| 1 |
1
기판이 장착되는 기판플랫폼;상기 기판플랫폼과 마주보도록 배치되며, 스탬프가 장착되는 스탬프플랫폼;복수의 위치에서 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 측정하도록 배치되는 복수의 변위센서;상기 기판플랫폼의 둘레를 따라 이격되게 설치되고, 상기 복수의 변위센서의 출력이 서로 동일해지도록 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하는 복수의 제1구동부; 및상기 스탬프플랫폼을 상기 기판플랫폼 방향으로 이동시키는 제2구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉 여부를 판단하기 위하여, 상기 기판플랫폼에 가해지는 가압력을 측정하는 하중센서;를 더 포함하고,상기 제1구동부는,상기 하중센서에 의해 상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉이 감지되기 전까지 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하고, 상기 하중센서에 의해 상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉이 감지되면 작동이 오프(Off)되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 복수의 제1구동부와 상응하도록 상기 기판플랫폼의 둘레를 따라 이격되게 설치되고, 베이스프레임으로부터 상기 기판플랫폼을 지지하는 복수의 링크조립체;를 더 포함하고,상기 제1구동부는 상기 링크조립체의 위치를 가변시키면서 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 링크조립체는,상기 베이스프레임에 일단부가 결합되는 탄성블록부재; 및일단부는 상기 탄성블록부재에 회전조인트 결합되며, 타단부는 상기 기판플랫폼에 구조인트 결합되는 링크부재;를 포함하고,상기 스탬프플랫폼으로부터 상기 기판플랫폼에 가해지는 가압력에 의해 상기 탄성블록부재가 탄성 변형되면서, 상기 기판 및 상기 스탬프의 접촉면에 균일한 압력분포의 가압력이 형성되는 것을 특징으로 임프린팅 장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 제1구동부는,상기 탄성블록부재에 접촉되며, 상기 탄성블록부재를 변형시키면서 상기 링크조립체의 위치를 가변시키는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 6 |
6
제4항에 있어서,상기 탄성블록부재는,상기 제1구동부와 점 접촉되는 접촉부를 구비하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 7 |
7
제4항에 있어서,상기 제1구동부는,상기 베이스프레임에 설치되는 설치프레임;상기 설치프레임 상에 이동 가능하게 결합되며, 상기 링크조립체와 선택적으로 접촉되는 작동판; 및상기 작동판을 이동시키는 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 작동판은 상기 탄성블록부재에 접촉되며, 상기 스탬프플랫폼으로부터 상기 기판플랫폼의 일부분이 이격되도록 상기 탄성블록부재를 하부방향으로 가압하면서 상기 링크조립체의 위치를 가변시키는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
|
| 9 |
9
기판이 장착된 기판플랫폼을 향해 스탬프가 장착된 스탬프플랫폼을 근접 이동시키는 근접 이동단계;상기 기판플랫폼의 둘레를 따라 이격되게 설치되는 복수의 변위센서를 이용하여, 복수의 위치에서 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 측정하는 이격거리 측정단계;상기 복수의 변위센서의 출력이 서로 동일해지도록, 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하는 이격거리 조정단계; 및상기 기판에 상기 스탬프가 접촉 및 가압되도록, 상기 기판플랫폼을 향해 상기 스탬프플랫폼을 가압 이동시키는 가압 이동단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 이격거리 조정단계는,상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉 여부를 판단하기 위하여, 상기 기판플랫폼에 가해지는 가압력을 측정하고,상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉이 감지되기 전까지 상기 기판플랫폼 및 상기 스탬프플랫폼 간의 이격거리를 조정하고, 상기 기판플랫폼과 상기 스탬프플랫폼의 접촉이 감지되면 작동이 오프(Off)되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
|
| 11 |
11
제9항에 있어서,상기 가압 이동단계는,상기 스탬프플랫폼으로부터 상기 기판플랫폼에 가해지는 가압력을 측정하고,상기 스탬프플랫폼으로부터 상기 기판플랫폼에 가해지는 가압력이 미리 설정된 설정하중과 일치될 때까지 상기 스탬프플랫폼을 가압 이동시키는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
|
