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광의 조사에 따라 정전 용량이 바뀌는 감지 축전기,상기 감지 축전기와 연결되어 있는 제어 단자를 포함하고 상기 제어 단자에 인가되는 전압에 응답하여 감지 신호를 출력하는 감지 스위칭 소자,상기 감지 스위칭 소자의 출력 단자와 연결되어 있으며 상기 감지 신호를 전달하는 감지 신호선,상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자와 연결되어 있는 출력 단자를 포함하는 리셋 스위칭 소자, 그리고상기 리셋 스위칭 소자의 입력 단자와 연결되어 있으며 리셋 전압을 전달하는 리셋 신호선을 포함하고,상기 감지 축전기는 상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자와 연결되어 있는 제1단자, 그리고 제1 전압에 연결되어 있는 제2단자를 포함하고,상기 제1 전압은 상기 광의 조사 여부에 따라 상기 감지 축전기의 정전 용량의 변화가 큰 전압 범위에 속하도록 정해지고,상기 감지 축전기의 유전체는 결정을 포함하고,상기 전압 범위는 상기 결정의 밀도에 따라 변경되는 광 센서
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제1항에서,상기 결정의 크기는 수 nm 내지 수십 nm인 광 센서
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제3항에서,상기 결정은 규소 결정을 포함하고,상기 유전체는 질화 규소 및 산화 규소 중 적어도 하나를 더 포함하는광 센서
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제4항에서,상기 감지 스위칭 소자의 입력 단자는 제2 전압에 연결되어 있는 광 센서
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제6항에서,상기 리셋 스위칭 소자의 제어 단자는 주사 신호를 전달하는 주사 신호선에 연결되어 있는 광 센서
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제1항에서,상기 결정은 규소 결정을 포함하고,상기 유전체는 질화 규소 및 산화 규소 중 적어도 하나를 더 포함하는광 센서
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제1항에서,상기 감지 스위칭 소자의 입력 단자는 제2 전압에 연결되어 있는 광 센서
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제1항에서,상기 리셋 스위칭 소자의 제어 단자는 주사 신호를 전달하는 주사 신호선에 연결되어 있는 광 센서
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제1항에서,상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자와 연결되어 있는 기준 축전기를 더 포함하는 광 센서
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광 센서를 포함하고,상기 광 센서는,광의 조사에 따라 정전 용량이 바뀌는 감지 축전기,상기 감지 축전기와 연결되어 있는 제어 단자를 포함하고 상기 제어 단자에 인가되는 전압에 응답하여 감지 신호를 출력하는 감지 스위칭 소자,상기 감지 스위칭 소자의 출력 단자와 연결되어 있으며 상기 감지 신호를 전달하는 감지 신호선,상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자와 연결되어 있는 출력 단자를 포함하는 리셋 스위칭 소자, 그리고상기 리셋 스위칭 소자의 입력 단자와 연결되어 있으며 리셋 전압을 전달하는 리셋 신호선을 포함하고,상기 감지 축전기는 상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자와 연결되어있는 제1단자, 그리고 제1 전압에 연결되어 있는 제2단자를 포함하고,상기 제1 전압은 상기 광의 조사 여부에 따라 상기 감지 축전기의 정전 용량의 변화가 큰 전압 범위에 속하도록 정해지고,상기 감지 축전기의 유전체는 결정을 포함하고,상기 전압 범위는 상기 결정의 밀도에 따라 변경되는 표시 장치
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제13항에서,영상을 표시하는 복수의 화소, 그리고영상 데이터 신호를 전달하는 데이터선을 더 포함하는 표시 장치
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제14항에서,상기 화소는 상기 데이터선 및 주사 신호선에 연결되어 있는 스위칭 소자, 그리고 상기 스위칭 소자에 연결되어 있는 화소 전극을 포함하는 표시 장치
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절연 기판 위에 감지 신호를 전달하는 감지 신호선을 형성하는 단계,상기 절연 기판 위에 리셋 전압을 전달하는 리셋 신호선을 형성하는 단계,상기 절연 기판 위에 제1 전압을 전달하는 제1 전압선을 형성하는 단계,상기 감지 신호선과 연결되어 있는 감지 스위칭 소자를 형성하는 단계,상기 리셋 신호선과 연결되어 있는 리셋 스위칭 소자를 형성하는 단계,상기 감지 스위칭 소자의 제어 단자 및 상기 리셋 스위칭 소자의 출력 단자와 연결되어 있는 제1 전극, 상기 제1 전압선과 연결되어 있는 제2 전극, 그리고 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극 사이에 위치하는 유전체층을 포함하는 감지 축전기를 형성하는 단계, 그리고상기 절연 기판 위에 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 유전체층은 결정을 포함하는표시 장치의 제조 방법
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제16항에서,상기 감지 축전기를 형성하는 단계는 화학 기상 증착법을 이용하여 상기 유전체층을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
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제16항에서,상기 감지 축전기를 형성하는 단계는 상기 유전체층과 동일한 층에 위치하며 상기 유전체층이 위치하는 부분에 개구부를 가지는 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법
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제18항에서,상기 절연층을 형성하는 단계는상기 절연 기판 위에 절연 물질을 도포하는 단계,상기 절연 물질 위에 식각 방지층을 형성하는 단계,상기 절연 물질 및 상기 식각 방지층을 사진 식각하여 상기 개구부를 형성하는 단계, 그리고상기 유전체층을 형성 후에 상기 식각 방지층을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
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제16항에서,상기 제1 전극, 상기 감지 신호선 및 상기 리셋 신호선은 동일한 층에 위치하고,상기 제2 전극은 상기 화소 전극과 동일한 층에 위치하는표시 장치의 제조 방법
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제16항에서,상기 제1 전극, 상기 감지 신호선 및 상기 리셋 신호선은 동일한 층에 위치하고,상기 제2 전극은 상기 제1 전압선과 동일한 층에 위치하는표시 장치의 제조 방법
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