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내플라즈마성 전자빔증착 세라믹 피막 부재

  • 기술번호 : KST2015189335
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 고밀도 플라즈마 환경에서 탑 코트의 박리 현상을 방지하여 내구성을 향상시킬 수 있는 전자빔증착 세라믹 피막 부재에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 전자빔증착 세라믹 피막 부재는 세라믹 기재 표면에 세라믹 소재의 전자빔 증착막(electron-beam deposition film)이 세라믹 탑 코트(ceramics top coat)로서 피복되어 있는 것을 특징으로 한다. 이때, 세라믹 탑 코트 하부에는 세라믹 탑 코트와 세라믹 기재와의 열팽창 계수 차이를 완화하기 위하여, 교대형 또는 농도 구배형으로 형성된 중간층이 형성되어 있다.
Int. CL C23C 28/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C23C 4/10 (2006.01)
CPC C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01) C23C 14/30(2013.01)
출원번호/일자 1020090050123 (2009.06.05)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1123719-0000 (2012.02.28)
공개번호/일자 10-2010-0131306 (2010.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20120315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.06.05)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오윤석 대한민국 서울특별시 강동구
2 김대민 대한민국 경기도 남양주시 호평로 **,
3 이성민 대한민국 경기도 광주시
4 김성원 대한민국 경기도 광주시
5 김형태 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.06.05 수리 (Accepted) 1-1-2009-0343027-46
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0437830-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077634-00
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0261351-28
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0552998-48
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0632618-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0632617-23
9 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0064785-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세라믹 기재 상에 형성되는 중간층(interlayer); 및상기 중간층 상에 형성되는 세라믹 탑 코트(ceramics top coat);를 포함하고,상기 세라믹 탑 코트는 세라믹 소재의 전자빔 증착막(electron-beam deposition film)으로 형성되고,상기 중간층은 상기 세라믹 기재 상에 형성되며 상기 세라믹 탑 코트와 동일한 제1물질로 이루어진 제1물질층과, 상기 제1물질층의 상부에 형성되며 상기 세라믹 기재와 동일한 제2물질로 이루어진 제2물질층을 포함하는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 증착 세라믹 피막 부재
2 2
제1항에 있어서, 상기 세라믹 탑 코트는 이트륨 산화물(Y2O3), 알루미늄 산화물(Al2O3), 지르코늄 산화물(ZrO2) 및 티타늄 산화물(TiO2) 중에서 선택되거나, 이트륨(Y), 알루미늄(Al), 지르코늄(Zr) 및 티타늄(Ti) 중 적어도 하나를 포함하는 합금의 산화물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전자빔증착 세라믹 피막 부재
3 3
삭제
4 4
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5 5
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6 6
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7 7
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8 8
제1항에 있어서,상기 세라믹 탑 코트는 1~100㎛의 두께로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전자빔증착 세라믹 피막 부재
9 9
제1항에 있어서, 상기 세라믹 기재는 쿼츠 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자빔증착 세라믹 피막 부재
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.