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(a) 담지 촉매에 제1전구체를 주입하여 촉매 표면에 증착시킨 후, 퍼지하는 단계;(b) 산화제를 주입하여 촉매 표면에 증착된 상기 제1전구체와 반응시켜 무기막을 형성한 후, 퍼지하는 단계;(c) 제2전구체를 주입하여 상기 무기막에 제2전구체를 증착시킨 후, 퍼지하는 단계; 및(d) 산화제를 주입하여 복합막을 형성한 후, 퍼지하는 단계;를 포함하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (a) 내지 (b) 단계를 3 내지 10 사이클 반복한 후, 상기 (c) 내지 (d)단계를 1 내지 3 사이클 반복하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 내지 (d) 단계를 적어도 2회(dyad) 이상 반복하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계의 촉매는 백금(Pt), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 로듐(Rh) 및 루테늄(Ru)에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계의 담지는 알루미나, 실리카, 제올라이트, 티타니아, 지르코니아 및 탄소에서 선택되는 적어도 어느 하나를 담체로 제공하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계의 제1전구체와 (c) 단계의 제2전구체는 서로 다른 전구체인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계의 제1전구체와 (c) 단계의 제2전구체는 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 징크(Zn), 지르코늄(Zr) 및 세슘(Ce)에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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8
제1항에 있어서, 상기 (a) 및 (c) 단계의 주입은 불활성 가스를 운반 기체로 주입하여 진행하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (b) 단계 및 (d) 단계의 산화제는 초순수정제수, 알코올, 오존, 아산화질소 및 산소에서 선택되는 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 내지 (d) 단계의 퍼지는 불활성 가스를 주입하여 진행하는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 내지 (d) 단계의 퍼지는 0
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제1항 내지 제11항에 따라 제조된 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매
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제12항에 있어서,상기 복합막은 0
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제12항에 있어서,상기 금속 촉매는 분말, 입자, 과립 및 펠릿에서 선택되는 적어도 어느 하나의 형태로 제공되는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매
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제12항에 있어서,상기 금속 촉매는 일산화탄소 산화 반응에 제공되는 것을 특징으로 하는 ALD 공정에 의한 복합막이 증착된 금속 촉매
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