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대면적 증착 방법 및 그 증착 시스템

  • 기술번호 : KST2015209608
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ICBD 혹은 MBE와 같은 물리적 방법을 이용한 물질 증착 방법에 있어서, 대면적 증착 방법 및 그 시스템에 관련된 것이다. 본 발명은 증착물질을 담은 소스를 2차원을 이루는 서로 직교하는 두 개의 좌표축 상에서 임의로 이동하면서 상기 소스와 일정거리 떨어져 설치된 기판 위에 박막을 증착하는 대면적 증착법을 제공한다. 따라서, 본 발명은 증착물질을 담은 소스와, 상기 소스에서 분사된 증착물질이 임의의 2차원 공간의 모든 위치를 지적할 수 있는 좌표계와, 상기 좌표축 상에서 상기 소스를 이동 시킬수 있는 구동 수단을 포함하는 대면적 증착 시스템을 제공한다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC C23C 14/221(2013.01) C23C 14/221(2013.01)
출원번호/일자 1019990019288 (1999.05.27)
출원인 학교법인연세대학교
등록번호/일자 10-0329207-0000 (2002.03.06)
공개번호/일자 10-2000-0074993 (2000.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20020322) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.05.27)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인연세대학교 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황정남 대한민국 서울특별시 은평구
2 조성진 대한민국 부산시남구
3 김기원 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)
2 이세진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)(특허법인다나)
3 김성남 대한민국 서울특별시 송파구 법원로*길 **(문정동) 에이치비즈니스파크 C동 ***호(에스엔케이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인연세대학교 대한민국 서울 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.05.27 수리 (Accepted) 1-1-1999-0052858-53
2 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 2000.03.13 수리 (Accepted) 1-1-2000-5072811-53
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0068812-02
4 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2001.05.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2001-0122445-58
5 의견서
Written Opinion		 2001.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2001-5148933-64
6 등록결정서
Decision to grant		 2001.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0344604-19
7 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2002.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-5040799-77
8 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2002.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2002-5040792-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2002-0061226-84
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2003.07.15 수리 (Accepted) 4-1-2003-0040705-40
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207014-07
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2010-5224078-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

증착 물질을 담은 소스를 2차원 공간을 구성하는 두개의 독립된 축 중 적어도 하나의 축 상에서 임의의 운동을 일으켜 상기 소스에서 출발한 상기 증착 물질이 상기 소스에서 일정거리 떨어진 곳에 설치된 2차원 기판의 전면에 고르게 스캐닝되도록 하되, 상기 2차원 공간을 구성하는 두 개의 독립된 축은 서로 직교하는 제1축과 제2축을 포함하며 상기 소스가 상기 제1축 및 제2축 위에서 각각 독립적으로 왕복운동 하여 상기 스캐닝이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 방법

2 3

증착물질을 담은 소스를 2차원 공간을 구성하는 두 개의 독립된 축 중 적어도 하나의 축 상에서 임의의 운동을 일으켜 상기 소스에서 출발한 상기 증착물질이 상기 소스에서 일정거리 떨어진 곳에 설치된 2차원 기판의 전면에 고르게 스캐닝되도록 하되, 상기 2차원 공간을 구성하는 두개의 독립된 축은 서로 직교하는 제1축과 제2축을 포함하며, 상기 소스가 상기 제1축 및 상기 제2축을 중심으로 각각 독립된 진동 및 회전 운동 중 선택된 적어도 어느 한 운동 방식을 수행 함으로써 상기 스캐닝이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 방법

3 4

증착물질을 담은 소스를 2차원 공간을 구성하는 두 개의 독립된 축 중 적어도 하나의 축 상에서 임의의 운동을 일으켜 상기 소스에서 출발한 상기 증착물질이 상기 소스에서 일정거리 떨어진 곳에 설치된 2차원 기판의 전면에 고르게 스캐닝되도록 하되, 상기 2차원 공간을 구성하는 두개의 독립된 축은 서로 직교하는 제1축과 제2축을 포함하며, 상기 소스가 상기 제1축 및 상기 제2축중 선택된 어느 한 축을 중심으로 왕복, 진동 및 회전 운동중 적어도 선택된 어느 한 운동 방식을 수행하고, 상기 기판이 다른 한 축상에서 일방 진행, 왕복 및 진동 운동 중 선택된 적어도 어느 한 운동 방식을 수행함으로써 상기 스캐닝이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 방법

