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전기화학적 마이그레이션 방지 첨가제 및 이를 이용한 전기화학적 마이그레이션을 방지하는 방법

  • 기술번호 : KST2019023000
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 전기화학적 마이그레이션 방지 첨가제는 금속 배선 사이에서 발생하는 수지상정의 생성 또는 성장을 지연 또는 방지하여 전기화학적 마이그레이션을 억제할 수 있다. 이를 통하여, 회로의 단락을 궁극적으로 방지할 수 있다. 또한, 이러한 방지 첨가제를, 반도체 등의 패키징 공정의 EMC 또는 언더필 재료와 혼합하여 사용할 경우, 반도체 소자의 신뢰도를 높일 수 있다.
Int. CL C23F 11/10 (2006.01.01) C23F 11/18 (2006.01.01) H05K 3/28 (2006.01.01)
CPC C23F 11/10(2013.01) C23F 11/10(2013.01) C23F 11/10(2013.01) C23F 11/10(2013.01)
출원번호/일자 1020160107614 (2016.08.24)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1769716-0000 (2017.08.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170818) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160099331   |   2016.08.04
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.08.24)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정구 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 송솔지 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0823159-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0003790-09
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0214994-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0473257-77
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0473230-45
8 등록결정서
Decision to grant
2017.08.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0544573-80
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번호 청구항
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폴리에틸렌 글리콜(Polyethylene glycol (PEG)), 이미다졸(Imidazole), 벤조트리아졸(Benzotriazole (BTA)), 폴리-디알릴디메틸암모니움 클로라이드(Poly-diallyldimethylammonium chloride(PolyDADMAC)), 싸이오우레아(Thiourea), 디데실-디메틸암모니움 클로라이드(Didecyl-dimethylammonium chloride (DDAC)), 디아진 블랙(Diazine black (DB)), 1-부틸-3-메틸이미다졸리움 하이드로겐 설파이트(1-butyl-3-methylimidazolium hydrogen sulfate ([BMIM]HSO4)), 니트로테트라졸리움 블루 클로라이드(Nitrotetrazolium blue chloride (NTBC)), 6-아미노벤조-싸이아졸(6-aminobenzo-thiazole), N-부틸-메틸 피레리디늄 브로마이드(N-butyl-methyl piperidinium bromide (PP14Br)), 폴리에틸렌이민(Polyethyleneimine (PEI)), 4-아미노-2,1,3-벤조싸이아디아졸(4-Amino-2,1,3-benzothiadiazole), 데나토니움 벤조에이트(Denatonium benzoate), 브랜치드 4차 암모니움 설팩턴트(Branched quaternary ammonium surfactant), 4-니트로페놀(4-Nitrophenol), 디알릴메틸아민 하이드로클로라이드 및 설파 디옥사이드 혼성 고분자(Diallylmethylamine hydrochloride and sulfur dioxide copolymer), 디알릴아민 하이드로클로라이드 말레산 혼성 고분자(Diallylamine hydrochloride maleic acid copolymer (410C)), 에피클로로하이드린 디알릴아민 하이드로클로라이드 4차 아민 혼성고분자( Epichlorogydrinated diallylamine hydrochloride quaternary amine copolymer (880)), 메틸디알릴아민 하이드로클로라이드 설퍼 디옥사이드 혼성고분자(Methyldiallylamine hydrochloride sulfur dioxide copolymer (220lCl)), 도데실 트리메틸 암모니움 브로마이드(Dodecyltrimethylammoniumbromide (DTAB)), 피리딘(Pyridine), 젤라틴(Gelatin) 중 적어도 하나를 포함하며,구리 배선의 수지상정의 생성을 억제하는, 구리의 전기화학적 마이그레이션 방지 첨가제
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폴리에틸렌 글리콜(Polyethylene glycol (PEG)), 이미다졸(Imidazole), 벤조트리아졸(Benzotriazole (BTA)), 폴리-디알릴디메틸암모니움 클로라이드(Poly-diallyldimethylammonium chloride(PolyDADMAC)), 싸이오우레아(Thiourea), 디데실-디메틸암모니움 클로라이드(Didecyl-dimethylammonium chloride (DDAC)), 디아진 블랙(Diazine black (DB)), 1-부틸-3-메틸이미다졸리움 하이드로겐 설파이트(1-butyl-3-methylimidazolium hydrogen sulfate ([BMIM]HSO4)), 니트로테트라졸리움 블루 클로라이드(Nitrotetrazolium blue chloride (NTBC)), 6-아미노벤조-싸이아졸(6-aminobenzo-thiazole), N-부틸-메틸 피레리디늄 브로마이드(N-butyl-methyl piperidinium bromide (PP14Br)), 폴리에틸렌이민(Polyethyleneimine (PEI)), 4-아미노-2,1,3-벤조싸이아디아졸(4-Amino-2,1,3-benzothiadiazole), 데나토니움 벤조에이트(Denatonium benzoate), 브랜치드 4차 암모니움 설팩턴트(Branched quaternary ammonium surfactant), 4-니트로페놀(4-Nitrophenol), 디알릴메틸아민 하이드로클로라이드 및 설파 디옥사이드 혼성 고분자(Diallylmethylamine hydrochloride and sulfur dioxide copolymer), 디알릴아민 하이드로클로라이드 말레산 혼성 고분자(Diallylamine hydrochloride maleic acid copolymer (410C)), 에피클로로하이드린 디알릴아민 하이드로클로라이드 4차 아민 혼성고분자( Epichlorogydrinated diallylamine hydrochloride quaternary amine copolymer (880)), 메틸디알릴아민 하이드로클로라이드 설퍼 디옥사이드 혼성고분자(Methyldiallylamine hydrochloride sulfur dioxide copolymer (220lCl)), 도데실 트리메틸 암모니움 브로마이드(Dodecyltrimethylammoniumbromide (DTAB)), 피리딘(Pyridine), 젤라틴(Gelatin) 중 적어도 하나를 포함하는 전기화학적 마이그레이션 방지 첨가제를 준비하는 단계; 및상기 준비된 방지 첨가제를 EMC(Epoxy molding compound) 또는 언더필(Underfill) 물질에 혼합하여, 구리 배선의 몰딩에 이용하는 단계를 포함하고,상기 구리 배선 사이에서 수지 상정의 생성을 억제하는,구리의 전기화학적 마이그레이션을 방지하는 방법
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