요약 | 본 발명은 렌즈 제작 시 플루오르고분자 박막을 코팅하여 소수성 막을 형성시킴으로써 렌즈 배열의 충진률(Fill- Factor)를 향상시킬 수 있는 플루오르고분자 박막 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 배열 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 플루오르고분자(fluoropolymer) 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법은 기판에 적어도 하나의 원통의 실린더 형상 패턴을 형성하는 단계; 상기 원통의 실린더 형상 패턴의 상부 및 상기 기판의 표면에 플루오르 고분자 박막을 코팅하는 단계; 및 상기 플루오르 고분자 박막이 코팅된 상기 패턴에 대해 열처리 공정을 수행하여 미세 렌즈를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
---|---|
Int. CL | G02B 3/00 (2006.01) B81B 1/00 (2006.01) |
CPC | G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) G02B 3/0018(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020120053628 (2012.05.21) |
출원인 | 한국과학기술원 |
등록번호/일자 | 10-1397553-0000 (2014.05.14) |
공개번호/일자 | 10-2013-0129605 (2013.11.29) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20140520) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2012.05.21) |
심사청구항수 | 7 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
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1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 정기훈 | 대한민국 | 대전 유성구 |
2 | 정혁진 | 대한민국 | 대전 유성구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 이원희 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.05.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0403778-95 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.02.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2013.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0027269-35 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.06.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0445808-21 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.08.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0780007-44 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2013.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0880004-20 |
8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.10.28 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2013-0975039-12 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.10.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0975166-13 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.10.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0975016-73 |
11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.10.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0975172-87 |
12 | 보정요구서 Request for Amendment |
2013.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0137069-42 |
13 | [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2013.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1017325-96 |
14 | 무효처분통지서 Notice for Disposition of Invalidation |
2013.11.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0143410-16 |
15 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2014.03.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0170451-98 |
16 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.04.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0342686-08 |
17 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2014.04.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0342687-43 |
18 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2014.05.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0319249-76 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
21 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
22 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
23 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
24 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
번호 | 청구항 |
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1 |
1 유리, 포토 레지스트(photo resist), 폴리머(polymer), 실리콘(silicon) 또는 Ⅲ-Ⅴ 반도체 재질 중 어느 하나로 이루어진 기판에 적어도 하나의 원통의 실린더 형상 패턴을 형성하되, 실린더 형상의 직경 대 높이의 비로 정의되는 종횡비가 0 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 실린더 형상 패턴의 수평방향의 단면은 원, 삼각형, 사각형, 오각형, 육각형 중 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 플루오르 고분자 박막은,C3F8, C4F8, CHF3, 비닐플루오르화물(Vinyl fluoride), 불화비닐리덴(Vinylidene fluoride), 테트라플루오로에틸렌(Tetrafluoroethylene), 퍼플루오르프로필비닐에테르(Perfluoropropylvinylether), 퍼플루오르메틸비닐에테르(Perfluoromethylvinylether), 클로로트리플루오로에틸렌(Chlorotrifluoroethylene)의 그룹으로부터 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 플루오르고분자 박막이 코팅된 상기 실린더 형상 패턴의 상부 및 상기 기판의 물 접촉각은 100° 내지 120°인 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 실린더 형상 패턴에 대한 상기 열적 리플로우 공정은 전도 또는 대류를 이용하는 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 열적 리플로우 공정을 수행하여 형성되는 상기 미세 렌즈는 구면 또는 비구면 형태인 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
9 |
9 제 1 항에 있어서,상기 원통의 실린더 형상 패턴은 포토레지스트 또는 폴리머(polymer) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플루오르고분자 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 제조방법 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 교육과학기술부 | 한국과학기술원 | 중견연구자지원사업 | 자연 포토닉구조의 나노공학기반 영감기술 |
2 | 교육과학기술부 | 한국과학기술원 | 나노소재기술개발사업 | 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플렛폼 개발 |
특허 등록번호 | 10-1397553-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20120521 출원 번호 : 1020120053628 공고 연월일 : 20140520 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140512 청구범위의 항수 : 7 유별 : G02B 3/00 발명의 명칭 : 플루오르고분자 박막 코팅을 이용한 고충진률 렌즈 배열 및 이의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 159,000 원 | 2014년 05월 15일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 135,800 원 | 2017년 04월 28일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 97,000 원 | 2018년 04월 25일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 97,000 원 | 2019년 04월 29일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 199,470 원 | 2020년 07월 28일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.05.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0403778-95 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.02.25 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2013.04.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-2013-0027269-35 |
5 | 의견제출통지서 | 2013.06.27 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0445808-21 |
6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.08.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0780007-44 |
7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.09.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0880004-20 |
8 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.10.28 | 무효 (Invalidation) | 1-1-2013-0975039-12 |
9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.10.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0975166-13 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.10.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0975016-73 |
11 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.10.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0975172-87 |
12 | 보정요구서 | 2013.11.07 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0137069-42 |
13 | [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2013.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1017325-96 |
14 | 무효처분통지서 | 2013.11.19 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2013-0143410-16 |
15 | 거절결정서 | 2014.03.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0170451-98 |
16 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.04.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0342686-08 |
17 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2014.04.10 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2014-0342687-43 |
18 | 등록결정서 | 2014.05.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0319249-76 |
19 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
20 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
21 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
22 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
23 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
24 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1345169893 |
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세부과제번호 | 2010-0017693 |
연구과제명 | 자연 포토닉구조의 나노공학기반 영감기술 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201005~201504 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345176990 |
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세부과제번호 | 2011-0020186 |
연구과제명 | 메타렌즈어레이기반 대면적 고속 나노리소그래피 플렛폼 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201106~201606 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1345194351 |
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세부과제번호 | KIOST02 |
연구과제명 | 테라헤르쯔파 대역 물질과 소자개발 및 측정에 관한 응용연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 교육과학기술부 |
연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
성과제출연도 | 2012 |
연구기간 | 201101~201312 |
기여율 | 0.33333334 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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[KST2019003455][한국과학기술원] | 파면 제어기를 이용한 고속 3차원 광조형 방법 및 장치 | 새창보기 |
[KST2014047044][한국과학기술원] | 축방향 열전달을 감소시키기 위한 열교환기의 구조 및 설계 | 새창보기 |
[KST2015115791][한국과학기술원] | 3차원 미세유체집속채널구조를 이용하는 균일한 미세 액적 및 단분산성 입자의 제조 방법 | 새창보기 |
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[KST2015116390][한국과학기술원] | 수직 나노선의 어레이를 포함하는 렌즈 구조 및 이의 제조방법과 이를 이용하여 제작된 렌즈. | 새창보기 |
[KST2015112386][한국과학기술원] | 마이크로렌즈 어레이와 마이크로미러 어레이를 이용한 프로젝션 디스플레이 장치 | 새창보기 |
[KST2015112711][한국과학기술원] | 발광 소자를 이용한 미세유체 구동장치 및 구동방법 | 새창보기 |
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[KST2015118290][한국과학기술원] | 나노와이어 성장을 이용한 무반사 나노구조를 구비하는 렌즈의 제조방법 및 이에 따라 제조된 렌즈 | 새창보기 |
[KST2015116964][한국과학기술원] | 자외선경화가가능한액상물질을이용한마이크로렌즈제조방법 | 새창보기 |
[KST2020004191][한국과학기술원] | 마이크로카메라 어레이를 구비한 초근접 영상촬영장치 | 새창보기 |
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