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전사 장치

  • 기술번호 : KST2018007196
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 소자들의 크기에 따라 곡률 반경이 다른 스탬프를 이용하여 효율적으로 전사하기 위한 것으로, 벨트(belt) 형태로 구성된 스탬프, 스탬프를 회전시키는 적어도 하나 이상의 지지 롤러, 원형 기판(original substrate) 상의 박막 소자들을 스탬프로 픽업(pick up)하는 회전 롤러 및 픽업된 스탬프 상의 박막 소자들을 타겟 기판으로 프린팅(printing)하는 프린팅 롤러를 포함하고, 회전 롤러의 곡률 반경과 프린팅 롤러의 곡률 반경은 상이하게 형성되는 전사 장치에 관한 발명이다.
Int. CL H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 21/18 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01) H01L 21/76817(2013.01)
출원번호/일자 1020160107490 (2016.08.24)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-1829301-0000 (2018.02.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.24)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종호 대한민국 광주광역시 북구
2 조성범 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김기문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동 현죽빌딩)(한미르특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0822421-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0116090-35
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0551255-30
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0866843-29
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.09.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0866844-75
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0077616-68
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번호 청구항
1 1
전사 장치에 있어서,벨트(belt) 형태로 구성된 스탬프;상기 스탬프를 회전시키는 적어도 하나 이상의 지지 롤러;원형 기판(original substrate) 상의 박막 소자들을 상기 스탬프로 픽업(pick up)하는 회전 롤러; 및상기 픽업된 스탬프 상의 박막 소자들을 타겟 기판으로 프린팅(printing)하는 프린팅 롤러를 포함하고,상기 회전 롤러는, 곡률 반경이 서로 다른 복수 개의 롤러들로 구성되어 복수 개의 롤러들 중 어느 하나의 롤러가 상기 박막 소자들을 픽업하고,상기 회전 롤러의 곡률 반경과 상기 프린팅 롤러의 곡률 반경은 상이하게 형성되는,전사 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 스탬프는 회전하는 동안 상기 회전 롤러와 상기 프린팅 롤러를 연속해서 통과하는,전사 장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 회전 롤러는, 상기 복수 개의 롤러들을 일정 각도로 회전시키는 스텝 모터를 더 포함하는,전사 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 회전 롤러는, 상기 스텝 모터가 상기 복수 개의 롤러들을 회전시킬 경우 상기 회전 롤러와 상기 스탬프를 접촉시키는 가이드 및 스프링을 더 포함하는,전사 장치
6 6
제4항에 있어서,상기 스텝 모터는 상기 복수 개의 롤러들을 120도씩 회전시키는,전사 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 스텝 모터는, 상기 박막 소자들의 크기에 기초하여 상기 박막 소자들을 픽업할 어느 하나의 롤러를 선택하는,전사 장치
8 8
제1항에 있어서,상기 원형 기판을 상기 회전 롤러 방향으로 이동시키는 컨베이어; 및상기 타겟 기판을 상기 프린팅 롤러 방향으로 이동시키는 컨베이어를 더 포함하는,전사 장치
9 9
제8항에 있어서,상기 컨베이어를 상기 전사 장치에 밀착시키는 스프링을 더 포함하는,전사 장치
10 10
제1항에 있어서,상기 회전 롤러의 곡률 반경은 상기 프린팅 롤러의 곡률 반경보다 크게 형성되는,전사 장치
11 11
전사 장치가 박막 소자들을 전사하는 전사 방법에 있어서,회전 롤러 및 프린팅 롤러를 연속해서 통과하는 벨트(belt) 형태의 스탬프를 회전시키는 단계;박막 소자들을 포함한 원형 기판이 상기 회전 롤러와 접촉됨에 따라 상기 박막 소자들이 상기 원형 기판으로부터 분리되어 스탬프로 픽업되는 단계;상기 픽업된 스탬프 상의 박막 소자들이 상기 프린팅 롤러와 접촉함에 따라 상기 박막 소자들이 상기 스탬프로부터 분리되어 타겟 기판으로 프린팅되는 단계를 포함하고,상기 회전 롤러는, 곡률 반경이 서로 다른 복수 개의 롤러들로 구성되어 복수 개의 롤러들 중 어느 하나의 롤러가 상기 박막 소자들을 픽업하고,상기 회전 롤러의 곡률 반경과 상기 프린팅 롤러의 곡률 반경은 상이하게 형성되는,전사 장치의 전사 방법
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1 미래창조과학부 광주과학기술원 중견연구 생체기기 구동을 위한 유연성 독립전원 개발