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연마용 슬러리 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015140725
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마 입자, 초순수 및 분산제를 마련하는 단계, 상기 연마 입자, 초순수 및 분산제의 혼합물을 밀링하는 단계 및 상기 혼합물을 숙성하여 슬러리를 안정화시키는 단계를 포함하고, 상기 숙성 공정을 통해 상기 연마 입자의 평균 입도를 80 내지 300㎚로 제어하는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리를 제공한다. 본 발명은 연마용 슬러리의 제조에 있어서 숙성 공정을 도입함으로써, 슬러리 내 거대 입자의 발생을 방지하고 분산 안정성을 강화시킬 수 있다. 이에 따라, CMP 공정시 소자에 치명적인 결함을 유발할 수 있는 스크래치 및 잔류 입자를 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 화학적 기계적 연마, CMP, 연마용 슬러리, 연마 입자, 세리아, 스크래치
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/321 (2006.01.01) C01F 17/00 (2020.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020050131395 (2005.12.28)
출원인 주식회사 케이씨, 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2007-0087840 (2007.08.29) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이씨 대한민국 경기도 안성시
2 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용국 대한민국 경기 안성시
2 김대형 대한민국 경기 안성시
3 서명원 대한민국 경기 용인시 풍덕
4 김동현 대한민국 서울특별시 강서구
5 박재근 대한민국 경기도 성남시 분당구
6 백운규 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0770833-85
2 출원인변경신고서
Applicant change Notification
2006.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2006-0362110-14
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0644299-17
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2006.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0952124-81
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0087073-28
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0156055-14
7 의견서
Written Opinion
2007.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0156057-05
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0326997-21
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2007.08.14 보정각하 (Rejection of amendment) 7-1-2007-0033155-60
10 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2007.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0479377-88
11 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2007.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0479378-23
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.05.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5070900-17
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5176182-94
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5246687-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
연마 입자, 초순수 및 분산제를 마련하는 단계;상기 연마 입자, 초순수 및 분산제의 혼합물을 밀링하는 단계; 및상기 혼합물을 숙성하여 슬러리를 안정화시키는 단계를 포함하고,상기 숙성 공정을 통해 상기 연마 입자의 평균 입도를 80 내지 300㎚로 제어하는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 숙성하는 단계는 숙성 시간이 100일 이하인 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 숙성하는 단계는 탱크 교반기의 회전수가 300(rpm) 이하인 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 숙성하는 단계는 숙성 온도가 20 내지 50℃인 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 밀링하는 단계 이후에 거대 입자 제거를 위한 필터링 공정을 실시하는 단계를 더 포함하는 연마용 슬러리의 제조 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 연마 입자는 세리아를 포함하는 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리의 제조 방법
7 7
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 따라 제조된 것을 특징으로 하는 연마용 슬러리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.