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딥러닝 기반의 반도체 비전 검사 시스템에서의 제어 변수 설정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2019009472
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 딥러닝 기반의 반도체 비전 검사 시스템에서의 제어 변수 설정 장치의 동작방법에 있어서, 영상 획득 장치의 동작을 제어하는 복수의 제어 변수들에 대한 정보를 수신하는 단계, 수신된 복수의 제어 변수들에 대한 정보에 포함된 복수의 제어 변수들의 개수 및 복수의 제어 변수들 각각의 변수 값의 개수를 이용하여 제어 변수 집합을 구성하는 단계, 적어도 하나 이상의 비전 검사 샘플에 대해, 구성된 제어 변수 집합의 구성 원소 각각에 대응되는 복수의 제어 변수들의 변수 값들이 각각 반영된 영상 획득 장치에 의해 획득된 이미지들을 수신하는 단계 및 이미 학습된 딥러닝 기반의 신경망을 이용하여 수신된 이미지들 중 최종 이미지를 결정하고, 결정된 최종 이미지를 획득하기 위한 복수의 제어 변수들 각각의 최종 변수 값들을 획득하는 단계를 포함하고, 구성된 제어 변수 집합의 구성 원소 각각은 복수의 제어 변수들을 모두 포함하고, 구성된 제어 변수 집합의 서로 다른 임의의 2개의 구성 원소들은 적어도 하나 이상 동일한 제어 변수들간에 다른 변수 값들을 가지도록 대응시킨 것을 특징으로 하는, 제어 변수 설정 장치의 동작방법이 개시된다.
Int. CL G06N 3/08 (2006.01.01) G06N 3/04 (2006.01.01)
CPC G06N 3/08(2013.01) G06N 3/08(2013.01) G06N 3/08(2013.01) G06N 3/08(2013.01)
출원번호/일자 1020170167373 (2017.12.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0067439 (2019.06.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오천인 대전광역시 유성구
2 한경수 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 성병기 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 재우빌딩)(마루특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-1220144-84
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번호 청구항
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딥러닝 기반의 반도체 비전 검사 시스템에서의 제어 변수 설정 장치의 동작방법에 있어서,영상 획득 장치의 동작을 제어하는 복수의 제어 변수들에 대한 정보를 수신하는 단계;상기 수신된 복수의 제어 변수들에 대한 정보에 포함된 상기 복수의 제어 변수들의 개수 및 상기 복수의 제어 변수들 각각의 변수 값의 개수를 이용하여 제어 변수 집합을 구성하는 단계;적어도 하나 이상의 비전 검사 샘플에 대해, 상기 구성된 제어 변수 집합의 구성 원소 각각에 대응되는 상기 복수의 제어 변수들의 변수 값들이 각각 반영된 상기 영상 획득 장치에 의해 획득된 이미지들을 수신하는 단계; 및이미 학습된 딥러닝 기반의 신경망을 이용하여 상기 수신된 이미지들 중 최종 이미지를 결정하고, 상기 결정된 최종 이미지를 획득하기 위한 상기 복수의 제어 변수들 각각의 최종 변수 값들을 획득하는 단계를 포함하고,상기 구성된 제어 변수 집합의 구성 원소 각각은 상기 복수의 제어 변수들을 모두 포함하고, 상기 구성된 제어 변수 집합의 서로 다른 임의의 2개의 구성 원소들은 적어도 하나 이상 동일한 제어 변수들간에 다른 변수 값들을 가지도록 대응시킨 것을 특징으로 하는, 제어 변수 설정 장치의 동작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 ETRI ICT R＆D 바우처사업 딥러닝 기반 차세대 반도체 장비 비전 검사 시스템 개발