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기상 증착 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
- 기술번호 : KST2019014160
- 담당센터 : 인천기술혁신센터
- 전화번호 : 032-420-3580
| 요약 | 본 발명은 증착 공정을 효율적으로 진행할 수 있고 증착막 특성을 용이하게 향상하는 기판에 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상측 부재 및 상기 상측 부재와 결합하는 측면 부재를 구비하는 본체부, 상기 측면 부재의 일측을 향하도록 배치되는 수용부, 상기 수용부에 배치되고 상기 기판을 장착하도록 형성된 스테이지, 상기 측면 부재에 배치되어 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 하나 이상의 기체를 주입하는 제1 주입부, 상기 상측 부재에 배치되어 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 하나 이상의 기체를 주입하는 제2 주입부, 상기 상측 부재의 일면에 배치되는 코일부 및 상기 코일부에 연결되는 전원부를 구비하는 플라즈마 발생부를 포함하는 기상 증착 장치를 제공한다. |
|---|---|
| Int. CL | C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/54 (2006.01.01) C23C 16/458 (2006.01.01) C23C 16/44 (2006.01.01) C23C 16/04 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020190082835 (2019.07.09) |
| 출원인 | 삼성디스플레이 주식회사, 한양대학교 에리카산학협력단 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2019-0086640 (2019.07.23) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | 10-2018-0090333 (2018.08.02) |
| 관련 출원번호 | 1020180090333 |
| 심사청구여부/일자 | Y (2019.07.09) |
| 심사청구항수 | 47 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 대한민국 | 경기 용인시 기흥구 |
| 2 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 대한민국 | 경기도 안산시 상록구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서상준 | 경기도 용인시 기흥구 | |
| 2 | 오재응 | 경기도 용인시 수지구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 경기 용인시 기흥구 | |
| 2 | 한양대학교 에리카산학협력단 | 경기도 안산시 상록구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2019.07.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0703554-86 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2019.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0695892-16 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2019.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-1219901-85 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2019.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-1219902-20 |
| 5 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2020.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0216808-58 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서 |
2020.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0427348-04 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2020.04.24 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2020-0427349-49 |
| 8 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2020.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0361816-81 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판에 박막을 증착하기 위한 기상 증착 장치에 관한 것으로서,상측 부재 및 상기 상측 부재와 결합하는 측면 부재를 구비하는 본체부;상기 본체부의 적어도 일 영역과 중첩되도록 상기 본체부를 향하게 배치되는 수용부;상기 수용부에 배치되고 상기 기판을 장착하도록 형성된 스테이지;상기 측면 부재에 배치되는 제1 주입부;상기 상측 부재에 배치되는 제2 주입부;상기 상측 부재의 일면에 배치되는 코일부 및 상기 코일부에 연결되는 전원부를 구비하는 플라즈마 발생부를 포함하고,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 제1 기체를 주입하고,상기 제2 주입부는 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 상기 제1 기체와 상이한 종류의 제2 기체를 주입하는 것을 포함하고,상기 플라즈마 발생부와 상기 스테이지의 사이에 배치되고 상기 본체부와 이격되고 별도의 전원에 연결된 슬릿부를 더 포함하고,상기 제1 주입부 및 상기 제2 주입부는 상기 슬릿부와 이격되도록 배치되고,상기 제1 기체 및 제2 기체를 포함하는 상기 박막의 복수의 원료 기체들은 상기 슬릿부와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 주입되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 2 |
2 제1 항에 있어서상기 제1 기체는 소스 기체이고, 상기 제2 기체는 반응 기체인 기상 증착 장치 |
| 3 |
3 제2 항에 있어서상기 제2 기체는 상기 플라즈마 발생부에 의하여 여기된 후에 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 4 |
4 제1 항에 있어서상기 제2 주입부는 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 상기 제2 기체와 별도로 상기 제1 기체 및 상기 제2 기체와 상이한 하나 이상의 불활성 기체를 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입하는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 5 |
5 제1 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 서로 다른 시간에 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 6 |
6 제5 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 순차적으로 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 7 |
