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가스를 감지하면 색이 변하는 가스 센서에 있어서, 제1메탈층; 상기 제1메탈층 하부에 배치되며, 광학적으로 투명 또는 반투명성을 가지는 인슐레이터층; 상기 인슐레이터층 하부에 구비되며, 광택을 가지는 제2메탈층을 포함하며, 상기 제1메탈층이 기체와 반응하여 두께가 변화되거나, 상기 인슐레이터층이 기체와 반응하여 굴절률이 변화되며, 기체에 의해 상기 제1메탈층의 두께가 변화되어 색깔이 표시되거나, 기체에 의해 상기 인슐레이터층의 굴절률이 변화되어 색깔이 표시되며,상기 제1메탈층은 기체에 의해 부식되면서 두께가 변화되며,상기 인슐레이터층의 두께는 10 내지 1000 nm 이고,상기 제1메탈층의 두께는 5 내지 50 nm 인 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2메탈층의 두께는 5 nm 이상인 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1메탈층과 반응하여 상기 제1메탈층의 두께를 변화시키거나, 상기 인슐레이터층과 반응하여 상기 인슐레이터층의 굴절률을 변화시키는 기체는 NOX, SOX, HF, NH4 중 어느 하나 이상을 포함하는 부식성 기체인 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1메탈층과 상기 제2메탈층은, Ag, Sn, Ni, Al, Pt, Au 중 어느 하나의 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 상기 인슐레이터층은, SiO2, WO3, TiO2, Cr Doped TiO2, Al2O3, PO3, Hydrogel, Nafion 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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제1항에 있어서, 점착제가 구비된 기재층이 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서
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가스를 감지하여 가스를 검출하는 가스 검출장치에 있어서, 가스 센서; 상기 가스 센서 상부에 구비되면, 기체를 통과시키는 기체 투과층; 상기 가스 센서가 부착되는 본체부;를 포함하며, 상기 가스 센서는, 제1메탈층; 상기 제1메탈층 하부에 배치되며, 광학적으로 투명 또는 반투명성을 가지는 인슐레이터층; 상기 인슐레이터층 하부에 구비되며, 광택을 가지는 제2메탈층을 포함하며, 상기 제1메탈층이 기체와 반응하여 두께가 변화되거나, 상기 인슐레이터층이 기체와 반응하여 굴절률이 변화되며, 기체에 의해 상기 제1메탈층의 두께가 변화되어 색깔이 표시되거나, 기체에 의해 상기 인슐레이터층의 굴절률이 변화되어 색깔이 표시되며,상기 제1메탈층은 기체에 의해 부식되면서 두께가 변화되며,상기 인슐레이터층의 두께는 10 내지 1000 nm 이고,상기 제1메탈층의 두께는 5 내지 50 nm 인 것을 특징으로 하는 MIM 구조를 사용하는 가스 센서를 포함하는 가스 검출장치
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