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안티-그로스(Anti-Growth) 패턴이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계; 상기 안티-그로스 패턴이 형성된 상기 베이스 기판 상에 금속을 포함하는 제1 전구체를 제공하는 단계; 및상기 제1 전구체가 제공된 상기 베이스 기판 상에, 상기 안티-그로스 패턴에 대한 친화도 및 상기 베이스 기판에 대한 친화도가 다른 제2 전구체를 제공하여, 상기 안티-그로스 패턴이 형성된 상기 베이스 기판 상에 상기 제1 전구체 및 상기 제2 전구체가 반응된 물질막을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 안티-그로스 패턴 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률과, 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률은 서로 다른 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 안티-그로스 패턴 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률은, 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률 보다 낮은 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 제2 전구체가 물(H2O)을 포함하는 경우, 상기 안티-그로스 패턴은 소수성이고, 상기 베이스 기판은 친수성인 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 물질막 형성 단계는, 150℃ 이상 200℃ 이하의 온도에서 수행되는 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 안티-그로스 패턴은, 실리콘 산화물(SiO2), 알루미늄 산화물(Al2O3), 및 그라파이트(Graphite) 중 어느 하나를 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제5 항에 있어서, 상기 안티-그로스 패턴이 그라파이트를 포함하는 경우, 상기 안티-그로스 패턴은, 인듐 알콕사이드(Indium alkoxide)가 열처리되어 형성되는 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 금속은 루테늄(Ruthenium, Ru)을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제7 항에 있어서, 상기 금속은, 0가 코어(core) 및 카르보닐(-CO) 리간드(ligand)를 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 안티-그로스 패턴은 절연성이고, 상기 베이스 기판은 전도성인 것을 포함하는 물질막의 선택적 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 물질막 형성 단계 이후, 상기 물질막이 형성된 상기 베이스 기판 상에 식각 소스를 제공하여, 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판 상에 금속 패턴을 형성하는 단계를 더 포함하되, 상기 식각 소스는, 상기 안티-그로스 패턴을 식각하여 상기 안티-그로스 패턴 및 상기 안티-그로스 패턴 상에 증착된 상기 물질막을 함께 제거하고, 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판 상에 증착된 상기 물질막은 잔존시키며, 상기 금속 패턴은, 상기 안티-그로스 패턴 사이에 노출된 상기 베이스 기판 상에 잔존된 상기 물질막으로 정의되는 것을 포함하는 금속 패턴의 제조 방법
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안티-그로스(Anti-Growth) 패턴이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계; 상기 안티-그로스 패턴이 형성된 상기 베이스 기판 상에, 금속을 포함하는 제1 전구체 및 상기 안티-그로스 패턴에 대한 친화도 및 상기 베이스 기판에 대한 친화도가 다른 제2 전구체를 반응시켜, 상기 안티-그로스 패턴 및 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판을 덮는 물질막을 형성하는 단계; 및 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판을 덮는 물질막은 잔존시키고, 상기 안티-그로스 패턴 상에 형성된 물질막 및 상기 안티-그로스 패턴을 함께 제거하여, 상기 베이스 기판 상에 금속 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 물질막 형성 단계에서, 상기 안티-그로스 패턴 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률은, 상기 안티-그로스 패턴 사이의 노출된 상기 베이스 기판 상에 증착되는 상기 물질막의 증착률 보다 낮은 것을 포함하는 금속 패턴의 제조 방법
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제11 항에 있어서, 상기 안티-그로스 패턴이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계는,베이스 기판 상에 안티-그로스 박막을 형성하는 단계; 상기 안티-그로스 박막 상에 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 마스크 패턴 사이의 노출된 상기 안티-그로스 박막을 제거하는 단계; 및 상기 마스크 패턴 및 상기 베이스 기판 사이의 상기 안티-그로스 박막은 잔존시키고, 상기 마스크 패턴은 제거하는 단계를 포함하는 금속 패턴의 제조 방법
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