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레이저 빔을 조사하는 발광 소자;상기 발광 소자가 조사하는 영역으로 전압이 인가되는 광전도성 층;상기 광전도성 층에 전위를 형성시키기 위한 기준 전압 전극인 기준전극 층;상기 광전도성 층으로 인가된 전압으로 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자를 이동시키는 공간인 미세유체유로;상기 광전도성 층 및 기준전극 층에 연결되어 전압을 인가하는 전압 공급 장치;를 포함하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 발광 소자를 다수개 구비하고, 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자를 이동시키려는 영역에 대응되는 발광 소자를 온(On)시키는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 발광 소자로부터 출력된 레이저 빔을 반사시키는 광 반사부;를 더 포함하고, 상기 광 반사부의 이동에 따라 상기 광전도성 층에 레이저가 입사되는 영역에서 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자를 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역이 미세유체를 포함할 경우, 상기 영역의 이동에 따라 상기 미세유체가 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 미세유체가 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역을 포함하되, 상기 영역이 미세유체의 외주연에 근접하도록 위치되어 상기 미세유체를 벗어날 경우에는, 상기 영역에 이동에 따라 상기 미세유체가 이동하고, 상기 영역이 미세유체를 벗어나지 않도록 이동될 경우에는 미세유체 내 미세입자가 유전영동으로 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 미세유체가 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역을 포함하지 않도록 근접하게 위치하는 경우, 상기 영역에 이동에 따라 상기 미세유체가 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제5항에 있어서,상기 미세유체 내 미세입자가 전하를 띄는 경우에는 전기 영동으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제5항에 있어서,미세유체 내 미세입자가 전하를 띄지 않는 경우에는 유전 영동으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 전압 공급 장치에 인가되는 교류 전압의 주파수로 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자의 이동이 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 광전도성 층은 유리 기판 상에 투명한 전극인 ITO(Indium Tin Oxide)로 형성되는 투명 전극;상기 투명 전극 상에 증착된 비정질 실리콘;상기 비정질 실리콘 상에 증착되어 전기 분해로부터 미세유체를 보호하는 보호층;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제10항에 있어서,상기 비정질 실리콘은 수소화된 n형 비정질 실리콘인 n+ a-Si:H 상에 진성의 수소화된 비정질 실리콘인 진성의 a-Si:H 가 증착되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제12항에 있어서
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제1항에 있어서,상기 광전도성 층은 상기 발광 소자에서 출력된 레이저 빔이 조사된 영역에서 포토 트랜지스터에 의하여 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 기준전극 층은미세유체 또는 미세유체 내 미세입자의 이동을 관찰할 수 있도록 유리 기판 상에 투명한 전극인 ITO(Indium Tin Oxide)로 형성되는 투명 전극인 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제1항에 있어서,상기 광전도성 층 상에 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자의 구동을 위하여 소수성(Hydrophobic) 층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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제15항에 있어서,상기 소수성 층은 테플론(Teflon) 또는 싸이톱(Cytop)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치
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발광 소자에서 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자를 이동하기 위한 영역으로 레이저 빔을 출력하는 제1 단계;상기 레이저 빔이 조사된 광전도성 층의 영역에 전압이 인가되어 상기 미세유체 또는 미세유체 내 미세입자가 이동하는 제2 단계;를 포함하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제17항에 있어서,제1 단계는상기 발광 소자가 단수개일 경우, 미세유체를 이동하기 위한 영역으로 상기 발광 소자를 이동시키는 단계;상기 발광 소자가 다수개일 경우, 미세유체를 이동하기 위한 영역에 대응되는 발광 소자를 온(On)시키는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제17항에 있어서,상기 제2 단계는상기 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역이 미세유체를 포함할 경우, 상기 영역의 이동에 따라 상기 미세유체가 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제17항에 있어서,상기 제2 단계는상기 미세유체가 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역을 포함하되, 상기 영역이 미세유체의 외주연에 근접하도록 위치되어 상기 미세유체를 벗어날 경우에는, 상기 영역에 이동에 따라 상기 미세유체가 이동하고, 상기 영역이 미세유체를 벗어나지 않도록 이동될 경우에는 미세유체 내 미세입자가 유전영동으로 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제17항에 있어서,상기 2단계는상기 미세유체가 광전도성 층에 전압이 인가되는 영역을 포함하지 않도록 근접하게 위치하는 경우, 상기 영역에 이동에 따라 상기 미세유체가 이동되는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제17항에 있어서,제2 단계는상기 레이저 빔이 조사된 영역으로 광전도성 층 및 기준전극 층의 포토 트랜지스터가 구동되어 전압이 인가되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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제20항에 있어서,제2 단계는상기 미세유체 내 미세입자가 전하를 띄는 경우에는 전기 영동으로 이동시키고, 상기 미세유체 내 미세입자가 전하를 띄지 않는 경우에는 유전 영동으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 발광 소자를 이용한 미세유체 구동방법
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