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멤스 디바이스 패키지

  • 기술번호 : KST2020006371
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 멤스 디바이스 패키지는 하부 구조체; 하부 구조체에서 상방 이격되되 각각은 좌우로 서로 이격되어 어레이 배치된, 복수의 볼로미터 멤스 구조체; 하부 구조체와 볼로미터 멤스 구조체를 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 전기적 연결부; 하부 구조체 상에 배치되되, 볼로미터 멤스 구조체와 전기적 연결부를 하우징하는, 상부 구조체; 및 하부 구조체로부터 상방으로 신장하여 상부 구조체를 구조적으로 지지하도록 구성된 적어도 하나 이상의 비아 구조체; 를 포함하되, 상부 구조체와 하부 구조체 사이의 공간은 복수의 볼로미터 멤스 구조체 사이에서 분리되지 않고 복수의 볼로미터 멤스 구조체를 가로질러 서로 연결된 단일한 공간이다.
Int. CL B81B 7/00 (2017.01.01) B81B 1/00 (2017.01.01)
CPC B81B 7/0032(2013.01) B81B 7/0032(2013.01) B81B 7/0032(2013.01) B81B 7/0032(2013.01)
출원번호/일자 1020180125204 (2018.10.19)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0044439 (2020.04.29) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.10.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오재섭 대전광역시 유성구
2 김광희 대전광역시 유성구
3 이종권 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 김한 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
3 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2018-1033651-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0011958-84
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0637169-75
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-1122975-01
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1245448-57
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1245449-03
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0250830-40
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2020-0461052-82
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.05.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0461053-27
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0385318-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부 구조체;하부 구조체에서 상방 이격되되 각각은 좌우로 서로 이격되어 어레이 배치된, 복수의 볼로미터 멤스 구조체;하부 구조체와 볼로미터 멤스 구조체를 전기적으로 연결하는 적어도 하나 이상의 전기적 연결부; 하부 구조체 상에 배치되되, 볼로미터 멤스 구조체와 전기적 연결부를 하우징하는, 상부 구조체; 및하부 구조체로부터 상방으로 신장하여 상부 구조체를 구조적으로 지지하도록 구성된 적어도 하나 이상의 비아 구조체; 를 포함하되,상부 구조체와 하부 구조체 사이의 공간은 복수의 볼로미터 멤스 구조체 사이에서 분리되지 않고 복수의 볼로미터 멤스 구조체를 가로질러 서로 연결된 단일한 공간인 것을 특징으로 하며, 적어도 하나 이상의 전기적 연결부는 각각의 볼로미터 멤스 구조체의 모가 진 모서리의 일부에 배치된 복수의 전기적 연결부를 포함하고, 적어도 하나 이상의 비아 구조체는 각각의 볼로미터 멤스 구조체의 모가 진 모서리의 다른 일부에 배치된 복수의 비아 구조체를 포함하며,하부구조체의 주면과 나란한 평면 상에서, 각각의 볼로미터 멤스 구조체의 모서리를 따라 배치되는 복수의 전기적 연결부와 복수의 비아 구조체는 교번적으로 순차 배열되며, 상기 볼로미터 멤스 구조체는 상기 상부 구조체와 상기 하부 구조체 사이의 상기 공간 내에 배치되며, 상기 전기적 연결부는 상기 상부 구조체를 지지하지 않되 상기 볼로미터 멤스 구조체를 지지하며, 상기 비아 구조체는 상기 볼로미터 멤스 구조체를 지지하지 않되 상기 하부 구조체 상에서 상기 상부 구조체를 지지하는,멤스 디바이스 패키지
2 2
제 1 항에 있어서,상부 구조체의 측벽은 복수의 볼로미터 멤스 구조체 사이에 개재되어 배치되지 않고 복수의 볼로미터 멤스 구조체를 모두 둘러싸도록 외곽에 배치된,멤스 디바이스 패키지
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,하부구조체의 주면과 나란한 평면 상에서, 적어도 하나 이상의 비아 구조체는 각각의 볼로미터 멤스 구조체의 중심으로부터 동일한 거리 만큼 이격되어 배치된 적어도 하나 이상의 비아 구조체를 포함하는,멤스 디바이스 패키지
6 6
제 1 항에 있어서,비아 구조체의 적어도 일부의 표면 상에 형성된 게터(getter);를 더 포함하는,멤스 디바이스 패키지
7 7
제 1 항에 있어서,상부 구조체와 하부 구조체 사이의 공간 내에 배치된 게터(getter);를 더 포함하는,멤스 디바이스 패키지
8 8
제 1 항에 있어서,복수의 볼로미터 멤스 구조체의 각각은 서로 인접하여 배치된 단위픽셀부를 각각 구성하는 것을 특징으로 하는, 멤스 디바이스 패키지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 나노종합기술원 개인기초연구 나노변조된 그래핀을 이용한 고성능 원적외선(8~12μm) 볼로미터 개발
2 산업통상자원부 나노종합기술원 산업기술국제협력 제조 비용대 성능비가 30% 높은 열영상 센서와 이를 이용한 열과 가시광용 영상 보안 모듈개발