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롤 기반의 패턴 전사 장치에 구비되는 롤 장치에 있어서,내부가 중공되어 원통형으로 형성되며, 외주면에 패턴이 형성되는 롤스탬프;상기 롤스탬프 내부에 배치되며, 광원 및 광원에서 발생된 광을 집광하는 렌즈를 포함하는 광발생부가 방사상 대칭되는 위치에 다수개 구비되고, 다수개의 상기 광발생부에서 조사되는 광의 조사 방향이 서로 상이한 경화수단; 및상기 경화수단을 회전시키는 위치조절부; 을 포함하며,상기 롤스탬프와 방사상 대칭되는 지점에서 다수개의 기판과 선 접촉되는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 롤 장치
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제 1항에 있어서,상기 경화수단은상기 광발생부가 제1광발생부 및 제2광발생부로 이루어지는 경우,상기 제1광발생부는 제1광원과, 제1광원에서 조사된 빛이 90°로 반사되는 제1반사미러와, 반사된 빛이 집광되는 제1렌즈로 이루어지며,상기 제2광발생부는 제2광원과, 제2광원에서 조사된 빛이 90°로 반사되는 제2반사미러와, 반사된 빛이 집광되는 제2렌즈로 이루어지되,상기 제1광원 및 제2광원, 제1렌즈 및 제2렌즈는 원통형의 롤스탬프 회전축을 기준으로 서로 마주보는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 롤 장치
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제 4항에 있어서,상기 파장 선택형 롤 장치는상기 위치조절부에 의해 상기 경화수단이 180° 회전됨으로써,제1광발생부 및 제2광발생부 중 어느 하나가 레지스트 경화수단으로 선택되는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 롤 장치
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제 1항에 있어서,상기 경화수단은다수개의 광발생부에서 조사되는 광의 파장이 서로 상이한 것을 특징으로 하는 파장 선택형 롤 장치
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제 1항에 있어서,상기 파장 선택형 롤 장치는다수개의 광발생부에서 조사되는 광의 파장이 동일한 것을 특징으로 하는 파장 선택형 롤 장치
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제 1항, 4항 내지 6항, 및 제 8항 중 어느 한 항에 의한 파장 선택형 롤 장치를 포함하는 패턴 전사 장치에 있어서,일측면에 레지스트가 도포되는 기판, 상기 기판을 상기 롤스탬프 측으로 병진 이동시키는 기판구동부를 포함하며 상기 파장 선택형 롤 장치의 롤스탬프와 선 접촉되도록 배치되는 전사 유닛; 및상기 롤스탬프와 기판의 접촉 및 가압을 통해, 상기 롤스탬프의 패턴이 상기 기판에 전사되도록 상기 파장 선택형 롤 장치 및 전사 유닛의 동작을 제어하는 제어 유닛; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 전사 장치
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제 9항에 있어서,상기 패턴 전사 장치는상기 파장 선택형 롤 장치에 상기 광발생부가 2개 구비되는 경우,상기 롤스탬프의 회전축을 중심으로 높이방향으로 대칭되는 지점에서 선 접촉되도록 상기 전사 유닛이 2개 구비되는 것을 특징으로 하는 패턴 전사 장치
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제 9항에 있어서,상기 패턴 전사 장치는상기 기판이 롤, 평판, 필름 형태 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴 전사 장치
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제 11항에 있어서,상기 패턴 전사 장치는상기 기판이 평판 형태인 경우, 상기 기판이 고정되는 고정용 척을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 전사 장치
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제 11항에 있어서,상기 패턴 전사 장치는상기 기판이 필름 형태인 경우, 상기 롤스탬프와 선 접촉되는 면의 반대 면에서 선 접촉한 상태로 회전하는 카운터 롤을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 전사 장치
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