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나노 필라 제조방법(MANUFACTURING METHOD FOR NANO PILLAR)

  • 기술번호 : KST2017005423
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 Ni2Si를 길이가 긴 나노 필라 상태로 얻을 수 있는 새로운 제조방법을 제공하되, 경제적이고 실시가 용이한 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. 그에 따라 본 발명은, Cu, Ni 및 Si을 합금으로 만들고,상기 합금을 900 내지 1000℃에서 30분 내지 2시간 동안 열 처리하고 냉각하여 용체화 처리하고,400 내지 600℃에서 시효(aging) 처리하고,인발 또는 압연처리하고,에칭 용액으로 Cu를 제거하여 Ni2Si 나노 필라를 회수하는 것을 특징으로 하는 Ni2Si 나노 필라 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/161 (2006.01.01)
CPC H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01) H01L 29/0669(2013.01)
출원번호/일자 1020150120092 (2015.08.26)
출원인 한국기계연구원, 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0024728 (2017.03.08) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.26)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한승전 대한민국 경상남도 창원시 성산구
2 김광호 대한민국 부산광역시 해운대구
3 안지혁 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단 대한민국 부산광역시 금정구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0827663-80
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0835659-39
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.05.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2016-0026541-96
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0151406-67
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0359418-80
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.04.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0359370-87
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0570251-48
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
Cu, Ni 및 Si을 합금으로 만들고,상기 합금을 900 내지 1000℃에서 30분 내지 2시간 동안 용체화처리 및 수냉하고,400℃ 내지 550℃에서 시효(aging) 처리하고,인발 또는 압연처리하고, 에칭 용액으로 Cu를 제거하여 Ni2Si 나노 필라를 회수하는 것을 특징으로 하는 Ni2Si 나노 필라 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 합금은 상기 용체화 처리 전에 냉간 가공되는 것을 특징으로 하는 Ni2Si 나노 필라 제조방법
4 4
제2항에 있어서, Cu, Ni 및 Si을 합금 제조시, Ti 또는 V 중 하나 이상을 첨가하여 석출구동력을 높이는 것을 특징으로 하는 Ni2Si 나노 필라 제조방법
5 5
제2항 내지 제4항 중 어느 한 항의 Ni2Si 나노 필라 제조방법에 의해 제조된 Ni2Si 나노 필라
6 6
제5항에 있어서, 상기 Ni2Si 나노 필라는, 5 내지 17 nm 직경과 최대 19 μm 길이를 갖는 것을 특징으로 하는 Ni2Si 나노 필라
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)하이브리드 인터페이스 기반 미래소재 연구단 글로벌프런티어연구개발사업 하이브리드 인터페이스 기반 미래 소재 연구 Hard 하이브리드 인터페이스 원천기반공정기술