4 5

평면 좌표계를 구현하는 서로 독립된 제 1축 및 제 2축과;

상기 제 1축 및 제 2축을 기준으로 일방 진행, 왕복 및 진동 운동 중 선택된 적어도 어느 한 운동 방식을 수행 가능하게 하는 제1구동수단 및 제2구동수단과;

상기 제 1축 및 제 2축 중 선택된 적어도 어느 하나의 축상에서 운동 가능한 이동체와;

상기 이동체에 설치되어 증착물질을 방출하는 소스와;

상기 소스로 부터 일정거리 떨어져 위치하며 상기 제 1축 및 제 2축이 형성하는 2차원 공간에 대응하는 2차원 기판을 포함하는 것을 특징으로하는 대면적 증착 시스템

5 6

제 5항에 있어서,

상기 제 1축을 고정하는 고정판을 더 포함하며;

상기 제 1축은 일정한 길이를 갖는 선분형 축이고, 상기 제 2축은 상기 제 1축과 직교하며 일정한 길이를 갖는 선분형 축으로서 상기 제1축 상에서 상기 제1구동수단에 의하여 일방 진행, 왕복 및 진동 운동 중 선택된 적어도 어느 한 운동 방식을 수행 가능하며;

상기 이동체는 상기 제2구동수단에 의해 상기 제2축상에서 일방 진행, 왕복 및 진동 운동 중 선택된 적어도 어느 한 운동 방식을 수행 가능한 것을 특징으로 하는 대면적 증착 시스템

6 7

제 5항에 있어서,

상기 평면 좌표계를 구성하기 위한 고정판을 더 포함하며;

상기 제1축은 상기 고정판에서 상부로 일정 거리 떨어져 위치하고;

상기 제1축에 연결된 상기 제1구동수단에 의해 상기 제1축을 중심으로 회전운동 가능한 제1프레임을 더 포함하며;

상기 제2축은 상기 제1프레임 상에서 상기 제1축과 직교하도록 설치되며;

상기 제2축에 연결된 제2구동수단에 의해 상기 제2축을 중심으로 회전운동 가능한 제2프레임을 더 포함하고;

상기 이동체는 상기 제2프레임에 고정되어 상기 제1구동수단 및 상기 제2구동수단에 의해 상기 제1축 및 상기 제2축을 중심으로하는 각각 독립된 왕복 및 진자운동을 하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 시스템

7 8

제 5항에 있어서,

상기 평면 좌표계를 구성하기 위한 고정판을 더 포함하며;

상기 제1축은 상기 고정판에 의해 고정되고;

상기 제1축에 연결된 상기 제1구동수단에 의해 상기 제1축을 중심으로 왕복, 진동 및 회전운동 가능하며 상기 이동체를 포함할 수 있는 프레임을 더 포함하며;

상기 제2축은 상기 이동체로부터 일정 거리 떨어져 상기 제1축과 직교되도록 형성되며;

상기 제2구동수단에 의해 상기 제1축과 직교하는 방향으로 진행 및 왕복 운동가능하며 상기 기판이 설치 가능한 보판대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 시스템

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제 5항에 있어서,

상기 제1구동수단 및 상기 제2구동수단은 그 구동방식이 제어가능한 스텝모터를 포함하며 각 입력 전원 파형을 sin, cos, 역sin 그리고, 역cos 방식을 포함하는 비선형 파형 중 선택된 어느 하나를 사용하여 상기 소스의 운동 방식을 제어하는 것을 특징으로 하는 대면적 증착 시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.