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각분해 광전자 분광분석기를 이용한 나노 박막의 조성 및구조 분석 방법

  • 기술번호 : KST2015126930
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법은: 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계; 상기 입력된 임의의 조성비 및 박막층의 두께에 따른 이론상 광전자 강도값을 구하는 단계; 상기 이론상 광전자 강도값에 따른 광전자 강도비를 구하는 단계; 특정 나노 박막의 광전자 강도값을 측정하는 단계; 상기 측정된 광전자 강도값에 따른 실제 광전자 강도비를 구하는 단계; 및 상기 이론상 광전자 강도비와 상기 실제 광전자 강도비를 비교하여 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 구하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 광전자 각분해 분광 분석기를 이용하여 나노 박막의 수 나노 두께의 다층 박막 소재를 대기 중에 노출시키지 않고, in-situ 및 비파괴 상태에서 조성 및 구조 분포 분석이 가능하다. 또한, 본 발명은 증착 과정 중 각 단계마다 실시간으로 구조 분석 및 화학적 조성 분석결과를 제공할 수 있다.
Int. CL G01N 21/00 (2011.01) B82Y 30/00 (2011.01) B82Y 35/00 (2011.01) G01B 11/00 (2011.01)
CPC G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01) G01N 21/00(2013.01)
출원번호/일자 1020070140263 (2007.12.28)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0927979-0000 (2009.11.16)
공개번호/일자 10-2009-0072214 (2009.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20091124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형호 대한민국 서울 강남구
2 양준규 대한민국 서울 서초구
3 최선규 대한민국 경기 광명시 광

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 김영희 대한민국 서울특별시 용산구 효창원로**길 *, 네오국제특허법률사무소 (효창동)
3 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0945086-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0059722-49
4 등록결정서
Decision to grant		 2009.09.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0393150-17
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계; 상기 입력된 임의의 조성비 및 박막층의 두께에 따른 이론상 광전자 강도값을 구하는 단계; 상기 이론상 광전자 강도값에 따른 광전자 강도비를 구하는 단계; 특정 나노 박막의 광전자 강도값을 측정하는 단계; 상기 측정된 광전자 강도값에 따른 실제 광전자 강도비를 구하는 단계; 및 상기 이론상 광전자 강도비와 상기 실제 광전자 강도비를 비교하여 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 구하는 단계 를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계에서, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께는 복수로 입력되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법
3 3
제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계에서, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께는 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께의 예상값에 따라서 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법
4 4
제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 이론상 광전자 강도값은 다음의 수학식 중 적어도 하나를 이용하여 계산되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법: ;
5 5
제 1항 또는 2항에 있어서, 상기 특정 나노 박막의 광전자 강도값은 각분해 분광 분석기를 이용하여 측정되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조성 및 구조 분석 방법
6 6
임의의 조성비 및 박막층의 두께를 갖는 나노 박막의 이론상 광전자 강도값과 특정 나노 박막의 실제 측정된 광전자 강도값을 비교하여 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 구하는 연산 장치와, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께를 갖는 나노 박막의 이론상 광전자 강도값을 저장하는 데이터베이스를 포함하고, 상기 연산 장치는 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력받고; 상기 입력된 임의의 조성비 및 박막층의 두께에 따른 이론상 광전자 강도값을 구하고; 상기 이론상 광전자 강도값에 따른 광전자 강도비를 구하고; 특정 나노 박막의 광전자 강도값을 측정하고; 상기 측정된 광전자 강도값에 따른 실제 광전자 강도비를 구하고; 상기 이론상 광전자 강도비와 상기 실제 광전자 강도비를 비교하여 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 구하도록 작동가능하고, 상기 특정 나노 박막의 광전자 강도값은 각분해 분광 분석기를 이용하여 측정되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조정 및 구조 분석 시스템
7 7
제 6항에 있어서, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께에 따른 이론상 광전자 강도값은 소정의 데이터베이스에 저장된 이론상 광전자 강도값을 추출하여 이용하는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조정 및 구조 분석 시스템
8 8
제 6항 또는 7항에 있어서, 상기 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계에서, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께는 복수로 입력되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조정 및 구조 분석 시스템
9 9
제 6항 또는 7항에 있어서, 상기 나노 박막의 임의의 조성비 및 박막층의 두께 중 적어도 하나를 입력하는 단계에서, 상기 임의의 조성비 및 박막층의 두께는 상기 특정 나노 박막의 조성비 및 박막층의 두께의 예상값에 따라서 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 박막의 조정 및 구조 분석 시스템
10 10
컴퓨터에서 구동되고, 제 1항 또는 2항에 따른 방법을 수행하기 위하여 컴퓨터에서 실행가능한 명령어를 갖는 하나 이상의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 컴퓨터 프로그램 제품
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국학술진흥재단 한양대학교산학협력단 2007년도 기초연구지원기초과학(공동연구) ALD에 의한 디스플레이소자용 ZnO-OITFT 계면 형성에 관한연구