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유-무기 하이브리드 박막 및 그 제조 방법

기술번호 : KST2020009710
담당센터 : 서울서부기술혁신센터
전화번호 : 02-6124-6930

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법이 설명된다. 상기 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법은, 기판을 준비하는 단계, 상기 기판 상에 금속을 포함하는 제1 전구체, 및 벤젠 고리를 포함하는 제2 전구체를 제공하여, 상기 제1 및 제2 전구체가 반응된 금속 유기물을 형성하는 단계, 및 상기 금속 유기물 상에, 상기 금속을 포함하는 제3 전구체, 및 산소(O)를 포함하는 제4 전구체를 제공하여, 상기 제3 및 제4 전구체가 반응된 금속 산화물을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL	C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) B05D 1/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자	1020190059350 (2019.05.21)
출원인	한양대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2020-0083125 (2020.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보	대한민국 \| 1020180173404 \| 2018.12.31 대한민국 \| 1020180173403 \| 2018.12.31
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2019.05.21)
심사청구항수	14

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한양대학교 산학협력단	대한민국	서울특별시 성동구

발명자

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번호	이름	주소
1	박진성	경기도 성남시 분당구
2	이승환	인천광역시 계양구
3	백건호	서울특별시 성동구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	박상열	대한민국	서울 금천구 가산디지털로 층 ****호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2019.05.21	수리 (Accepted)	1-1-2019-0518674-61
2	[출원서 등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2019.07.16	수리 (Accepted)	1-1-2019-0727711-10
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.05	수리 (Accepted)	4-1-2019-5155816-75
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.08.06	수리 (Accepted)	4-1-2019-5156285-09
5	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2020.07.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2020.09.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0184623-92

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 금속을 포함하는 제1 전구체, 및 벤젠 고리를 포함하는 제2 전구체를 제공하여, 상기 제1 및 제2 전구체가 반응된 금속 유기물을 형성하는 단계; 및상기 금속 유기물 상에, 상기 금속을 포함하는 제3 전구체, 및 산소(O)를 포함하는 제4 전구체를 제공하여, 상기 제3 및 제4 전구체가 반응된 금속 산화물을 형성하는 단계를 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
2	2 제1 항에 따른 방법으로 제조된 유-무기 하이브리드 박막은, 상기 금속 산화물을 포함하는 박막과 비교하여 동일한 두께에서 광 투과도가 더 높은 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
3	3 제1 항에 있어서, 상기 금속 유기물 및 상기 금속 산화물의 비율에 따라, 광투과성 및 전기 전도도가 제어되는 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
4	4 제3 항에 있어서, 상기 금속 유기물 형성 단계, 및 상기 금속 산화물 형성 단계는 각각 복수회 반복 수행되고, 상기 금속 유기물 및 상기 금속 산화물의 비율은, 상기 금속 유기물 형성 단계의 반복 횟수, 및 상기 금속 산화물 형성 단계의 반복 회수 비율에 따라 제어되는 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
5	5 제3 항에 있어서, 상기 금속 산화물 형성 단계에 대한 상기 금속 유기물 형성 단계의 수행 비율이 1/49 이하로 반복 수행되는 경우, 도체(conductor) 특성을 나타내는 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
6	6 제3 항에 있어서, 상기 금속 산화물 형성 단계에 대한 상기 금속 유기물 형성 단계의 수행 비율이 1/49 이상 1/24 미만으로 반복 수행되는 경우, 반도체(semiconductor) 특성을 나타내는 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
7	7 제1 항에 있어서, 상기 금속은 인듐(In)을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
8	8 제7 항에 있어서, 상기 제1 전구체 및 상기 제3 전구체는 서로 다른 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
9	9 기판; 및상기 기판 상에 배치되고, 금속 유기물 및 금속 산화물을 포함하는 하이브리드 박막을 포함하되, 상기 하이브리드 박막은, 상기 금속 산화물의 함유량이 상기 금속 유기물의 함유량 보다 많은 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막
10	10 제9 항에 있어서, 상기 금속은, 인듐(In)을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막
11	11 제10 항에 있어서, 상기 금속 산화물을 포함하는 무기 박막과 비교하여, 광투과성이 높은 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막
12	12 제10 항에 있어서, 상기 금속 산화물을 포함하는 무기 박막과 비교하여, 유연성(flexibility)이 높은 것을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막
13	13 제9 항에 있어서, 상기 금속은 알루미늄(Al)을 포함하는 유-무기 하이브리드 박막의 제조 방법
14	14 제13 항에 따른 유-무기 하이브리드 박막을 포함하는 봉지 구조체

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	산업통상자원부	한국산업기술평가관리원	산업기술혁신사업 / 산업핵심기술개발사업 / 전자정보디바이스산업원천기술개발사업(RCMS)	3nm급 이하 패터닝을 위한 자기제어 유기박막 소재 및 선택적 금속 증착 기술 개발
2	교육부(2013Y)	(재)한국연구재단	이공분야기초연구사업 / 이공학 개인기초연구지원사업 / 기본연구(1년~3년)	유연 전자소자 응용을 위한 자기 회복 가능 유/무기 박막소재 및 공정 개발

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2019.05.21	수리 (Accepted)	1-1-2019-0518674-61
2	[출원서 등 보정]보정서	2019.07.16	수리 (Accepted)	1-1-2019-0727711-10
3	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.05	수리 (Accepted)	4-1-2019-5155816-75
4	출원인정보변경(경정)신고서	2019.08.06	수리 (Accepted)	4-1-2019-5156285-09
5	선행기술조사의뢰서	2020.07.14	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
6	선행기술조사보고서	2020.09.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0184623-92

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