7 제5 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입의 사이에 또는 상기 각 기체의 주입후에 상기 제2 주입부를 통하여 불활성 기체를 주입하는 것을 포함하도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 8 |
8 제1 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 동시에 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 9 |
9 제8 항에 있어서상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 기체의 주입과 동시에 또는 상기 각 기체의 주입후에 상기 제2 주입부를 통하여 하나 이상의 불활성 기체를 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입하는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 10 |
10 제1 항에 있어서상기 슬릿부는 직류 전원에 연결되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 11 |
11 제1 항에 있어서,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재의 일측 및 이와 마주보는 타측에 배치되는 기상 증착 장치 |
| 12 |
12 제1 항에 있어서,상기 수용부는 배기부를 구비하고, 상기 배기부는 상기 스테이지의 하부에 위치하는 기상 증착 장치 |
| 13 |
13 제1 항에 있어서,상기 측면 부재에 배치되고 상기 제1 주입부와 이격되도록 형성된 배기 포트를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 14 |
14 제13 항에 있어서,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간을 향하도록 형성된 일단을 구비하고, 상기 배기 포트는 상기 제1 주입부의 일단보다 상기 상측 부재에 더 가깝게 배치되는 기상 증착 장치 |
| 15 |
15 제1 항에 있어서,상기 코일부를 덮도록 상기 코일부의 면 중 상기 기판을 향하는 방향에 형성된 커버부를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 16 |
16 제15 항에 있어서,상기 커버부는 절연물로 형성된 기상 증착 장치 |
| 17 |
17 제1 항에 있어서,상기 측면 부재에 배치되는 절연 부재를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 18 |
18 제17 항에 있어서,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간을 향하도록 형성된 일단을 구비하고, 상기 절연 부재는 상기 제1 주입부의 일단과 중첩되지 않도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 19 |
19 제1 항에 있어서,상기 기판 상에 원하는 패턴으로 증착하기 위한 개구부를 구비하는 마스크를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 20 |
20 제1 항에 있어서,상기 상측 부재 및 상기 측면 부재는 서로 결합 및 분리가 가능하도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 21 |
21 기판에 박막을 증착하기 위하여 복수의 모듈, 수용부 및 스테이지를 구비하는 기상 증착 장치에 관한 것으로서, 상기 복수의 모듈 각각은,상측 부재 및 상기 상측 부재와 결합하는 측면 부재를 구비하는 본체부;상기 측면 부재에 배치는 제1 주입부;상기 상측 부재에 배치는 제2 주입부; 및상기 상측 부재의 일면에 배치되는 코일부 및 상기 코일부에 연결되는 전원부를 구비하는 플라즈마 발생부를 포함하고,상기 수용부는 상기 복수의 모듈 전체에 대응하도록 형성되고, 상기 스테이지는 상기 수용부에 배치되어 상기 기판을 장착하도록 형성되고,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 제1 기체를 주입하고,상기 제2 주입부는 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 상기 제1 기체와 상이한 종류의 제2 기체를 주입하는 것을 포함하고,상기 플라즈마 발생부와 상기 스테이지의 사이에 배치되고 상기 본체부와 이격되고 별도의 전원에 연결된 슬릿부를 더 포함하고,상기 제1 주입부 및 상기 제2 주입부는 상기 슬릿부와 이격되도록 배치되고,상기 제1 기체 및 제2 기체를 포함하는 상기 박막의 복수의 원료 기체들은 상기 슬릿부와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 주입되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 22 |
22 제21 항에 있어서상기 제1 기체는 소스 기체이고, 상기 제2 기체는 반응 기체인 기상 증착 장치 |
| 23 |
23 제22 항에 있어서상기 제2 기체는 상기 플라즈마 발생부에 의하여 여기된 후에 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 24 |
24 제21 항에 있어서상기 제2 주입부는 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 상기 제2 기체와 별도로 상기 제1 기체 및 상기 제2 기체와 상이한 하나 이상의 불활성 기체를 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입하는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 25 |
25 제21 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 서로 다른 시간에 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 26 |
26 제25 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 순차적으로 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 27 |
27 제25 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입의 사이에 또는 상기 각 기체의 주입후에 상기 제2 주입부를 통하여 불활성 기체를 주입하는 것을 포함하도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 28 |
28 제21 항에 있어서상기 제1 주입부를 통한 상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 주입부를 통한 상기 제2 기체의 주입은 동시에 진행되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 29 |
29 제28 항에 있어서상기 제1 기체의 주입 및 상기 제2 기체의 주입과 동시에 또는 상기 각 기체의 주입후에 상기 제2 주입부를 통하여 하나 이상의 불활성 기체를 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 주입하는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 30 |
30 제21 항에 있어서상기 슬릿부는 직류 전원에 연결되는 것을 포함하는 기상 증착 장치 |
| 31 |
31 제21 항에 있어서,상기 기판이 상기 스테이지에 장착된 상태에서 상기 기판을 상기 수용부 내에서 이동하는 구동부를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 32 |
32 제31 항에 있어서,상기 복수의 모듈들은 일 방향으로 나란하게 배치되고,상기 구동부는 상기 기판을 상기 일 방향과 평행한 방향으로 이동하는 기상 증착 장치 |
