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복사냉각 효과 증진을 위한 격자 패터닝 구조를 갖는 PDMS 박막 및 상기 PDMS 박막의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2020006372
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명인 복사냉각 효과 증진을 위한 격자 패터닝 구조를 갖는 PDMS 박막 및 상기 PDMS 박막의 제작 방법은, 제1 베이스 기판 상에 PET 기판을 부착하는 단계; 상기 PET 기판 상에 스핀 코팅을 통해 PR 감광제를 증착하고 상기 PR 감광제를 패터닝하는 단계; 상기의 패터닝된 PR 감광제 상에 PDMS를 스핀 코팅하여 상부 PDMS 조립체를 형성하는 단계; 제2 베이스 기판 상에 Ag 형성층을 증착하고 상기 Ag 형성층 상에 PDMS를 스핀 코팅하여 하부 PDMS 조립체를 형성하는 단계; 상기 상부 PDMS 조립체 및 하부 PDMS 조립체를 결합하여 하나의 일체화된 최종 PDMS 조립체를 완성하는 단계; 및 상기 최종 PDMS 조립체 상에서 PR 감광제를 제거하는 것과 동시에 상기 PET 기판을 제거하는 단계;를 포함한다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 7/26 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01) G03F 7/2012(2013.01)
출원번호/일자 1020180146428 (2018.11.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0061074 (2020.06.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이봉재 대전광역시 유성구
2 이승윤 대전광역시 유성구
3 송재만 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.23 수리 (Accepted) 1-1-2018-1172367-22
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0140557-32
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0910035-48
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0084837-17
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-0084838-63
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0383679-26
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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제1 베이스 기판 상에 PET 기판을 부착하는 단계;상기 PET 기판 상에 스핀 코팅을 통해 PR 감광제를 증착하고 상기 PR 감광제를 패터닝하는 단계;상기의 패터닝된 PR 감광제 상에 PDMS를 스핀 코팅하여 상부 PDMS 조립체를 형성하는 단계;제2 베이스 기판 상에 Ag 형성층을 증착하고 상기 Ag 형성층 상에 PDMS를 스핀 코팅하여 하부 PDMS 조립체를 형성하는 단계;상기 상부 PDMS 조립체 및 하부 PDMS 조립체를 결합하여 하나의 일체화된 최종 PDMS 조립체를 완성하는 단계; 및상기 최종 PDMS 조립체 상에서 PR 감광제를 제거하는 것과 동시에 상기 PET 기판을 제거하여 격자 패터닝 구조를 갖는 PDMS 박막을 얻는 단계;를 포함하고,상기 PDMS 박막의 격자 패터닝 구조를 통해서 8㎛ 내지 13㎛ 파장 스펙트럼 영역에서 방사율을 증대시켜 상기 파장 스펙트럼 영역을 통해 방출되는 복사에너지를 극대화하는 것을 특징으로 하는,PDMS 박막의 제작 방법
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제1항에 있어서,상기 PR 감광제를 패터닝하는 단계에서,PR 감광제를 이용한 감광제 패턴이 가능하도록 플라즈마 표면 처리를 진행한 후 negative 감광제와 크롬 마스크를 사용하여 UV 노광공정 기반 패터닝을 진행하는,PDMS 박막의 제작 방법
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제2항에 있어서,상기 최종 PDMS 조립체를 구성하는 PDMS 박막을 이루는 격자 구조의 높이(h)는 노광 공정 시 PR 감광제 몰드의 높이를 제어하여 조절하는,PDMS 박막의 제작 방법
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제2항에 있어서,상기 PDMS 박막은, 소정 두께(t)를 갖는 평판 플레이트 형상의 박막 상에 소정 너비(w)를 갖는 직사각 형상의 돌출부가 소정의 주기(P)를 통해 반복적으로 형성된 구성인,PDMS 박막의 제작 방법
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제1항에 있어서,상기 최종 PDMS 조립체를 완성하는 단계에서,상기 상부 PDMS 조립체 및 하부 PDMS 조립체를 각각 구성하는 PDMS가 마주하도록 결합하는,PDMS 박막의 제작 방법
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제5항에 있어서,상기 상부 PDMS 조립체를 이루는 PET 기판 상에 증착된 PR 감광제 몰드 상에 스핀 코팅된 PDMS를 1차적으로 경화시킨 이후,상기 하부 PDMS 조립체를 이루는 Ag 형성층 상에 스핀 코팅된 미경화된 PDMS 위에 상기 상부 PDMS 조립체의 경화된 PDMS층을 본딩하는, PDMS 박막의 제작 방법
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순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)센도리 에너지기술개발사업 (RCMS)공공시설(지하철, 지하상가)내 미활용에너지를 이용한 냉난방시스템 개발(2018)