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.09.03)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김영환 대한민국 서울특별시 노원구
2 조운조 대한민국 서울특별시 도봉구
3 한택상 대한민국 경기도 하남시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.09.03 수리 (Accepted) 1-1-1997-0144649-28
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.09.03 수리 (Accepted) 1-1-1997-0144650-75
3 특허출원서
Patent Application		 1997.09.03 수리 (Accepted) 1-1-1997-0144648-83
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.05.26 수리 (Accepted) 4-1-1999-0075472-64
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0382814-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.02.03 수리 (Accepted) 4-1-2000-0014117-45
11 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2000-5052888-99
12 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2000.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2000-5080506-75
13 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.04.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5112238-28
14 의견서
Written Opinion		 2000.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2000-5112234-46
15 등록사정서
Decision to grant		 2000.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0204834-18
16 FD제출서
FD Submission		 2000.10.11 수리 (Accepted) 2-1-2000-5163168-94
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

수납공간을 가지며 그 중심에 상기 회전축이 관통되는 축공이 형성된 가열기 본체와, 상기 가열기 본체의 수납공간에 수납되며 상면이 개방된 다수개의 발열체 지지홈이 형성되고 중심에 축관통공이 형성된 전기절연 및 단열부재와, 상기 발열체 지지홈에 삽입 지지되는 발열체를 가지는 가열기와; 상기 회전축의 상단에 고정되어 가열기의 발열면상에서 회전하는 기판 부착용 회전판;으로 구성됨을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 가열기 본체의 수납공간은 바닥면과 주벽에 의하여 원통형으로 형성되며, 상기 축공은 상기 바닥면과 이 바닥면의 밑면에서 하방으로 연장되는 축받이부에 천공됨을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

3 3

제1항에 있어서, 상기 전기절연 및 단열부재의 발열체 지지홈은 외주벽과 다수개의 격벽에 의하여 한정되며, 상기 축관통공은 중심에 형성된 보스부에 형성된 것을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

4 4

제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 발열체 지지홈은 그 깊이가 발열체의 각 턴의 직경보다 깊게 형성되어 그 상면에 설치되는 기판 부착용 회전판과 발열체 사이에 전기절연 및 열 전달 공간(S)이 형성됨을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

5 5

제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 전기절연 및 단열부재의 외주벽은 그 높이를 상기 발열체 지지홈을 한정하는 격벽의 높이보다 높게 형성되어 그 상단 내면에 상기 회전체가 삽입되는 상태로 결합됨을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

6 6

제1항에 있어서, 상기 기판 부착용 회전판의 중심에는 나사관통공이 형성되고, 상기 회전축의 상단에는 나사체결공이 형성되어 상기 나사관통공을 통해 나사체결공에 고정나사를 체결하는 것에 의하여 회전판과 회전축이 탈착 가능하게 결합됨을 특징으로 하는 박막 제조용 진공장비의 회전식 기판 가열 장치

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패밀리정보가 없습니다
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