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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
상기 저주파 변형부는,
흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
상기 피스톤 각각의 하단에 배치되고 상기 고주파 변형부와 연결된 탄성 지지체를 포함하는 흡착 유닛
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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
상기 저주파 변형부는,
흡착 유닛의 길이 방향으로 이동이 가능하게 설치된 복수의 피스톤; 및
상기 피스톤 각각의 하단에 배치된 탄성 지지체를 포함하고,
상기 고주파 변형부는,
상기 각각의 탄성 지지체와 본딩되어 상기 피스톤과 일체로 움직이는 탄성 지지체의 움직임에 따라 국부적인 변형이 일어나는 탄성 변형체; 및
상기 탄성 변형체의 하단 외측에 설치된 스커트를 포함하는 흡착 유닛
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제4항에 있어서,
상기 탄성 지지체의 탄성 계수가 탄성 변형체의 탄성 계수에 비해 더 큰 흡착 유닛
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제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 피스톤이 상하 방향으로 독립적으로 이동 가능한 유체 챔버가 내부에 형성되고, 상기 유체 챔버에 일부분 이상 유체가 채워진 피스톤 하우징; 및
상기 유체 챔버 내에서 각각의 피스톤이 독립적으로 상하 방향으로 이동되면 상기 유체의 유동을 차단하여 피스톤들의 상하방향 운동을 구속하는 압력 유지 수단을 구비하는 흡착 유닛
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제6항에 있어서,
피스톤의 위치에 따라 상하 방향의 체적이 달라지는 상기 피스톤 하우징과 상기 탄성 지지체 사이의 공간을 외기와 차단하도록, 상기 피스톤 하우징의 하측과 상기 탄성 지지체 또는 이와 연결되는 고주파 변형부의 상측에 걸쳐 둘레를 감싸는 주름 변형체를 더 포함하는 흡착 유닛
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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고, ,
상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하는 흡착 유닛
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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고, ,
상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
상기 고주파 변형부는,
내부에 기체가 주입되어 있어 흡착 표면과 접할 때 흡착 표면의 요철에 따라 변형이 가능하고, 상기 저주파 변형부와 연결된 탄성 변형 튜브를 포함하는 흡착 유닛
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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
상기 저주파 변형부는,
방사상으로 일측 단부가 서로 이격되도록 배치되고, 타측 단부는 방사상의 중앙부에서 서로 연결되어 일측 단부가 중앙부에 대해 상하 방향으로 변형이 가능한 복수의 저주파 변형 리브; 및
상기 저주파 변형 리브들에 의해 변형되고 상기 저주파 변형 리브들 사이의 공간을 외기로부터 차단하며, 상기 저주파 변형 리브에 비해 상대적으로 두께가 얇은 저주파 변형막을 포함하고,
상기 고주파 변형부는,
상기 저주파 변형부와 연결되어 상기 저주파 변형 리브와 저주파 변형막의 변형에 따라 변형되는 탄성 변형체를 포함하는 흡착 유닛
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제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방사상의 중앙부를 통해 상기 고주파 변형부와 상기 저주파 변형부에 의해 형성되는 중공부에 진공 압력을 제공하는 진공 헤드를 더 포함하는 흡착 유닛
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흡착 표면에 직접 접하고 흡착 표면과 접하는 부분을 통해 외기가 통과하는 것을 차단하며 내부에 중공부가 형성된 고주파 변형부; 및
상기 고주파 변형부를 상기 흡착 표면의 굴곡을 따라 변형 가능하게 하고, 변형 후 변형된 상태를 유지할 수 있도록 하는 저주파 변형부를 포함하고,
상기 고주파 변형부의 말단에 설치되어 흡착 표면과 직접 접하고, 고주파 변형부의 외측으로 돌출되어 배치되며,
상기 스커트는 진공 흡입력에 의해 흡착 표면과 고주파 변형부의 말단부 사이로 유입될 수 있도록 얇은 필름 형태로 만들어진 흡착 유닛
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