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기판 및 상기 기판 위에 완충층이 배치되고 상기 완충층 위에 에어갭(air gap)을 포함하는 Ⅲ족 질화물로 된 제 1 층이 배치되고, 상기 제 1 층 위에 격자와 공기홀이 주기적으로 배열되는 평행한 창살형 박막 격자 구조를 포함하는 Ⅲ족 질화물로 된 제 2 층을 포함하여 외부에서 상기 격자 구조에 수직으로 입사하는 입사광 중 상기 격자를 통과하는 제 1 광과 상기 공기홀을 통과하는 제 2 광이 서로 상쇄간섭을 일으킴으로써 상기 입사광이 상기 격자 구조 표면에서 반사되는 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항에 있어서,상기 완충층은 n타입 GaN층인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 층은 InxGa1-xN층 및 InyGa1-yN층으로 된 쌍이 적어도 하나인 초격자(superlattice) 구조인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체(0 003c# x 003c# 1, 0 003c# y 003c# 1, x≠y)
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 층은 AlzGa1-zN층인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체(0 003c# z 003c# 1)
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제 1 항에 있어서,상기 입사광은 300 nm 내지 600 nm의 파장을 갖는 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 층의 두께(t)는 λ/{2(n1 - n0)}인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체(λ: 진공 중 입사광의 파장, n0: 공기의 굴절률, n1: Ⅲ족 질화물의 굴절률)
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 층의 두께는 100nm 이상 및 300nm 이하인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항에 있어서,상기 격자 구조의 주기는 200nm 이상 및 600nm이하인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항에 있어서,상기 격자 구조의 채움률은 30% 이상 및 70% 이하인 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체
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제 1 항의 Ⅲ족 질화물 박막 격자 반사체를 포함하는 발광장치
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