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진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 회전가능하게 설치되어 파우더를 코팅하기 위한 리액터와, 상기 리액터의 회전을 제어하는 회전 유닛과, 상기 리액터 내로 공정가스를 제공하기 위한 공정가스 공급유닛과, 상기 리액터 주위에 설치되어 공정에 필요한 온도를 제공하기 위한 히터 유닛과, 상기 진공 챔버 내부를 진공 상태로 만들거나 상기 진공 챔버로부터 공정가스를 배기시키기 위한 진공/배기 유닛을 포함하는 파우더 코팅 장치를 이용하여 리튬이차전지용 음극활물질에 사용되는 분체를 제조하는 방법으로서, 상기 리액터와 상기 진공/배기 유닛 사이에 펌핑이 이루어지는 것을 차단하기 위한 펌핑 밸브가 구비되고, 상기 진공/배기 유닛은 원자층증착 동안에 항상 온(On) 상태를 유지하고 있고, 펌핑은 펌핑 밸브의 개방(open)과 닫음(close)을 통해 제어되며, (a) 리튬이차전지용 음극활물질의 소스인 파우더를 리액터에 넣는 단계;(b) 상기 진공/배기 유닛에 의해 상기 진공 챔버 내의 압력이 대기압 미만이 되게 하여 진공 상태로 유지하고, 상기 히터 유닛의 히터 제어 수단을 통해 히터를 컨트롤하여 공정 온도로 상기 진공 챔버 내의 온도를 설정하며, 상기 회전 유닛을 작동하여 상기 리액터가 주기적으로 회전 운동을 하게 하는 단계;(c) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 코팅 소스를 상기 리액터 내로 공급하는 단계;(d) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 퍼지 가스를 상기 리액터 내로 주입하여 잔류하는 코팅 소스를 제거하는 단계;(e) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 산화제를 상기 리액터 내로 공급하는 단계; 및(f) 상기 공정가스 공급유닛을 통해 퍼지 가스를 상기 리액터 내로 주입하여 잔류하는 산화제를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 (c) 단계와 상기 (d) 단계 사이에,상기 코팅 소스의 공급을 차단하고, 상기 코팅 소스가 역류되는 것을 방지하고 상기 코팅 소스가 상기 리액터 내로 주입되도록 유도하기 위하여 주입 유도 펌핑이 이루어지는 단계; 및펌핑 밸브를 닫은 상태에서 상기 코팅 소스를 상기 리액터 내에 유지시켜 상기 코팅 소스가 파우더의 표면에 흡착되게 하는 단계를 더 포함하며,상기 (e) 단계와 상기 (f) 단계 사이에,상기 산화제의 공급을 차단하고, 상기 산화제가 역류되는 것을 방지하고 상기 산화제가 상기 리액터 내로 주입되도록 유도하기 위하여 주입 유도 펌핑이 이루어지는 단계; 및펌핑 밸브를 닫은 상태에서 상기 산화제를 상기 리액터 내에 유지시켜 상기 파우더 표면에 흡착된 코팅 소스가 상기 산화제와 반응하여 산화가 이루어지게 하는 단계를 더 포함하며,상기 (c) 단계 내지 상기 (f) 단계의 원자층증착 시퀀스를 복수 사이클 수행하여 파우더에 금속산화물이 코팅된 분체를 제조하며, 상기 코팅 소스는 상기 금속산화물의 금속 성분을 포함하는 전구체이고,상기 금속산화물이 0
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제1항에 있어서, 상기 주입 유도 펌핑은 상기 리액터 내로 코팅 소스의 유입을 유도하기 위하여 상기 진공/배기 유닛이 온(On) 된 상태에서 코팅 소스의 공급 차단 후에도 0
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제1항에 있어서, 상기 코팅 소스가 파우더의 표면에 흡착되게 하는 단계 후 상기 (d) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 코팅 소스를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 (d) 단계 후 상기 (e) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하며,상기 (f) 단계 후에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리튬이차전지용 음극활물질 분체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 코팅 소스의 주입 시간은 0
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제1항에 있어서, 상기 주입 유도 펌핑은 상기 리액터 내로 산화제의 유입을 유도하기 위하여 상기 진공/배기 유닛이 온(On) 된 상태에서 산화제의 공급 차단 후에도 0
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제1항에 있어서, 상기 (d) 단계 후 상기 (e) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 산화가 이루어지게 하는 단계 후 상기 (f) 단계 전에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 산화제를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 (f) 단계 후에 펌핑 밸브가 개방된 상태에서 펌핑하여 리액터 내에 잔류하는 퍼지 가스를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리튬이차전지용 음극활물질 분체의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 코팅 소스의 주입 시간은 0
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제1항에 있어서, 상기 리튬이차전지용 음극활물질의 소스인 파우더는 탄소재 입자, 규소(Si) 입자 또는 금속계 산화물 입자이고, 상기 금속계 산화물 입자는 MexOy(0＜x≤3, 0＜y≤4), LixMy(0＜x≤3, 0＜y≤4) 또는 Li2(Li(1-z)Mez)N(0≤z≤1)의 성분을 포함하는 입자이며, 여기서 M은 13 ~ 15족 원소 중 하나이고, Me는 전이금속 중 하나이며,상기 금속산화물은 전이금속 산화물이거나, Mg나 Ca을 포함하는 산화물인 것을 특징으로 하는 리튬이차전지용 음극활물질 분체의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 상기 리튬이차전지용 음극활물질의 소스인 파우더와 함께 비드를 상기 리액터에 투입하며, 상기 비드는 0
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