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기판의 상면에 음극 투명 전극층, 전자 흡수층, 활성층, 정공 흡수층 및 양극 전극층이 순차적으로 적층 형성되는 인버티드 유기 태양전지를 제조하는 제조 방법에 있어서,(a) 상기 기판의 상면에 상기 음극 투명 전극층과 전자 흡수층을 스퍼터링 공정을 통해 일체로 형성하는 단계; 및(b) 상기 (a)단계를 통해 일체로 형성된 상기 음극 투명 전극층과 전자 흡수층 상부에 상기 활성층, 정공 흡수층 및 양극 전극층을 각각 용액 공정을 통해 순차적으로 적층 형성하는 단계를 포함하고, 상기 (a)단계에서 상기 전자 흡수층은 적어도 2개의 금속 물질이 도핑된 산화물로 형성되도록 상기 스퍼터링 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 음극 투명 전극층과 전자 흡수층은 하나의 진공 스퍼터 챔버 내부에서 순차적으로 스퍼터링되는 방식으로 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 2 항에 있어서,상기 진공 스퍼터 챔버 내부에는 상기 음극 투명 전극층이 증착 형성되도록 음극 투명 전극층 타겟이 배치되고, 상기 전자 흡수층의 제 1 금속 물질 및 제 2 금속 물질이 각각 증착 형성되도록 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 기판은 유연성을 갖는 유연 기판으로 적용되고, 상기 진공 스퍼터 챔버 내부에는 상기 기판이 권취되어 회전 이동하도록 회전 드럼이 배치되며, 상기 기판에 상기 음극 투명 전극층 및 전자 흡수층이 순차적으로 증착 형성되도록 상기 음극 투명 전극층 타겟, 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟이 상기 기판의 회전 이동 방향을 따라 순차적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 전자 흡수층은 상기 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟에 동시에 전력을 인가하여 제 1 금속 물질 및 제 2 금속 물질이 동시에 증착 형성되는 코스퍼터링 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟에 각각 인가되는 전력의 크기를 조절하여 제 1 금속 물질 및 제 2 금속 물질의 조성 비율을 조절하는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 전자 흡수층은 제 1 금속 물질로 아연(Zn)이 적용되고, 제 2 금속 물질로 티타늄(Ti)이 적용되어 아연-티타늄 산화물(Zn-Ti-O)로 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 진공 스퍼터 챔버 내부에는 상기 음극 투명 전극층이 증착 형성되도록 음극 투명 전극층 타겟이 배치되고, 상기 전자 흡수층의 제 1 금속 물질 및 제 2 금속 물질이 각각 증착 형성되도록 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟이 각각 배치되며, 상기 제 1 금속 타겟은 산화아연(ZnO)으로 적용되고, 상기 제 2 금속 타겟은 이산화티타늄(TiO2)으로 적용되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지 제조 방법
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기판의 상면에 음극 투명 전극층, 전자 흡수층, 활성층, 정공 흡수층 및 양극 전극층이 순차적으로 적층 형성되는 인버티드 유기 태양전지에 있어서,상기 전자 흡수층은 상기 음극 투명 전극층과 함께 스퍼터링 공정을 통해 일체로 형성되며, 적어도 2개의 금속 물질이 도핑된 산화물로 형성되는데,상기 전자 흡수층은 제 1 금속 물질로 아연(Zn)이 적용되고, 제 2 금속 물질로 티타늄(Ti)이 적용되어 아연-티타늄 산화물(Zn-Ti-O)로 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지
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제 9 항에 있어서,상기 음극 투명 전극층과 전자 흡수층은 하나의 진공 스퍼터 챔버 내부에서 순차적으로 스퍼터링되는 방식으로 증착 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지
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제 10 항에 있어서,상기 진공 스퍼터 챔버 내부에는 상기 음극 투명 전극층이 증착 형성되도록 음극 투명 전극층 타겟이 배치되고, 상기 전자 흡수층의 상기 제 1 금속 물질 및 상기 제 2 금속 물질이 각각 증착 형성되도록 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟이 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지
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제 11 항에 있어서,상기 전자 흡수층은 상기 제 1 금속 타겟 및 제 2 금속 타겟에 동시에 전력을 인가하여 제 1 금속 물질 및 제 2 금속 물질이 동시에 증착 형성되는 코스퍼터링 방식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지
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제 11 항에 있어서,상기 진공 스퍼터 챔버 내부에 배치되는 상기 제 1 금속 타겟은 산화아연(ZnO)으로 적용되고, 상기 제 2 금속 타겟은 이산화티타늄(TiO2)으로 적용되는 것을 특징으로 하는 인버티드 유기 태양전지
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