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기판 위에 복수의 패드부와 상기 패드부 사이를 연결하는 와이어부로 구성되는 금속 패턴을 형성하는 단계; 상기 금속 패턴의 위에 전도성 폴리머 층을 형성하는 단계; 및 상기 전도성 폴리머 패턴의 아래에 위치하는 상기 금속 패턴을 습식 에칭하는 단계를 포함하며, 상기 에칭하는 단계가 상기 금속 패턴의 와이어부가 단락될 때까지 진행되는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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청구항 1에 있어서, 상기 전도성 폴리머 층을 형성하는 방법이,전도성 폴리머의 단량체를 전해질로 포함하는 전해액을 상기 금속 패턴에 접촉시키고, 상기 전도성 폴리머의 단량체를 전기중합 방법으로 상기 금속 패턴의 위에 자기 정렬시키는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 전도성 폴리머의 단량체가 피롤 모노머이고, 전기중합된 전도성 폴리머가 폴리피롤인 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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청구항 2 또는 3에 있어서, 상기 전도성 폴리머 패턴을 형성하는 전기중합 방법이,상기 금속 패턴을 애노드인 작업전극으로 하고, 상기 전해액 내에 캐소드인 상대전극과 기준전극을 연결하여 구성되는 3 전극 시스템으로 진행되는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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청구항 4에 있어서,상기 전기중합 방법에서 사용되는 전압이 1V 미만인 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속 패턴에 사용되는 금속이 니켈 또는 구리인 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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7
청구항 1에 있어서,상기 금속 패턴을 습식 에칭하는 에칭액이 질산용액 또는 염산용액인 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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8
청구항 1에 있어서, 상기 금속 패턴의 와이어부가 단락되는 시점을 판단하는 방법이,상기 에칭 과정에서 상기 와이어부에 일정한 전압을 걸고 상기 패드부 사이에 흐르는 전류량을 측정하며, 상기 금속 패턴의 와이어부가 단락되면서 상기 전류량이 감소하는 것을 확인하는 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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9
청구항 1에 있어서, 상기 금속 패턴의 위에 전도성 폴리머 층을 형성하는 단계가 액적 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴 형성방법
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10
청구항 1 내지 청구항 9 중에 하나의 방법으로 형성되어,기판 위에 복수로 형성되어 서로 이격된 금속재질의 패드부;상기 금속재질의 패드부 위에 위치하는 전도성 폴리머 재질의 패드부; 및상기 전도성 폴리머 재질의 패드부 사이를 연결하며 상기 기판에서 이격된 전도성 폴리머 재질의 와이어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전도성 폴리머 패턴이 형성된 구조
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