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기판;상기 기판 상의, 복수의 필라 (pillar) 로 이루어진 제1 전극;상기 기판 상의, 상기 제1 전극과 적어도 일부가 일정한 거리로 이격되고, 상기 제1 전극과 대극을 형성하는 제2 전극, 및표적 물질에 대한 특이적 바이오 리셉터를 포함하는, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극은,상기 필라 형상의 폴리머 구조물; 상기 폴리머 구조물 상의 중간층, 및상기 중간층 상의 도전층을 포함하고, 상기 바이오 리셉터는, 상기 도전층에 배치되는, 바이오 센서
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제2항에 있어서,상기 도전층은, Au, Ni, Zn, Pd, Ag, Cd, Pt, Ga 및 In 중 적어도 하나로 이루어지고,상기 중간층은, Ti, V, Cr, Sc, Nb, Mo 및 W 중 적어도 하나로 이루어지고, 상기 폴리머 구조물은 PU (Poly urethane), PDMS (Polydimethylsiloxane), NOA (Noland Optical Adhesive), Epoxy, PET (Polyethylene terephthalate), PMMA (Poly(methyl methacrylate)), PI (Polyimide), PS (Polystyrene), PEN (Polyethylene naphthalate), PC (Polycarbonate) 중 적어도 하나로 이루어진, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 기판 상의, 반쪽 전지 반응층이 배치되고, 상기 제1 전극과 적어도 일부가 일정한 거리로 이격된 제3 전극을 더 포함하고,상기 제1 전극은,상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 형성된, 바이오 센서
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제4항에 있어서,상기 반쪽 전지 반응층은,Au, Ag, Ag/AgCl, Hg2SO4, Ag/Ag+, Hg/Hg2SO4, RE-6H, Hg/HgO, Hg/Hg2Cl2, Ag/Ag2SO4, Cu/CuSO4, KCl 포화된 칼로멜 반전지(SCE) 및 염다리 (Salt bridge) 백금 중 적어도 하나로 이루어진, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 바이오 리셉터는, 상기 필라의 측면에 형성된, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 바이오 리셉터는, 상기 필라 사이의 기판 상에 형성된, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 필라의 직경은, 400 nm 내지 600 nm이고,상기 필라의 높이는,1300 내지 1700 nm인, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 필라는, 100 nm 내지 700nm의 간격으로 배치되는, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 필라는,상기 제2 전극 상에 더 배치된, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극 및 상기 제2 전극의 일부에 각각 연결되어, 전위차를 측정하도록 구성된 전위 측정부를 더 포함하는, 바이오 센서
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제11항에 있어서,상기 전위 측정부와 연결되어 상기 표적 물질의 농도를 출력하도록 구성된 출력부를 더 포함하는, 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 바이오 센서는,상기 표적 물질의 농도가 0
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제1항에 있어서,상기 바이오 센서는,동일한 표적 물질의 농도에서, 기판 상에 필러가 형성되지 않은 평판 전극에 비하여 2 배 내지 12 배 높은 민감도를 갖는, 바이오 센서
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기판 상에 복수의 필라를 형성하는 단계;상기 기판의 적어도 일부면을 마스킹하도록 구성된 마스크 (mask) 를 이용하여 상기 필라 상에 도전성 물질을 증착하여 제1 전극을 형성하는 단계;상기 제1 전극과 적어도 일부가 일정한 거리로 이격된 상기 기판 상에 도전성 물질을 증착하여 제2 전극을 형성하는 단계, 및상기 제1 전극 상에 표적 물질에 대한 바이오 리셉터를 고정하는 단계를 포함하는, 바이오 센서의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 제1 전극을 형성하는 단계는,상기 필라 형상의 구조물 이외의 영역에 대해서 마스크를 배치하는 단계;상기 필라 형상의 구조물 상에 중간층을 증착하는 단계, 및상기 도전성 물질을 증착하여 상기 중간층 상에 도전층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 바이오 리셉터를 고정하는 단계는,상기 바이오 리셉터를 포함하는 용액을 상기 도전층 상에 도포하는 단계를 포함하는, 바이오 센서의 제조 방법
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제15항에 있어서,마스크를 이용하여 상기 제1 전극과 적어도 일부가 일정한 거리로 이격된 상기 기판 상에 반쪽 전지 반응성 물질을 증착하여 제3 전극을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 제1 전극은,상기 제2 전극 및 상기 제3 전극 사이에 형성된, 바이오 센서의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 바이오 리셉터는 상기 필라의 측면 또는 상기 필라들 사이의 기판 상에 형성되는 바이오 센서의 제조 방법
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제15항에 있어서,상기 필라의 직경은, 400 nm 내지 600 nm이고,상기 필라의 높이는,1300 내지 1700 nm인, 바이오 센서의 제조 방법
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반응물을 획득하도록, 표적 물질을 포함하는 분석 시료 및, 상기 표적 물질과 특이적으로 결합하는 표지 바이오 리셉터를 혼합하는 단계,상기 반응물을 제 1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 바이오 센서 상에 배치하는 단계; 상기 바이오 센서의 제1 전극 및 제2 전극의 전위차를 측정하는 단계, 및상기 전위차에 기초하여 상기 표적 물질의 양을 결정하는 단계, 표적 물질의 정량 분석 방법
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