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지지체;상기 지지체 상에 담지되고 수소 산화 반응(HOR: Hydrogen Oxygen Reaction) 또는 산소 환원 반응(ORR: Oxygen Reduction Reaction)에 활성이 있는 제1 촉매;상기 지지체 및 제1 촉매 중 적어도 어느 하나 상에 담지되고 산소 발생 반응(Oxygen evolution reaction, OER)에 활성이 있는 제2 촉매; 및상기 제1 촉매 및 제2 촉매 중 적어도 어느 하나의 표면에 형성된 보호층;을 포함하는 전기화학셀용 촉매
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제1항에 있어서,상기 제1 촉매 상에 상기 제2 촉매가 담지되고, 상기 제1 촉매 및 제2 촉매의 표면에 보호층이 형성된 것인 전기화학셀용 촉매
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제1항에 있어서,상기 지지체 상에 상기 제2 촉매가 담지되고, 상기 제1 촉매 및 제2 촉매의 표면에 보호층이 형성된 것인 전기화학셀용 촉매
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제1항에 있어서,상기 제2 촉매는 루테늄(Ru), 이리듐(Ir), 티타늄(Ti), 이들의 산화물 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 전기화학셀용 촉매
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제1항에 있어서,상기 보호층은 티타늄 산화물(TiOx), 아연 산화물(ZnOx), 구리 산화물(CuOx), 규소(Si), 니켈(Ni), 철(Fe), 흑연화 탄소 질화물(Graphitic carbon nitride) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 전기화학셀용 촉매
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제1항에 있어서,상기 보호층의 두께는 0
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수소 산화 반응(HOR) 또는 산소 환원 반응(ORR)에 활성이 있는 제1 촉매가 담지된 지지체를 포함하는 출발물질을 준비하는 단계;상기 출발물질을 분말형 원자층 증착(Atomic layer deposition, ALD) 장치의 회전식 반응기에 투입하는 단계;산소 발생 반응(Oxygen evolution reaction, OER)에 활성이 있는 제2 촉매의 전구체를 기화시키고 캐리어 가스로 기화된 제2 촉매의 전구체를 상기 회전식 반응기에 투입하는 단계;상기 회전식 반응기를 회전시키며 제1 반응을 일으켜 제2 촉매의 전구체를 제1 촉매 상에 반응시키는 단계;퍼지 가스로 회전식 반응기의 잔류 기체를 제거하는 단계;회전식 반응기에 환원제를 주입하여 제1 반응의 결과물을 환원시켜 제2 촉매를 상기 제1 촉매 상에 담지하는 단계; 퍼지 가스로 회전식 반응기의 잔류 기체를 제거하는 단계;보호층 전구체를 기화시키고 캐리어 가스로 기화된 보호층 전구체를 상기 회전식 반응기에 투입하는 단계;상기 회전식 반응기를 회전시키며 제2 반응을 일으켜 상기 제1 촉매 및 제2 촉매 중 적어도 어느 하나의 표면에 전구체층을 형성하는 단계; 및 회전식 반응기에 산화제를 주입하여 제2 반응의 결과물을 산화시켜 상기 제1 촉매 및 제2 촉매의 표면에 보호층을 형성하는 단계를 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제2 촉매는 상기 제1 촉매 상에 담지되고, 상기 제1 촉매 및 제2 촉매의 표면에 보호층이 형성된 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 제2 촉매는 루테늄(Ru), 이리듐(Ir), 티타늄(Ti), 이들의 산화물 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,캐리어 가스를 100㎖/min 내지 1,000㎖/min의 유량으로 주입하여 기화된 제2 촉매의 전구체를 회전식 반응기에 투입하는 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제1 반응은 회전식 반응기의 회전 속도 30rpm 내지 60rpm, 회전식 반응기의 온도 200℃ 내지 360℃, 반응 시간 2초 내지 30초의 조건으로 수행하는 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 보호층은 티타늄 산화물(TiOx), 아연 산화물(ZnOx), 구리 산화물(CuOx), 규소(Si), 니켈(Ni), 철(Fe), 흑연화 탄소 질화물(Graphitic carbon nitride) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,캐리어 가스를 100㎖/min 내지 1,000㎖/min의 유량으로 주입하여 기화된 보호층 전구체를 회전식 반응기에 투입하는 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제2 반응은 회전식 반응기의 회전 속도 30rpm 내지 60rpm, 회전식 반응기의 온도 70℃ 내지 250℃, 반응 시간 2초 내지 30초의 조건으로 수행하는 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 제2 반응을 종료한 뒤 회전식 반응기에 산화제를 주입하여 제2 반응의 결과물을 산화시키는 단계를 더 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 산화제는 수증기(H2O), 산소(O2), 오존(O3) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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17
제7항에 있어서,상기 보호층의 두께는 0
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제7항에 있어서,상기 출발물질로 지지체 상에 담지된 제1 촉매 표면에만 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayer, SAM)이 형성된 것을 준비하는 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 제2 촉매는 지지체 상에 담지되고, 상기 제1 촉매 및 제2 촉매의 표면에 보호층이 형성된 것인 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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제18항에 있어서,상기 제2 촉매를 상기 출발물질에 담지한 후 대기 분위기에서 열처리하여 상기 제1 촉매 표면에 형성된 자기조립 단분자막을 제거하는 단계를 더 포함하는 전기화학셀용 촉매의 제조방법
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