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다이아몬드 열방산체 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015121643
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다이아몬드 주상조직의 성장방향을 방사형으로 유도함으로써 박막 두께를 최소화한 상태에서 수평방향의 열전도도를 극대화하여 열방산체로서의 효율을 향상시킬 수 있는 다이아몬드 열방산체 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 열방산체는 다이아몬드 결정 조직의 단면이 방사형 주상조직을 가지며, 방사형 주상조직이 이웃하여 배치되어 서로 연결된 것을 특징으로 하며, 상기 각각의 방사형 주상조직은, 기판 상에 국부적으로 구비된 시드점을 중심으로 화학기상증착 공정을 통해 성장되고, 상기 기판 상에 국부적으로 구비된 시드점은, 상기 기판 상에 이격되어 배치된 다이아몬드 입자이거나 국부적으로 텍스쳐링된 기판 부위이다.
Int. CL H01L 23/373 (2006.01)
CPC H01L 23/3732(2013.01) H01L 23/3732(2013.01) H01L 23/3732(2013.01) H01L 23/3732(2013.01)
출원번호/일자 1020120012767 (2012.02.08)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-1299136-0000 (2013.08.16)
공개번호/일자 10-2013-0091468 (2013.08.19) 문서열기
공고번호/일자 (20130822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백영준 대한민국 서울특별시 노원구
2 박종극 대한민국 서울 서초구
3 이욱성 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영철 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)
2 김 순 영 대한민국 서울특별시 종로구 종로*길 **, **층 케이씨엘특허법률사무소 (수송동, 석탄회관빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0102304-41
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0037584-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0387102-67
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0549635-99
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0549639-71
7 등록결정서
Decision to grant
2013.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0557457-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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기판 상에 국부적으로 시드점을 형성하는 단계; 및 화학기상증착 공정을 이용하여 상기 시드점을 중심으로 방사형 주상조직의 다이아몬드를 성장시키는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 방사형 주상조직은 주상입자가 상기 시드점을 중심으로 방사형태로 배열되며, 상기 기판 상에 국부적으로 시드점을 형성하는 단계는, 일정 간격 이격되어 형성된 구멍을 갖는 마스크를 구비시키는 과정과, 상기 마스크가 구비된 기판을 다이아몬드 분말과 혼합한 후 초음파 처리하여 마스크에 의해 노출된 기판 부위를 스크래치하는 과정을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 열방산체 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 화학기상증착 공정은 수소(H2)와 메탄(CH4)을 전구체로 하며, 상기 수소(H2)와 메탄(CH4)의 혼합가스에서 메탄의 조성은 1∼2vol%인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 열방산체 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 화학기상증착 공정에서 상기 기판의 온도는 700∼950℃인 것을 특징으로 하는 다이아몬드 열방산체 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 화학기상증착 공정을 이용하여 상기 시드점을 중심으로 방사형 주상조직의 다이아몬드를 성장시키는 단계에서, 상기 방사형 주상조직을 성장시켜 방사형 주상조직들을 서로 연결시키는 것을 특징으로 하는 다이아몬드 열방산체 제조방법
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