| 33 |
33 제31 항에 있어서,상기 구동부는 상기 기판을 왕복 운동하는 기상 증착 장치 |
| 34 |
34 제21 항에 있어서,상기 수용부는 배기부를 구비하고, 상기 배기부는 상기 스테이지의 하부에 위치하는 기상 증착 장치 |
| 35 |
35 제21 항에 있어서,상기 복수 모듈 각각의 상기 제1 주입부는 상기 측면 부재의 일측 및 이와 마주보는 타측에 배치되는 기상 증착 장치 |
| 36 |
36 제21 항에 있어서,상기 복수 모듈 각각은 상기 측면 부재에 배치되고 상기 제1 주입부와 이격되도록 형성된 배기 포트를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 37 |
37 제36 항에 있어서,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간을 향하도록 형성된 일단을 구비하고, 상기 배기 포트는 상기 제1 주입부의 일단보다 상기 상측 부재에 더 가깝게 배치되는 기상 증착 장치 |
| 38 |
38 제21 항에 있어서,상기 복수 모듈 각각은 상기 코일부를 덮도록 상기 코일부의 면 중 상기 기판을 향하는 방향에 형성된 커버부를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 39 |
39 제38 항에 있어서,상기 커버부는 절연물로 형성된 기상 증착 장치 |
| 40 |
40 제21 항에 있어서,상기 복수 모듈 각각은 상기 측면 부재에 배치되는 절연 부재를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 41 |
41 제40 항에 있어서,상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간을 향하도록 형성된 일단을 구비하고, 상기 절연 부재는 상기 제1 주입부의 일단과 중첩되지 않도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 42 |
42 제21 항에 있어서,상기 기판 상에 원하는 패턴으로 증착하기 위한 개구부를 구비하는 마스크를 더 포함하는 기상 증착 장치 |
| 43 |
43 제21 항에 있어서,상기 복수의 모듈 각각은 서로 결합 및 분리가 가능하고,상기 복수의 모듈 각각의 상기 상측 부재 및 상기 측면 부재는 서로 결합 및 분리가 가능하도록 형성된 기상 증착 장치 |
| 44 |
44 복수의 모듈, 수용부 및 스테이지를 구비하는 기상 증착 장치를 이용하여 기판 상에 적어도 제1 전극, 유기 발광층을 구비하는 중간층 및 제2 전극을 구비하는 박막을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제조하는 방법에 관한 것으로서,상기 복수의 모듈 각각은,상측 부재 및 상기 상측 부재와 결합하는 측면 부재를 구비하는 본체부;상기 측면 부재에 배치되는 제1 주입부;상기 상측 부재에 배치되는 제2 주입부; 및상기 상측 부재의 일면에 배치되는 코일부 및 상기 코일부에 연결되는 전원부를 구비하는 플라즈마 발생부를 포함하고,상기 수용부는 상기 복수의 모듈 전체에 대응하도록 형성되고, 상기 스테이지는 상기 수용부에 배치되어 상기 기판을 장착하도록 형성된 것을 특징으로 하고,상기 박막을 형성하는 단계는, 상기 스테이지에 상기 기판을 장착하는 단계; 및 상기 스테이지에 상기 기판을 장착한 상태에서 상기 기판을 이동하면서 상기 복수 모듈 각각의 상기 제1 주입부 및 상기 제2 주입부를 통하여 상기 기판을 향하도록 기체를 주입하는 단계를 포함하고, 상기 제1 주입부는 상기 측면 부재와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 제1 기체를 주입하고,상기 제2 주입부는 상기 상측 부재와 상기 측면 부재 사이의 공간으로 상기 제1 기체와 상이한 종류의 제2 기체를 주입하는 것을 포함하고,상기 플라즈마 발생부와 상기 스테이지의 사이에 배치되고 상기 본체부와 이격되고 별도의 전원에 연결된 슬릿부를 더 포함하고,상기 제1 주입부 및 상기 제2 주입부는 상기 슬릿부와 이격되도록 배치되고,상기 제1 기체 및 제2 기체를 포함하는 상기 박막의 복수의 원료 기체들은 상기 슬릿부와 상기 상측 부재 사이의 공간으로 주입되는 것을 포함하는 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
| 45 |
45 제44 항에 있어서,상기 박막을 형성하는 단계는 상기 제2 전극 상에 배치되는 봉지층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
| 46 |
46 제44 항에 있어서,상기 박막을 형성하는 단계는 절연막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
| 47 |
47 제44 항에 있어서,상기 박막을 형성하는 단계는 도전막을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | KR101886740 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 2 | KR102000711 | KR | 대한민국 | FAMILY |
| 3 | US08986794 | US | 미국 | FAMILY |
| 4 | US10125423 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | US20130108778 | US | 미국 | FAMILY |
| 6 | US20150191822 | US | 미국 | FAMILY |
| 7 | US20190048469 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 | ||||
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [분할출원]특허출원서 | 2019.07.09 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-0703554-86 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2019.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2019-0695892-16 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2019.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2019-1219901-85 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2019.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2019-1219902-20 |
| 5 | 거절결정서 | 2020.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0216808-58 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서 | 2020.04.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2020-0427348-04 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2020.04.24 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2020-0427349-49 |
| 8 | 등록결정서 | 2020.05.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2020-0361816-81 |
| 기술정보가 없습니다 |
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| 과제정보가 없습니다 |
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