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흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막
- 기술번호 : KST2015144251
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본원은 흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막에 관한 것이다. |
|---|---|
| Int. CL | G03F 1/22 (2012.01) G03F 1/62 (2012.01) |
| CPC | G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020130157275 (2013.12.17) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단, 주식회사 에프에스티 |
| 등록번호/일자 | 10-1552940-0000 (2015.09.08) |
| 공개번호/일자 | 10-2015-0070727 (2015.06.25) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20150914) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2013.12.17) |
| 심사청구항수 | 7 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
| 3 | 주식회사 에프에스티 | 대한민국 | 경기도 화성 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김문자 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
| 2 | 김슬기 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
| 3 | 유지범 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 |
| 4 | 조상진 | 대한민국 | 경기도 오산시 가장 |
| 5 | 유장동 | 대한민국 | 경기도 오산시 가장 |
| 6 | 장명식 | 대한민국 | 경기도 성남시 분당구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
| 3 | 주식회사 에프에스티 | 대한민국 | 경기도 화성 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1155031-71 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2013.12.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0164826-21 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.01.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0020442-12 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0116975-08 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2014.02.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0125676-62 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2014.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0059624-70 |
| 8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0739206-53 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2014.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1268497-84 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2015.01.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0092786-57 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2015.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0092785-12 |
| 12 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.06.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0425075-72 |
| 13 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2015.07.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0652711-24 |
| 14 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2015.07.08 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2015-0659563-71 |
| 15 | 서류반려이유통지서 Notice of Reason for Return of Document |
2015.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2015-0115977-48 |
| 16 | [반려요청]서류반려요청(반환신청)서 [Request for Return] Request for Return of Document |
2015.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0706125-89 |
| 17 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative) |
2015.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0708879-21 |
| 18 | 서류반려통지서 Notice for Return of Document |
2015.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2015-0121101-77 |
| 19 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2015.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0749335-12 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.05.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5059285-97 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 흑연-함유 박막을 포함하는, 극자외선 리소그래피용 펠리클 (pellicle) 막으로서, 상기 흑연-함유 박막은 흑연 박막을 포함하는 것인,극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 2 |
2 삭제 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 막은 13 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 펠리클 막의 두께가 50 nm 이하인, 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 흑연-함유 박막이 프리-스탠딩 (free-standing) 나노박막인, 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 막이 190 nm 이하의 입사빔을 이용한 포토리소그래피에 사용될 수 있는 것인, 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서, 상기 펠리클 막이 5 mm 이상의 일측 변을 갖는 사각형 프레임에 지지되어 프리-스탠딩될 수 있는 것인, 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 펠리클 막이 5 mm 이상의 지름을 갖는 원형 프레임에 지지되어 프리-스탠딩될 수 있는 것인, 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US10001700 | US | 미국 | FAMILY |
| 2 | US10394117 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | US20160282712 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | US20180259847 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | WO2015093699 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US10001700 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | US10394117 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | US2016282712 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 4 | US2018259847 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 5 | WO2015093699 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1552940-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20131217 출원 번호 : 1020130157275 공고 연월일 : 20150914 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150625 청구범위의 항수 : 7 유별 : G03F 1/62 발명의 명칭 : 흑연-함유 박막을 포함하는 극자외선 리소그래피용 펠리클 막 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 에프에스티 경기도 화성... |
| 1 |
(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구... |
| 1 |
(권리자) 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 318,000 원 | 2015년 09월 09일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2018년 08월 31일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2019년 08월 30일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 194,000 원 | 2020년 08월 31일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.12.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1155031-71 |
| 2 | 보정요구서 | 2013.12.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0164826-21 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.01.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0020442-12 |
| 4 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.02.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0116975-08 |
| 5 | [출원서등 보정]보정서 | 2014.02.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0125676-62 |
| 6 | 선행기술조사의뢰서 | 2014.06.05 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 7 | 선행기술조사보고서 | 2014.07.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0059624-70 |
| 8 | 의견제출통지서 | 2014.10.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0739206-53 |
| 9 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2014.12.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1268497-84 |
| 10 | [명세서등 보정]보정서 | 2015.01.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2015-0092786-57 |
| 11 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2015.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0092785-12 |
| 12 | 등록결정서 | 2015.06.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0425075-72 |
| 13 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2015.07.06 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0652711-24 |
| 14 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.07.08 | 불수리 (Non-acceptance) | 1-1-2015-0659563-71 |
| 15 | 서류반려이유통지서 | 2015.07.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2015-0115977-48 |
| 16 | [반려요청]서류반려요청(반환신청)서 | 2015.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0706125-89 |
| 17 | [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2015.07.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0708879-21 |
| 18 | 서류반려통지서 | 2015.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2015-0121101-77 |
| 19 | [출원서등 보정]보정서 | 2015.08.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-0749335-12 |
| 20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.05.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5059285-97 |
| 21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345199138 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2009-0083540 |
| 연구과제명 | 나노소재기반 휴먼인터페이스 융합 연구센터 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200909~201602 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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