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금속 전구체 화합물을 용매에 용해시켜 금속 전구체 용액을 얻는 단계;상기 금속 전구체 용액을 초음파 처리하여 금속산화물 전구체가 용매에 분산되어 있는 액적을 얻는 단계;상기 액적을 캐리어 가스에 의해 그래핀이 들어 있는 챔버내로 공급하여 상기 그래핀상에 흡착시키는 단계를 포함하고,상기 용매는 물 또는 저비점 용매이고,상기 저비점 용매는 아세톤, 에탄올 및 메탄올 중에서 선택된 1종 이상인, 그래핀상의 금속산화물 박막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 전구체 화합물은 금속의 아세트산염, 염화물, 질산염 및 아세트산무수물로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상인 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 전구체 화합물은 아연, 구리, 알루미늄, 주석 및 마그네슘으로 이루어지는 군으로부터 선택된 1종 이상의 금속의 전구체 화합물인 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 그래핀은 기판 위에 형성되어 있는 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 기판은 투명 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN) 또는 SiO2 기판인 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 흡착 단계는 350℃ 이하의 온도 및 공기 분위기에서 행해지는 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 캐리어 가스는 질소 또는 아르곤이고, 유속이 100 내지 5000 sccm인 제조방법
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기판;상기 기판 위에 형성된 그래핀; 및 상기 그래핀상에 형성된 금속산화물 박막을 포함하는 소자로서,상기 금속산화물 박막은 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 제조된 금속산화물 박막인 소자
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제10항에 있어서,상기 그래핀은 1 내지 100개의 층으로 이루어진 소자
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제10항에 있어서,상기 금속산화물 박막은 10nm 내지 1㎛의 두께를 갖는 소자
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13
제10항에 있어서,상기 소자는 투명 에너지 발전 소자 또는 투명 광전 소자인 소자
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제10항에 있어서,상기 소자는 인버티드 유기 태양전지인 소자
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