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표시장치의 증착장치

  • 기술번호 : KST2015137117
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시예는, 로드락 챔버; 로드락 챔버로부터 공급된 기판에 재료를 증착하는 다수의 공정 챔버; 및 로드락 챔버에서 다수의 공정 챔버 중 하나로 기판을 이송하는 이송로봇을 포함하는 트랜스퍼 챔버를 포함하며, 이송로봇은 적어도 한 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와, 기판을 이송하며 적어도 한 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 플레이트부와, 플레이트부를 구동하는 모터부를 포함하는 표시장치의 증착장치를 제공한다.
Int. CL H01L 21/677 (2006.01.01) B25J 15/10 (2006.01.01) H01L 21/205 (2006.01.01) G02F 1/13 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01)
출원번호/일자 1020100106298 (2010.10.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1696482-0000 (2017.01.09)
공개번호/일자 10-2012-0044798 (2012.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20170113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.10.15)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박정호 대한민국 경기도 파주시
2 한동철 대한민국 서울특별시 강남구
3 박영호 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2010-0702471-95
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0997733-75
10 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
11 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.05.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0056725-09
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0352314-34
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0667650-12
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.07.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0667651-68
15 등록결정서
Decision to grant		 2016.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0833627-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
로드락 챔버;상기 로드락 챔버로부터 공급된 기판에 재료를 증착하는 다수의 공정 챔버; 및상기 로드락 챔버에서 상기 다수의 공정 챔버 중 하나로 상기 기판을 이송하는 이송로봇을 포함하는 트랜스퍼 챔버를 포함하며,상기 이송로봇은,적어도 한 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와,상기 기판을 이송하며 상기 적어도 한 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 플레이트부와,상기 플레이트부를 구동하는 모터부를 포함하고,상기 몸체부는,상기 모터부에 포함된 구동자가 설치된 기저부와,상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 레일부와,상기 기저부와 상기 레일부에 의해 형성되고 상기 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함하고,상기 측벽부는 상기 모터부의 파워 오프시 상기 플레이트부와 상기 몸체부 간의 충돌을 완화하도록 내부 벽면에 설치된 스토퍼를 더 포함하는 표시장치의 증착장치
2 2
제1항에 있어서,상기 플레이트부는,상기 모터부에 포함된 이동자가 설치되는 지지부와,상기 지지부의 측면에 부착되며 상기 레일부 내에 설치된 적어도 네 개의 자기모듈과,상기 지지부의 일면에 부착되고 상기 기판을 로딩하는 포크부를 포함하는 표시장치의 증착장치
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 자기모듈은,부식성 기체 및 액체로부터 보호하는 보호제가 코팅된 표시장치의 증착장치
6 6
제1항에 있어서,상기 이송로봇은,두 쌍의 레일부를 포함하는 몸체부와,상기 기판을 이송하며 상기 두 쌍의 레일부에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동을 하도록 설치된 자기모듈을 포함하는 두 개의 플레이트부와,상기 두 개의 플레이트부를 구동하는 두 개의 모터부를 포함하는 표시장치의 증착장치
7 7
제6항에 있어서,상기 몸체부는,상기 모터부에 포함된 두 개의 구동자가 구분되어 설치된 기저부와,상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제1레일부와,상기 기저부의 일면에 한 쌍이 상호 이격하여 비대향하도록 설치된 금속성 재질의 디귿자(ㄷ) 형상을 갖는 제2레일부와,상기 기저부와 상기 제1 및 제2레일부에 의해 형성되고 상기 두 개의 플레이트부가 이동하는 공간의 일면을 막는 측벽부를 포함하는 표시장치의 증착장치
8 8
제6항에 있어서,상기 두 개의 플레이트부는,제1쌍의 레일부에 설치되어 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제1플레이트부와,제2쌍의 레일부에 설치되고 상기 제1플레이트부와 다른 높이에서 자기부상 상태로 직선왕복 운동하는 제2플레이트부를 포함하는 표시장치의 증착장치
9 9
제1항에 있어서,상기 트랜스퍼 챔버는,상기 로드락 챔버로부터 공급된 적어도 하나의 기판을 상기 다수의 공정 챔버 중 하나로 이송하도록 회전 운동하는 표시장치의 증착장치
10 10
제1항에 있어서,상기 모터부는,리니어 모터를 포함하는 표시장치의 증착장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.