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(정정) 제1 기판과 제2 기판을 접합하는 단계, 상기 제1 기판을 패터닝하여 구동기 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 기판을 등방성 식각하여 상기 구동기 패턴의 일부를 상기 제2 기판으로부터 분리하는 단계 를 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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제1항에서, 상기 제1 기판을 얇게 하는 단계를 더 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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제2항에서, 상기 제1 및 제2 기판은 각각 실리콘 및 유리로 이루어진 미세 구동기의 제조 방법
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제3항에서, 상기 접합 단계에서의 접합은 양극 접합을 이용하는 미세 구동기의 제조 방법
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제3항에서, 상기 식각 단계에서의 식각은 상기 구동기 패턴을 식각 마스크로 하여 이루어지는 미세 구동기의 제조 방법
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제3항에서, 상기 구동기 패턴을 덮는 식각 저지층을 형성하는 단계를 더 포함하며, 상기 식각 단계에서의 식각은 상기 식각 저지층을 식각 마스크로 하여 이루어지는 미세 구동기의 제조 방법
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제6항에서, 상기 제2 기판을 패터닝하여 미세 렌즈를 형성하는 단계를 더 포함하며 상기 식각 저지층은 상기 미세 렌즈를 덮는 미세 구동기의 제조 방법
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제3항에서, 상기 제2 기판 위에 감광막 또는 수지로 미세 렌즈를 형성하는 단계를 더 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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(정정) 기판 위에 구동기 패턴의 역상으로 도금틀을 형성하는 단계, 상기 도금틀이 형성된 상기 기판 위에 도금층을 형성하는 단계, 상기 도금틀을 제거하는 단계, 상기 도금층을 마스크로 하여 상기 기판을 등방성 식각하여 상기 도금층의 일부를 상기 기판으로부터 분리하는 단계 를 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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제9항에서, 상기 기판은 실리콘 또는 유리로 이루어진 미세 구동기의 제조 방법
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제10항에서, 상기 등방성 식각은 습식 또는 건식 식각인 미세 구동기의 제조 방법
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(정정) 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에서, 상기 구동기 패턴은 다수의 패드 부분과 상기 패드보다 폭이 좁은 나머지 부분을 포함하며, 상기 등방성 식각 단계 후에 상기 패드 부분은 상기 기판에 고정되어 있고 상기 나머지 부분은 상기 기판과 거리를 두고 있는 미세 구동기의 제조 방법
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(정정) 제12항에서, 상기 패드 부분은 제1 패드와 제2 패드를 포함하며, 상기 나머지 부분은, 상기 제1 패드와 연결되어 있는 다수의 고정 전극, 상기 제2 패드와 연결되어 있는 다수의 굴곡 부재, 상기 굴곡 부재에 연결되어 있으며 상기 고정 전극과의 전기적인 작용을 통하여 이동 가능한 다수의 이동 전극, 상기 굴곡 부재와 연결되어 상기 이동 전극의 이동에 따라 이동하며 다른 요소가 장착될 수 있는 탑재대 를 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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제1면 및 제2 면을 가지고 있는 제1 기판의 제1면을 패터닝하여 구동기 패턴을 형성하는 단계, 상기 제1 기판의 제1면 위에 접합면 및 노출면을 가지는 제2 기판의 접합면을 양극 접합하는 단계, 상기 제2 기판의 접합면이 보일 때까지 상기 제1 기판의 제2면을 연마하는 단계, 상기 제1 기판의 제2면, 상기 제2 기판의 접합면 및 노출면에 식각 저지층을 형성하는 단계, 상기 식각 저지층을 마스크로 삼아 상기 제2 기판을 식각하는 단계 를 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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제14항에서, 상기 제1 및 제2 기판은 각각 실리콘 및 유리로 이루어진 미세 구동기의 제조 방법
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(정정) 제1항 내지 제8항, 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에서, 상기 구동기 패턴은 상기 제2 기판에 고정된 다수의 패드 부분과 상기 제2 기판과 거리를 두고 있는 나머지 부분을 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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(정정) 제16항에서, 상기 패드 부분은 제1 패드와 제2 패드를 포함하며, 상기 나머지 부분은, 상기 제1 패드와 연결되어 있는 다수의 고정 전극, 상기 제2 패드와 연결되어 있는 다수의 굴곡 부재, 상기 굴곡 부재에 연결되어 있으며 상기 고정 전극과의 전기적인 작용을 통하여 이동 가능한 다수의 이동 전극, 상기 굴곡 부재와 연결되어 상기 이동 전극의 이동에 따라 이동하며 다른 요소가 장착될 수 있는 탑재대 를 포함하는 미세 구동기의 제조 방법
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기판, 상기 기판 위에 고정되어 있는 다수의 고정 전극, 상기 기판 위에 형성되어 있으며 상기 고정 전극과의 전기적인 작용을 통하여 이동하는 다수의 이동 전극, 상기 이동 전극과 연결되어 상기 이동 전극의 이동에 따라 2차원 상에서 이동하며 다른 요소가 장착될 수 있는 탑재대, 상기 이동 전극에 연결되어 있는 다수의 탄성 부재 를 포함하며, 상기 고정 및 이동 전극, 상기 탑재대 및 상기 탄성 부재 하부의 상기 기판의 일부는 식각되어 있는 미세 구동기
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제18항에서, 상기 이동 전극 및 고정 전극은 각각 다수의 전극살을 가지는 제1 및 제2 빗 모양 전극을 포함하며 상기 제1 및 제2 빗 모양 전극의 전극살은 서로 엇갈리게 배치되어 있는 미세 구동기
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제19항에서, 상기 각 탄성 부재는 상기 기판에 고정되어 있는 제1 패드와 상기 제1 패드 및 상기 이동 전극과 연결되어 있으며 꺾인 구조를 가지는 굴곡 부재를 포함하는 미세 구동기
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제20항에서, 상기 고정 전극은 상기 기판에 고정되어 있으며 상기 제2 빗 모양 전극에 연결되어 있는 제2 패드를 더 포함하는 미세 구동기
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제21항에서, 상기 제1 및 제2 빗 모양 전극, 상기 굴곡 부재 및 상기 탑재대는 상기 기판과 간격을 두고 있는 미세 구동기
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제18항 내지 제22항 중 어느 한 항에서, 상기 기판은 유리 또는 실리콘으로 이루어진 미세 구동기
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제23항에서, 상기 고정 전극 및 이동 전극, 상기 탑재대 및 상기 탄성 부재는 금속으로 이루어진 미세 구동기
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제18항 내지 제22항 중 어느 한 항에서, 상기 기판은 유리로 이루어진 미세 구동기
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제25항에서, 상기 고정 전극 및 이동 전극, 상기 탑재대 및 상기 탄성 부재는 실리콘으로 이루어진 미세 구동기
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제25항에서, 상기 탑재대 하부에 상기 기판과 동일한 층으로 고정되어 있는 미세 렌즈를 더 포함하는 미세 구동기
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제25항에서, 상기 미세 렌즈는 상기 기판 하부에 감광막 또는 수지로 형성되어 있는 구면 렌즈인 미세 구동기
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