| [KST2014027749][한양대학교 에리카캠퍼스] |
전도성 폴리머 패터닝 방법 |
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| [KST2014038213][한양대학교 에리카캠퍼스] |
마스크 밀착장치 및 이를 구비한 노광 장비 |
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| [KST2014048395][한양대학교 에리카캠퍼스] |
대면적 스테이지의 빔 |
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| [KST2015199858][한양대학교 에리카캠퍼스] |
펠리클 프레임 세정 용액 및 이를 이용한 펠리클 프레임 세정 방법 |
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| [KST2015140597][한양대학교 에리카캠퍼스] |
원자력 힘 현미경 리소그래피를 이용하여 높은 종횡비를갖는 나노 구조물을 고속으로 형성시키는 방법 |
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| [KST2015141332][한양대학교 에리카캠퍼스] |
원자 힘 현미경 리소그래피 기술을 이용한 박막의 패터닝 방법 |
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| [KST2016018862][한양대학교 에리카캠퍼스] |
열 방출층을 갖는 펠리클 및 그 제조 방법(Pellicle comprising a heat emission layer, and method of fabricating the same) |
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| [KST2020008808][한양대학교 에리카캠퍼스] |
음각 방식의 패턴 제조 방법 및 그 제조 방법으로 제조된 금속 나노 코팅층 |
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| [KST2014009613][한양대학교 에리카캠퍼스] |
노광장치용 미러 지지체 및 이 지지체가 포함된 노광장치 |
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| [KST2014041931][한양대학교 에리카캠퍼스] |
전기화학반응을 이용한 탄소 패턴 형성방법 |
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| [KST2015140645][한양대학교 에리카캠퍼스] |
저에너지 원자력 힘 현미경 시스템을 이용한 유기물 및금속 박막의 나노 미세 패턴 제조 방법 |
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| [KST2016000506][한양대학교 에리카캠퍼스] |
잉크젯 프린팅을 이용한 전자소자 제조방법 |
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| [KST2021002727][한양대학교 에리카캠퍼스] |
탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법 |
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| [KST2015141089][한양대학교 에리카캠퍼스] |
펠리클용 프레임 및 마스크용 펠리클 어셈블리 |
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| [KST2014037650][한양대학교 에리카캠퍼스] |
2개의 포토 마스크를 이용한 박막 트랜지스터의 제조 방법 |
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| [KST2014047729][한양대학교 에리카캠퍼스] |
반도체 패턴 구조물의 정보 측정 및 분석 방법 |
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| [KST2015141037][한양대학교 에리카캠퍼스] |
산소 플라즈마를 이용한 탄소 패턴 형성방법 |
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| [KST2015199717][한양대학교 에리카캠퍼스] |
고해상도 마이크로 패턴의 제조방법 |
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| [KST2019000745][한양대학교 에리카캠퍼스] |
기판 처짐 변형 조절 장치 |
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| [KST2019004656][한양대학교 에리카캠퍼스] |
비구형의 야누스형 마이크로입자, 이의 제조방법 및 이를 패터닝하는 방법 |
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| [KST2014010085][한양대학교 에리카캠퍼스] |
플라스틱 기판 상의미세 패턴 형성 방법 |
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| [KST2015199988][한양대학교 에리카캠퍼스] |
디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법 및 이에 적용하기 위한 디퓨저 |
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| [KST2014048354][한양대학교 에리카캠퍼스] |
전기화학적 식각을 이용한 마이크로사이즈 금속 식각방법 |
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| [KST2015142060][한양대학교 에리카캠퍼스] |
원자 힘 현미경 리소그래피 기술을 이용한 박막 패턴 제작방법 |
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| [KST2023006080][한양대학교 에리카캠퍼스] |
펠리클 세정 장치 및 이를 이용한 펠리클 세정 방법 |
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