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펜을 이용하여 타겟 기판의 지정된 위치에 잉크 소재를 전달하거나 지정된 위치에서의 자기조립을 유도하는 방법으로서,상기 펜은 말단의 폭이 수십 nm 이하인 폴리머 펜을 포함하고,상기 잉크는, 고분자 체인으로 이루어진 오리가미 구조 및 DNA로 이루어진 오리가미 구조 중 하나 이상으로 이루어진 원자 위치 지정 코어(AAC); 및 기판 상에서 물리적, 화학적, 광학적 또는 생물학적 기능 중 하나 이상의 특징을 가지거나 자가조립(self-assemble)되는 특징을 가지는 분자-나노 조립 블록(MAB);으로 이루어진 군에서 하나 이상의 물질을 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은, 하나 이상의 말단을 가지는 어레이 형태인 것인, 단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜의 말단은, 폴리머 소재의 말단을 화학적 점착, 열적 점착 중 하나 이상을 이용하여 네킹 성형한 것이거나, 폴리머 소재의 말단에 금속 성분의 나노입자 혹은 막대를 붙이거나, 폴리머 소재의 말단을 금속보다 경도가 높은 결정질 무기물로 코팅한 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은, 몰드에서 경화 가능한 고분자 소재를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은, 이미징 기능을 가지는 제1 팁과 패터닝 기능을 가지는 제2 팁으로 구성된 듀얼 팁 구조를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제5항에 있어서,상기 제1 팁은, 상기 제2 팁보다 경도가 더 높은 소재를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 고분자 체인으로 이루어진 오리가미 구조는,결정 형태로 자기 조립가능하거나, 노출된 작용기를 통해 다른 개체와 추가적인 자기 조립 가능한 물질 또는 둘 다를 포함하며,반복 지수 성장법을 이용하여 성장한 일정한 반복 단위를 가지는 고분자를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 DNA로 이루어진 오리가미 구조는, DNA에 표면 코팅 및 광 가교 결합 중 하나 이상이 수행된 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 DNA로 이루어진 오리가미 구조는, 다중 블록 조립으로 분자 팩보드를 형성한 것이고,상기 분자 팩보드는, (i) 상기 분자 팩보드의 외부 노출이 가능한 위치에 작용기, 분자 및 원자로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 위치시킨 것;(ii) 상기 분자 팩보드의 특정 위치에 상기 분자 팩보드를 고정시키기 위한 앵커가 형성된 것; (iii) 또는 둘 다를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 DNA로 이루어진 오리가미 구조는, 형광 DNA 페인트가 적용된 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 분자-나노 조립 블록(MAB)은, 핵산, 펩타이드, 약물분자, 나노 결정, 단백질 복합체 및 항체로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 원자 위치 지정 코어는, 고분자 체인이 접혀서 형성된 결정 구조를 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 잉크는,분산제, 계면활성제, 이온 염, 점도 조절제 및 표면 장력 조절제로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 첨가제로 더 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 잉크는,금속 이온을 포함하는 전구체를 더 포함하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은 상기 잉크 소재를 상기 타겟 기판의 지정된 위치 인근까지 전달하는 것이고, 상기 잉크 소재는 확산, 자유 브라운 운동 및 전자기적 인력에 의한 운동 중 하나 이상에 의해 상기 지정된 위치로 이동된 후 자가조립 되는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은 상기 잉크를 침지하기 전에 표면을 기상 증착법 또는 플라즈마법을 이용하여 처리하는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 잉크는 상기 펜에 스핀 코팅, 딥 코팅 및 드랍 캐스팅 방식 중 하나에 의해 전달되는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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제1항에 있어서,상기 펜은 상기 잉크가 전달된 후 진공 조건, 가열 조건 및 상온 조건 중 하나 이상에서 건조 처리되는 것인,단분자 스케일 및 단일 나노구조의 자기조립을 제어하여 위치를 지정하거나 기능을 부여하는 리소그래피 방법
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