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투명 전극 제조방법 및 이에 의해 제조된 투명 전극(METHOD OF MANUFACTURING TRANSPARENT ELECTRODE AND TRANSPARENT ELECTRODE MANUFACTURED BY THE METHOD)

  • 기술번호 : KST2017011958
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 투명전극의 제조방법이 개시된다. 투명전극은 기판의 상부면 상에 포토레지스트 패턴을 형성하고, 그 위에 금속 박막을 형성하며, 이어서 금속 박막 상에 그래핀 복합체 박막을 형성한 후 포토레지스트 패턴을 제거함으로써 형성될 수 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2016.02.23) H01B 5/14 (2016.02.23) H01L 21/027 (2016.02.23) H01B 1/02 (2016.02.23) H01B 1/20 (2016.02.23) H01B 1/06 (2016.02.23)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020160003334 (2016.01.11)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0083885 (2017.07.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.01.11)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서수정 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 송영일 대한민국 경기도 수원시 영통구
3 박정갑 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 조영래 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 김태유 대한민국 경기도 수원시 장안구
6 나영일 대한민국 경기도 수원시 장안구
7 신진하 대한민국 경기도 시흥시 역전로*
8 이정우 대한민국 경기도 수원시 팔달구
9 홍두표 대한민국 대전광역시 중구
10 박정호 대한민국 서울특별시 송파구
11 안병욱 대한민국 경기도 수원시 장안구
12 백승빈 대한민국 경기도 수원시 영통구
13 윤숙영 대한민국 경기도 성남시 분당구
14 김선우 대한민국 서울특별시 서초구
15 김석훈 대한민국 경기도 수원시 장안구
16 박종환 대한민국 경기도 수원시 장안구
17 신세희 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0029116-66
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0212465-23
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-0848852-84
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-1017125-75
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0082771-88
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0410406-10
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0890237-25
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 상부면 상에 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴 상부면에 형성된 제1 금속 박막 및 상기 포토레지스트 패턴에 의해 노출된 상기 기판의 상부면 형성된 제2 금속 박막을 포함하는 금속 박막을 형성하는 단계;금속 분말 및 상기 금속 분말 표면을 피복하는 그래핀을 포함하는 그래핀 복합체 분말이 분산된 용액을 도포하여, 상기 제1 금속 박막 및 상기 제2 금속 박막 상에 각각 형성된 제1 그래핀 복합체 박막 및 제2 그래핀 복합체 박막을 포함하는 그래핀 복합체 박막을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴, 상기 제1 금속 박막 및 상기 제1 그래핀 복합체 박막을 제거하는 단계; 및상기 제2 금속 박막 및 상기 제2 그래핀 복합체 박막을 열처리하는 단계를 포함하는 투명 전극의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴 형성 후 상기 금속 도금막 형성 전에 상기 기판의 상부면 중 상기 포토레지스트 패턴에 의해 노출된 부분을 산소 플라즈마로 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 금속 박막은 스퍼터링, 스핀코팅 또는 스프레이 코팅의 방법으로 형성되고, 구리(Cu) 또는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 제1 금속 박막과 상기 제2 금속 박막은 상기 포토레지스트 패턴의 측면에 의해 서로 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 금속 분말은 구리, 은, 백금 및 니켈로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속을 포함하고,상기 그래핀 복합체 분말의 크기는 10nm 이상 100nm 이하인 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
6 6
제5항에 있어서,상기 그래핀 복합체 분말이 분산된 용액은 상기 그래핀 복합체 분말 및 방향족 탄화수소를 포함하는 유기 바인더 물질을 포함하고,상기 제2 금속 박막 및 상기 제2 그래핀 복합체 박막을 열처리하는 단계는 250 내지 350℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 열처리 단계에서 상기 유기 바인더 물질의 탄화물이 상기 그래핀 복합체 박막에 잔류하는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
8 8
제5항에 있어서, 상기 제1 그래핀 복합체 박막과 상기 제2 그래핀 복합체 박막은 상기 포토레지스트 패턴의 측면에 의해 서로 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 투명 전극의 제조방법
9 9
기판 상에 배치된 격자 형상의 금속 도금막; 및상기 금속 도금막 상에 배치되고, 금속 분말 및 상기 금속 분말 표면을 피복하는 그래핀을 구비하는 그래핀 복합체 분말들 및 상기 그래핀 복합체 분말들 사이에 배치된 방향족 유기물의 탄화물을 포함하는 그래핀 복합체 박막을 포함하는 투명 전극
10 10
제9항에 있어서, 상기 방향족 유기물의 탄화물은 상기 그래핀 복합체 분말 표면의 그래핀과 파이-파이 스태킹(π-π stacking)이 형성하는 것을 특징으로 하는 투명 전극
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 성균관대학교(자연과학캠퍼스) (구)일반연구자지원사업(기본연구:리서치펠로우) 3/3 고출력/고밀도用 이차전지 그래핀 집전체 제작과 특성에 관한 연구