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나노 입자를 함유하는 나노 패턴의 제조방법 및 전자 소자

  • 기술번호 : KST2015174607
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법이 개시된다. 나노 입자를 함유하는 나노 패턴은 기판 상부의 일부를 노출시키는 홈을 갖는 희생 패턴층을 형성하는 단계, 희생 패턴층이 형성된 기판 상에 나노 입자가 함유된 블록공중합체 마이셀 용액을 도포하는 단계, 및 희생 패턴층과 희생 패턴층 상의 블록공중합체 마이셀을 제거하는 단계를 포함한다. 따라서, 블록공중합체 마이셀을 이용하여 제조된 다양한 물질의 나노 입자를 나노스케일의 패턴으로 정렬함으로써 소자의 직접도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC B82B 3/0095(2013.01) B82B 3/0095(2013.01)
출원번호/일자 1020090029996 (2009.04.07)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1572069-0000 (2015.11.20)
공개번호/일자 10-2010-0111525 (2010.10.15) 문서열기
공고번호/일자 (20151201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.02)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재석 대한민국 광주광역시 북구
2 정건영 대한민국 광주광역시 북구
3 이정필 대한민국 광주광역시 북구
4 김은욱 대한민국 광주광역시 북구
5 강남구 대한민국 광주광역시 북구
6 고행덕 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0209293-64
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2014.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0317215-31
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0004917-10
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0319176-76
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-0679445-50
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.07.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0679446-06
9 등록결정서
Decision to grant		 2015.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0804401-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 상기 기판 상부의 일부를 노출시키는 홈을 갖는 희생 패턴층들을 형성하되, 상기 희생 패턴층들 각각은 패턴 전사층과 경화성 물질층의 이중층인 단계;상기 희생 패턴층들이 형성된 기판 상에 나노 입자가 함유된 블록공중합체 마이셀 용액을 도포하여, 상기 희생 패턴층들 상부와 상기 희생 패턴층들 사이에 상기 블록공중합체 마이셀들을 형성하는 단계; 및상기 패턴 전사층을 용해시킬 수 있는 용매를 사용하여 상기 패턴 전사층을 제거함과 동시에 상기 경화성 물질층과 상기 희생 패턴층들 상의 블록공중합체 마이셀을 제거하여 상기 희생 패턴층들 사이의 블록공중합체 마이셀들을 상기 기판 상에 잔존시키는 단계를 포함하는 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 희생 패턴층은 상기 기판 상에 상기 패턴 전사층과 상기 경화성 물질층을 차례로 형성하는 단계;상기 경화성 물질층을 나노임프린트 리소그래피법 이용하여 패터닝하는 단계; 및상기 패터닝된 경화성 물질층을 마스크로 이용하여 상기 패턴 전사층을 식각하는 단계를 포함하는 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 나노 입자는 나노 크기의 금속 또는 반도체 중 적어도 어느 하나인 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 블록공중합체는 비극성 블록과 극성 블록이 공유결합된 구조를 갖고, 상기 비극성 블록과 극성 블록은 각각 폴리스티렌과 폴리비닐피리딘인 것인 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 블록공중합체 마이셀 용액의 용매는 비극성 용매인 것인 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 나노 입자가 함유된 블록공중합체 마이셀 용액은,블록공중합체 마이셀 용액을 준비하는 단계;상기 블록공중합체 마이셀 용액에 나노 입자 전구체를 첨가하는 단계; 및상기 나노 입자 전구체가 첨가된 블록공중합체 마이셀 용액에 환원제를 도입하는 단계를 통해 제조하는 것인 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 희생 패턴층과 상기 희생 패턴층 상의 블록공중합체 마이셀을 제거하는 단계를 수행한 후에,상기 기판 상 위치하는 블록공중합체 마이셀의 고분자를 제거하는 단계를 더 포함하는 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
10 10
제9항에 있어서,상기 블록공중합체 마이셀의 고분자를 제거하는 단계는 산소 플라즈마 공정 또는 열처리 공정을 통하여 수행하는 것인 나노 입자를 함유하는 나노 패턴 제조방법
11 11
제1항 내지 제6항, 제9항, 및 제10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 나노 입자를 함유하는 나노 패턴을 구비하는 전자소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.