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기판;상기 기판 상에 제공되는 광학 구조체; 및상기 기판 상에 제공되며, 상기 광학 구조체의 양 측에서 상기 기판의 상면과 접촉하는 브릿지 형태를 갖는 덮개를 포함하되,상기 덮개는 제1 방향으로 연장되는 채널을 갖고,상기 광학 구조체는 상기 채널 내부에 제공되고,상기 광학 구조체는 상기 채널을 통해 진행하는 바이오 물질들을 포집하도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체는 상기 기판 상에 차례로 적층된 하부층, 활성층 및 상부층을 포함하되,상기 활성층은 상기 하부층 및 상기 상부층 사이에 개재되는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 광학 구조체는 III-V족 반도체 물질을 포함하고,상기 하부층 및 상기 상부층은 동일한 반도체 물질을 포함하고,상기 활성층은 상기 하부층 및 상기 상부층과 다른 반도체 물질을 포함하는 바이오 센서
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제 2 항에 있어서,상기 광학 구조체는 상기 하부층, 상기 활성층 및 상기 상부층을 관통하는 복수의 나노 홀들을 갖고,상기 나노 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되며, 서로 상기 제1 방향으로 이격되고,상기 나노 홀들 각각의 직경 및 주기는 상기 제1 방향으로 가면서 변화하는 바이오 센서
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제 4 항에 있어서,상기 나노 홀들 각각의 직경은 상기 광학 구조체의 일 단부로부터 상기 광학 구조체의 중앙부까지 상기 제1 방향으로 가면서 감소하고, 상기 중앙부로부터 상기 일 단부와 마주보는 상기 광학 구조체의 타 단부까지 상기 제1 방향으로 가면서 증가하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체 상에 제공되는 CMOS 카메라 또는 CCD 카메라를 더 포함하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체는 상기 기판 상의 하부층 및 상기 하부층의 일부 영역 상의 상부층을 포함하되,상기 광학 구조체는 상기 하부층을 관통하여 상기 기판의 상면을 노출시키는 복수의 나노 홀들을 갖고,상기 나노 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되며, 서로 상기 제1 방향으로 이격되고,상기 나노 홀들 각각의 직경 및 주기는 상기 제1 방향으로 가면서 변화하는 바이오 센서
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제 7 항에 있어서,상기 상부층은 반도체 물질 또는 전이금속 디칼코게나이드, 그래핀 및 육방정 질화붕소(hexagonal boron nitride; hBN) 중 어느 하나를 포함하는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체 상에 제공되는 복수의 항체들을 더 포함하되,상기 항체들은 상기 광학 구조체의 상면 상에 상기 제1 방향을 따라 배열되고,상기 항체들은 상기 채널을 통해 진행하는 상기 바이오 물질들을 포집하도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체는 기하학적 주기를 갖는 복수의 메타 물질 단위 소자들을 포함하되,상기 메타 물질 단위 소자들은 상기 기판의 하면으로부터 상기 광학 구조체를 향하여 조사되는 입사 광을 회절시키도록 구성되는 바이오 센서
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제 1 항에 있어서,상기 광학 구조체는 복수로 제공되고,상기 광학 구조체들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 바이오 센서
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기판;상기 기판 상에 제1 방향으로 연장되는 바(bar) 형태의 광학 구조체; 및상기 기판 상에 제공되며, 상기 광학 구조체의 양 측에서 상기 기판의 상면과 접촉하는 브릿지 형태를 갖는 덮개를 포함하되,상기 덮개는 상기 제1 방향으로 연장되는 채널을 갖고,상기 광학 구조체는 상기 채널 내부에 제공되고,상기 광학 구조체는: 상기 기판 상의 하부층; 상기 하부층 상의 상부층; 및 상기 하부층 및 상기 상부층 사이에 개재되는 활성층을 포함하고,상기 광학 구조체는 상기 하부층, 상기 활성층 및 상기 상부층을 관통하는 복수의 나노 홀들을 갖는 바이오 센서
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제 12 항에 있어서,상기 활성층은 상기 광학 구조체로부터 방출되는 레이저 광의 포톤을 제어하는 양자 점들을 갖고,상기 활성층은 상기 하부층 및 상기 상부층과 다른 물질을 포함하는 바이오 센서
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제 12 항에 있어서,상기 광학 구조체의 중앙부에 위치한 상기 나노 홀들의 직경은 상기 광학 구조체의 양측 단부들에 위치한 상기 나노 홀들의 직경보다 작은 바이오 센서
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제 12 항에 있어서,상기 광학 구조체는 복수로 제공되고,상기 광학 구조체들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되고,상기 제1 방향을 따라 배열되는 상기 광학 구조체들은 서로 상기 제1 방향으로 이격되며 각각의 측벽이 서로 정렬되고,상기 제2 방향을 따라 배열되는 상기 광학 구조체들은 서로 상기 제2 방향으로 이격되며 각각의 측벽이 서로 정렬되는 바이오 센서
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발광 패턴 또는 회절 패턴을 측정하는 측정부;상기 측정부에서 측정된 상기 발광 패턴 또는 상기 회절 패턴을 포함하는 데이터들을 저장하는 데이터 저장부;상기 데이터 저장부로부터 전송된 상기 데이터들을 통한 기계 학습을 수행하며, 상기 데이터들을 통해 바이오 물질 유무 및 바이오 물질의 개수를 판단하는 데이터 학습부; 및상기 데이터 학습부에 의해 판단된 정보를 시각화하는 표시부를 포함하되,상기 측정부는:기판;상기 기판 상에 제공되는 광학 구조체; 및상기 광학 구조체의 양 측에서 상기 기판의 상면과 접촉하는 브릿지 형태를 갖는 덮개를 포함하되,상기 덮개는 제1 방향으로 연장되는 채널을 갖고,상기 광학 구조체는 상기 채널 내부에 제공되고,상기 광학 구조체는 상기 채널을 통해 진행하는 바이오 물질들을 포집하도록 구성되는 바이오 센서
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제 16 항에 있어서,상기 데이터 학습부는 상기 발광 패턴 또는 상기 회절 패턴의 공진 파장, 위상 및 편광 중 적어도 어느 하나의 변화를 통해 바이오 물질 유무 및 바이오 물질의 개수를 판단하도록 훈련되는 바이오 센서
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제 16 항에 있어서,상기 광학 구조체는: 상기 기판 상의 하부층; 상기 하부층 상의 상부층; 및 상기 하부층 및 상기 상부층 사이에 개재되는 활성층을 포함하고,상기 광학 구조체는 상기 하부층, 상기 활성층 및 상기 상부층을 관통하는 복수의 나노 홀들을 갖는 바이오 센서
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제 16 항에 있어서,상기 광학 구조체는 기하학적 주기를 갖는 복수의 메타 물질 단위 소자들을 포함하되,상기 메타 물질 단위 소자들은 상기 기판의 하면으로부터 상기 광학 구조체를 향하여 조사되는 입사 광을 회절시키도록 구성되는 바이오 센서
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제 16 항에 있어서,상기 광학 구조체는 복수로 제공되고,상기 광학 구조체들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 바이오 센서
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